摘要
#2ta8m), saiXFM7J 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
~nmFZ]y .-M5.1mo\( 建模任务
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$ MH;v_'a 5Ex[}y9L` 单次FMM仿真结果
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V.*M;T\i _3 oo%?} 参数扫描(1D)
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P8By~f32_ 4sQm"XgE 参数扫描(2D)
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