摘要
o~\.jQQxa |>'N^ 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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JN` $Fq+ ~I;x_0iY4 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
(jj`}Qe3U yFb"2 建模任务
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Q b)e;Q5Z(. 单次FMM仿真结果
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Fx 参数扫描（1D）
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