[技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

摘要 'FN+BvD  
{L.=)zt>  
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 +A%"_7L}  
L2`a| T=  

图片:1-20042G00011263.png

F_z1ey`t  
CI+@GXY  
傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） ^J?y mo$>0  
(^mpb  
建模任务 2YhtD A  
,;k`N`#'  

图片:1-20042G00040528.png

G*'1[Bu  
#{x4s?  
单次FMM仿真结果 vD3j(d  
,l7',@6Y  

图片:1-20042G00314295.png

B0dv_'L}L  
Pt[ b;}  
参数扫描（1D） T)tf!v3v  
qJq!0F  

图片:1-20042G00241125.png

@8"c
T-  
-I*NS6  
参数扫描（2D） g ^4<ve  
*Y<1KXFU  

图片:1-20042G0042K26.png