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    [原创]ThinFilmView光学薄膜软件 [复制链接]

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    离线optotek
    助理工程师
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-10-14
    TFV薄膜设计软件是用于设计、分析和优化光学薄膜层结构的工具，通常被广泛应用于光学、电子、能源等领域，开发具有特定光学性能的材料和器件，如滤光片、反射镜、透射镜等。
    u4,X.3V]A  
    MRg\FR 2>1  
    下面我们将列举出它的特征和几个重点功能。
    特征：
    e(=~K@m  
    5 (21gW9  
    新类型最适化方法 7|M$W(P  
    Freehand mode!
    AK s39U'  
    M`+e'vdw  
    r5!x,{E6  
    实时计算  J"Y   
    实时运算系统，立即显示运算结果。以鼠标控制滑动尺、上下键，可快速变更膜厚、折射率。膜厚亦可用键盘来做变更(箭头键，PgUp，PgDn键)。 Uq]EJu  
    图纸格式编辑屏幕 g t^]32$  
    多张标签工作表，最多可同时设计20个膜数据。每张纸的计算结果迭加在波长图和入射角图上。 K[LVT]3 n  
    多窗口 ?F87C[o  
    可以同时显示图形和数值，例如波长特性，入射角特性，颜色计算和光学沉积监视器。 tk)>CK11  
    多语言 }y-;>i#m=g  
    您可以在英语，日语和繁体中文之间切换。 w{e3U7;  
    高分辨率显示兼容 L>~@9a\jO  
    即使是具有高分辨率显示的字符也不会模糊。根据Windows缩放设置缩放字符。您还可以设置字体和字体大小。
    功能：
    MX`Wg  
    0qL V(L  
    基本操作 2 ]DCF  
    以鼠标控制滑动尺、上下键，可快速变更膜厚、折射率。 &ap`}^8pM  
    就能同时显示多种曲线图，从各种视点进行薄膜设计。 Q3Z%a|3W  
    多张标签工作表，最多可同时设计20个膜资料。
    H#|Z8^ *Ds  
    uH ny ]  
    I`"-$99|t1  
    波长、入射角的3D图表显示 3KZ y H  
    等高线显示。回转、zoom可以。
    _<%\h?W$  
    4kaE}uKU  
    BbXU| QtY  
    光学式蒸镀监控 uhTKCR~  
    通常监控的膜厚和制品基板的膜厚会不同，且设计上的折射率(大气中)和成膜中(真空中)的折射率也不一样。而TFV软件则能考虑上述问题进行模拟。
    ~~xyFT+{F  
                 光学测光方式
    }c35FM,  
    a81!~1A  
    cZaF f?]k  
    电场强度分布 + U+aWk  
    可选择欲显示的偏振光种类。
    OK M\"A4  
     `CA G8D  
    根据选择「反面」，由表面侧的入射光与反面测的入射光电场强度将可同时显示。
    2Ft8dfdm`  
    !c4)pMd  
    wuIsO;}/9  
    颜色计算 95$pG/o  
    显示所有工作表的计算结果，因此能够计算各膜数据之间的色差。
    Q/QQ:t<XUi  
    @)OnIQN~  
    Q\o$**+{  
    表色系统 W>}Qer4  
    XYZxy, CIE L*a*b*, L*C*h, Hunter Lab, L*u*v*, UCS, Whiteness Index, Yellowness Index, sRGB, CIE2000, Dominant Wavelength。 UzU-eyA  
    对应的光源种类 ;Na8 _}  
    A, B, C, D50, D55, D65, D75, E, F1, F2, F3, F4, F5, F6, F7, F8, F9, F10, F11, F12, ID50, ID65。 ^ o $W  
    您也可以将自己的光源数据注册为csv文件。 a9D gy_!Y  
    制造误差分析 Y)Znb;`?a  
    某层的膜厚、折射率、吸收系数的误差，于调查会对光学特性会造成多少程度影响时及调查设计值与实际成形薄膜的光学特性的乖离发生在哪一层时(Mismatch解析)、及依据Monte Carlo simulation调查制造变异时(制造误差解析)使用。
    ~A[YnJYA#  
    FX|0R#4vm  
    波长曲线图Monte Carlo simulation
    FG>;P]mvp  
    Pn'`Q S?  
    颜色计算Monte Carlo simulation
    .8T\Nr\~2  
    Z7/vrME6  
    qa 6=W  
    您可以为每个图层指定每个薄膜厚度，折射率和吸收系数的变化量。 ~@[(N]=q  
    变化量可以从绝对值的均匀分布，％的均匀分布和正常(Gaussian)分布(σ)中选择。 [^?13xMb  
    这个软件是用 Mersenne Twister 随机数发生器。 >vD['XN,  
    反面测的特性 wUZQB1$F  
    可以同时观察有吸收的膜的表面侧、反面侧的特性来做设计。
    |u^)RB  
    E1c>nrnh*  
    u;+%Qh  
    Stack(两面的合计特性) @@xO+$6  
    平行边面基板的两面(又或单面)附着于膜时的合计特性。
    Q7CwQi  
    o5N]((9  
    nmD1C_&  
    不均匀 vQ:x% =]  
    不均匀(折射率斜面)设定 -@%t"8  
    将游标放置在不均质的字段上，将会跳出不均匀数据数据。
    2UU 2Vm_6  
    /{fZH,!L  
    q?;N7P  
    周期层 8`:M\*  
    可设定周期层内的膜厚倍率。
    " t5 +*  
    ]{K5zSK  
    (g%JK3  
    设计最适化 ~8jThi U  
    设计最适化 - 标准MODE - D-Bv(/Pz]$  
    由Local search、Global search、Needle search三种最适化手法中选取实行最适化。 Jq# [uX  
    Local search *4|9&PNLE  
    使用Levenberg-Marquardt法，借着边变更膜厚边找寻最适当解析。  4]"a;(  
    Global search i'Y-V]->  
    Simulated Annealing Method法与Levenberg-Marquardt法组合的手法，在local search的途中，将膜厚随意变更､避免陷入非本来解的局部解结果。 |9+bSH9  
    Needle search m5e\rMN~>\  
    插入针状的薄层，让多层膜成长，藉此搜寻解。 Z -pyFK\  
    Needle层的插入→local search→needle层的插入→local search的反复循环。 +DicP"~*  
    设计最适化 - 手动mode - S8*^ss>?^R  
    手动mode，用鼠标将图表上的特性拖曳变更形状，使用那个能使之变形的local search进行最优化的新类型最优化方法。 N1YgYL  
    计算基板及薄膜nk的功能 F`fGz)Mk  
    由分光亮度计测量的光谱反射率和光谱透射率计算出基板或薄膜的nk。 *GCA6X  
    1. 计算无吸收的基板的折射率(n) V)2"l"Kt  
    计算没有膜的基板的折射率。 x HY+q ;  
    在基板上无吸收时使用。 ])N|[|$  
    需要是单面mat基板或双面研磨基板。 `ifb<T  
    2. 计算具有吸收作用的基板的折射率(n)，吸收系数(k)和内部透射率(Ti) h^['rmd  
    在基板上有吸收时使用。 BD hLz  
    需要是单面mat基板或双面研磨基板。 uPFRh~ (b  
    3. 单层膜的nk分析 B:e.gtM5  
    从光谱反射率和光谱透射率，通过对色散公式进行曲线拟合来分析膜的n，k和膜厚度(d)。 40 A&#u9o  
    添加了仅分析正常色散(折射率随波长变短而增加色散)的选项。 ~;}\zKQKE  
    4. 单层金属薄膜的nk计算 ktN%!Mh\  
    由正面反射率和背面反射率算出金属膜的nk。 M,&tA1CH  
    膜必须足够厚且透射率为零。 nARxn#<+  
    分光光度计测定资料 'n>K^rA  
    读写分光光度计测定文件夹，将可显示于坡长曲线图。 既可将使用分光光度计分光光度计测定的数据与设计值放于同一曲线图做比较。 ?x:m;z/  
    测定值为相对值时，可变换为绝对值。
    ~q{\;  
    {*sGhGwr  
    ';_1rh  
    对应的档案形式 IS-}:~Pi  
    Hitachi UV1 files and UV-Solutions files(*.UDS, *.UDA), (gLea  
    Shimadzu SPC files, k - FB  
    Olympus-USPM files(*.dat, *.csv), "P MO  
    Jasco JWS files, 3b#L17D3_  
    Ocean-Optics OOi-Base32 files, ot^q}fRX  
    csv files, R_maNfS]Z  
    tab separated text files. !syU]Yk  
    色散资料 &xgZF Sq  
    基板data }(m1ql  
    1381基板data为事先预设。 Cm^Yl p  
    SCHOTT, OHARA, HOYA, SUMITA, HIKARI, CDGM(成都光明) Xc{ZN1 4n  
    APEL, ZEONEX, PMMA, Polycarbonate, etc. N A8 sN  
    您也可以注册自己的数据。 -48`#"xy  
    膜物质data %WZ$]M?q  
    下记膜物质data为事先预设。 M/*Bh,M`  
    Ag, Al2O3, AL, Au, Cr, Cu, H2, H4, LaF3, M3, M3-RT, MgF2, Nb2O5, Nb2O5-RT, OH5, OH5-RT, OS50, OS50-RT, SiO2, Ta2O5, Ta2O5-RT, Ti, TiO2, Zn, ZnS, ZrO2, Cytop Z?-;.G*  
    Al2O3(KTM), HfO2(KTM), LaF3(KTM), Ti3O5(KTM), ZrO2(KTM), ZRT2(KTM) H4W1\u  
    KTM: Kyoto Thin-Film Materials Institute @]*[c})/  
    您也可以注册自己的数据。 1bd$XnU  
    薄膜计算工具 2v4W6R  
    附有简易计算关于薄膜的「薄膜计算工具」。 N5yJ'i~,M  
    λ/4膜的折射率 Xj%,xm>}!u  
    由单层膜的反射率测定Peek值來计算折射率的功能率。
    YDW|-HIF  
    NJk)z&M  
    ;r3}g"D@  
    厚膜的反射率 )u<eO FI+  
    计算两个面的合计反射率功能。
    2_ wv C  
    w:v=se"U  
    ]{<saAmJC  
    3层等价膜 ?5`{7daot  
    将某折射率的λ/4膜，移至另2种折射率的3层膜里，呈现与反射率相同一般的功能。作为实际的膜材料，欲将不存在的折射率λ/4膜与已存在的两种类膜材料做交换时膜使用。
    [M`=HhJ4  
    ,'=hjIel  
     
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