时间地点: |A4B4/!
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司 ,WdSJ BK'a
授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00 {9J|\Zz3
授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 JP!e'oWxi
课程讲师:讯技光电高级工程师 nANl9;G
课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) hl[<o<`Q
课程概要: u%L6@M2
本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 f*@
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课程大纲: hgZvti
1.波动光学基础 g=KK
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□ 双光束干涉及杨氏干涉 "eoPG#]&
□ 相干及非相干光源的传播特性 /XG7M=A$o
□ 衍射光学与傅里叶变换 <F`9;WX
2.衍射元件概述 TaF*ZT2
□ 衍射光学元件概念 *K>2B99TXu
□ 衍射光学元件优点 F_u?.6e]
□ 光束分束、整形、扩散 bSM|"
□ 傅里叶变换 W)`>'X`
□ 角谱理论 |yNyk7~
□ 工作装置类型 4JBfA,
3.衍射光学元件理念及设计 oCwep^P(v
□ 基本理念 $_%
□ 透镜和衍射光学元件的作用 ?:q"qwt$F
□ 分束、整形和扩散的实质 0"-H34M<D
□ 衍射光学元件的特征尺寸 UB] tKn
□ 衍射光学元件优化设计方法 x8z6 <
4.IFTA简介 'bv(T2d~~
□ 基本设计步骤
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□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 d*!H&1L
□ 参数估算——周期和线宽的估算 7ey|~u2
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 5m;pHgkb
□ 配置设计过程的优化评价函数 wPyc?:|KD?
5.衍射元件设计案例 m:EYOe,w
□ 衍射分束器参数选择 zBrIhL]95
□ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状 zv1,DnkqF
□ 衍射整形器参数选择 +=`w
□ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型 WOYZ
□ 衍射扩散器参数选择 }zo-%#
□ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案 Jx3a7CpX
6.光栅模拟分析 yl<=_Q
□ 构建stack YU87l
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 ),<h6$
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 1_~'?'&^
□ 2D光栅表面镀膜分析 E?0RR'
/|Gz<nSc
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 PHsM)V+
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 Mc
7.光栅概述 DL_M#c`<
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 4!glgEE*
□ 标量衍射和傅里叶变换 Y\H4.$V
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 EU5(s*A
□ 纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、成像、传感等 =0@ o(#gM
8.微纳光学元件制作 e?aSM
□ 多阶器件加工 KE)^S
[Da
□ 连续器件加工 [xs`Pi
□ 传统套刻法 B*Q.EKD8s
□ 激光直写法 m[5ed1+
□ 纳米光子器件制作概述 lZ+1A0e
□ 衍射光学元件公差分析 Mf:x9#
9.答疑 HV3D$~g F
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