[技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

摘要 Gza=
 0  
wPU5L*/*i  
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 xWLZlUHEu  
>s%Db<(P=  

图片:1-20042G00011263.png

33%hZ`/>  
#8jiz+1 _  
傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） i,^-9  
zd$'8/Cq  
建模任务 #>yOp
*  
A^lm0[3q  

图片:1-20042G00040528.png

g?v/u:v>W  
Km
x4bp4  
单次FMM仿真结果 ;)ay uS sQ  
%lbvK^  

图片:1-20042G00314295.png

/Ey%aA4v  
,{IDf  
参数扫描（1D） uP4yJ/]  
l_k:OZ  

图片:1-20042G00241125.png

3ZT3I1/D  
6O?zi|J[:  
参数扫描（2D） ~v&Q\>'  
uou "s9  

图片:1-20042G0042K26.png