[技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

摘要 $e\N+~KNCy  
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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 TTI81:fku  
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图片:1-20042G00011263.png

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傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） 1 [z'G)v  
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建模任务  eIPG#A  
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图片:1-20042G00040528.png

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单次FMM仿真结果 KSs1CF'i  
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图片:1-20042G00314295.png

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参数扫描（1D） c"gsB!xh  
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图片:1-20042G00241125.png

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参数扫描（2D） 9$d.P6|d>  
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图片:1-20042G0042K26.png