时间地点： e. [h
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司；苏州黉论教育咨询有限公司 JH 8^ZP:d'
授课时间：2023年12月28日（四）-30日(六）共3天 AM 9:00-PM 16:00 k]Yd4CC2
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 (UCWSA7oc
课程讲师：讯技光电高级工程师 V[~/sc )
课程费用：5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) k3&Wv
课程概要： )/UkJ/}j
本课程从基本衍射原理开始，逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上，进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上，再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论，并以此为基础阐明多种微纳光学元件（如偏振元件）的设计理念。与理论设计相应的，课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术，是以质量为先还是需要考虑批量加工成本，这些问题也会在课程中讨论。此外，更重要的一点是，衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的，甚至是有所制约的。因此，我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系，并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法，从而做到真正的学以致用，加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 3o h(d. Z
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课程大纲： +BE SO
1.波动光学基础 G=DRz F
□ 双光束干涉及杨氏干涉 L9T|* ?||
□ 相干及非相干光源的传播特性 0L'h5i>H)
□ 衍射光学与傅里叶变换 "bJW yUb
2.衍射元件概述 ig6F !p
□ 衍射光学元件概念 ]'hz+V31%
□ 衍射光学元件优点 Up~#]X
□ 光束分束、整形、扩散 =m UtBD.;
□ 傅里叶变换 z&w@67
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□ 角谱理论 gF&1e5`i
□ 工作装置类型 {<V{ 0
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3.衍射光学元件理念及设计 flRok?iF
□ 基本理念 [S4< bh!
□ 透镜和衍射光学元件的作用 tks1* I$S<
□ 分束、整形和扩散的实质 HZ/e^"cpM
□ 衍射光学元件的特征尺寸 kIyi f7
□ 衍射光学元件优化设计方法 E sd A %`
4.IFTA简介 ?e0ljx;
□ 基本设计步骤 s vN& ~@ l
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 up1kg>i%"
□ 参数估算——周期和线宽的估算 +ps(9O/B>
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 s_/ CJ6 s
□ 配置设计过程的优化评价函数 *&XOzaVU
5.衍射元件设计案例 m)V %l0
□ 衍射分束器参数选择 t~3!| @3i
□ 衍射分束器设计流程：规则和任意形状 P9BShC5
□ 衍射整形器参数选择 T< D&%)
□ 衍射整形器设计流程：1D和2D平顶型 l4RZ!K*X_"
□ 衍射扩散器参数选择 (V&$KDOA
□ 衍射扩散器设计流程：平顶型和任意图案 09/Mg
6.光栅模拟分析 n&Bgpt~
□ 构建stack |Y4c+6@_
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 }get e'I
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 }Ge$?ZFH
□ 2D光栅表面镀膜分析
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Qln|b8<
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 0
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□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 !Wgi[VB
7.光栅概述 @kd` 9Yw
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 9! ; /+P
□ 标量衍射和傅里叶变换 JD9)Qelw^$
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 qx|~H'UuBN
□ 纳米光学元件的应用：抗反射、偏振控制、成像、传感等 \I ( g70
8.微纳光学元件制作
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□ 多阶器件加工 a[I
: ^S
□ 连续器件加工 *lc|iq\
□ 传统套刻法 5<YV`T{5Kl
□ 激光直写法 T,r?% G{XE
□ 纳米光子器件制作概述 fS?}(7
□ 衍射光学元件公差分析 }20~5!
9.答疑 1
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