时间地点： &6Ns7w6*z
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司；苏州黉论教育咨询有限公司 -#daBx
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授课时间：2023年12月28日（四）-30日(六）共3天 AM 9:00-PM 16:00 *qbRP"#[$
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 wJ/ ~q)
课程讲师：讯技光电高级工程师 <TL])@da
课程费用：5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) 2S'AIuIew
课程概要： (26Bs':M~
本课程从基本衍射原理开始，逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上，进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上，再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论，并以此为基础阐明多种微纳光学元件（如偏振元件）的设计理念。与理论设计相应的，课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术，是以质量为先还是需要考虑批量加工成本，这些问题也会在课程中讨论。此外，更重要的一点是，衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的，甚至是有所制约的。因此，我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系，并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法，从而做到真正的学以致用，加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 7
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课程大纲： g&q^.7c}
1.波动光学基础 &bn*p.=G
□ 双光束干涉及杨氏干涉 kGruo5A
□ 相干及非相干光源的传播特性 Z0{f
□ 衍射光学与傅里叶变换 +J% 6bn)U
2.衍射元件概述 3g^IXm:K$
□ 衍射光学元件概念 d8D yv#gT
□ 衍射光学元件优点 @h!U
□ 光束分束、整形、扩散 |e~u!V\m
□ 傅里叶变换 uF+);ig
□ 角谱理论 >'ie!VW@
□ 工作装置类型 !B0v<+;P8
3.衍射光学元件理念及设计 i'U,S`L6>
□ 基本理念 fmtuFr^a1
□ 透镜和衍射光学元件的作用 >\Z lZ
□ 分束、整形和扩散的实质 G,+xT}@wu
□ 衍射光学元件的特征尺寸 is64)2F](
□ 衍射光学元件优化设计方法 b b*c+XN0
4.IFTA简介 }{ P&idkv
□ 基本设计步骤 L ,f^mX0<
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 ~}epq6L>
□ 参数估算——周期和线宽的估算 [5x+aW%ql
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 rve7YS'
□ 配置设计过程的优化评价函数 1hF2eNh
5.衍射元件设计案例
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□ 衍射分束器参数选择 b (g_.1[
□ 衍射分束器设计流程：规则和任意形状 YCtIeq%
□ 衍射整形器参数选择 J 11 dqj
□ 衍射整形器设计流程：1D和2D平顶型 8'' 9 @xz
□ 衍射扩散器参数选择 ^H
f+du
□ 衍射扩散器设计流程：平顶型和任意图案 1!K !o Y
6.光栅模拟分析 z?8zFP
□ 构建stack _HSTiJVr
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 e{c._zr,
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 u]ZqF *
□ 2D光栅表面镀膜分析 jI@bTS o
%Y#[% ~|(
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 >^M! @=/?J
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 MBnK&GS
7.光栅概述 |:!E HFr
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 <|m E9u
□ 标量衍射和傅里叶变换 oVKsic?
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 3(oZZz
□ 纳米光学元件的应用：抗反射、偏振控制、成像、传感等 ZE5-i@1
8.微纳光学元件制作 m0dFA <5-
□ 多阶器件加工 {s9y@c*15.
□ 连续器件加工 "~ .8eKRQ
□ 传统套刻法 \c5#\1<
□ 激光直写法 )Mm;9UA
□ 纳米光子器件制作概述 S
jC)6mo
□ 衍射光学元件公差分析 `kaR@t
9.答疑 u * #-7
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