摘要 6;U]l.
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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 xt@zP)6G
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傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ]%m0PU#
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建模任务 $Ml/=\EHOg
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单次FMM仿真结果 >}h/$bU
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参数扫描(1D) ;=1]h&S
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