时间地点： u(P;) E"1
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司；苏州黉论教育咨询有限公司 C! J6"j
授课时间：2023年12月28日（四）-30日(六）共3天 AM 9:00-PM 16:00 SM8m\c
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 3-$w5O3}
课程讲师：讯技光电高级工程师 aIABx!83>
课程费用：5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) 5"8R|NU:\0
课程概要： |4u?Q+k%%
本课程从基本衍射原理开始，逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上，进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上，再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论，并以此为基础阐明多种微纳光学元件（如偏振元件）的设计理念。与理论设计相应的，课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术，是以质量为先还是需要考虑批量加工成本，这些问题也会在课程中讨论。此外，更重要的一点是，衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的，甚至是有所制约的。因此，我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系，并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法，从而做到真正的学以致用，加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 U&<w{cuA
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课程大纲： 'ktWKW$
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1.波动光学基础 rC FTch"
□ 双光束干涉及杨氏干涉 \J?5K l[*c
□ 相干及非相干光源的传播特性 _HkB+D0v
□ 衍射光学与傅里叶变换 y6 !Zt}m
2.衍射元件概述 @dp1bkU
□ 衍射光学元件概念 'P5|[du+
□ 衍射光学元件优点 ?5#=Mh#
□ 光束分束、整形、扩散 ."\&;:ZNv
□ 傅里叶变换 y yVv@
□ 角谱理论 lg! {?xM
□ 工作装置类型 4*aNdh[t.
3.衍射光学元件理念及设计 _Q3Ad>,U
□ 基本理念 b(McH*_8e
□ 透镜和衍射光学元件的作用 J>Uzd,
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□ 分束、整形和扩散的实质
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□ 衍射光学元件的特征尺寸 L?( %
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□ 衍射光学元件优化设计方法 +
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4.IFTA简介 a,U@ !}K
□ 基本设计步骤 9QryW\6.@z
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 3U73_ =>=&
□ 参数估算——周期和线宽的估算 m+/-SG
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 1*Ui=M4
□ 配置设计过程的优化评价函数 !^*I?9P
5.衍射元件设计案例 @43o4 ,
□ 衍射分束器参数选择 Bz#K_S
□ 衍射分束器设计流程：规则和任意形状 4? a!6
□ 衍射整形器参数选择 HN *w(bROr
□ 衍射整形器设计流程：1D和2D平顶型 2 o5v{W
□ 衍射扩散器参数选择 X@ Gm:6
□ 衍射扩散器设计流程：平顶型和任意图案 k$7@@?<
6.光栅模拟分析 %wp# vO-$
□ 构建stack jW-j+ WGSM
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 &i~AXNw
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析
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□ 2D光栅表面镀膜分析 boR&'y X
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□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 cn4C K. ?
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 ' 1aU0<
7.光栅概述 vZns,K#4H\
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 g(0
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□ 标量衍射和傅里叶变换 -\`n{$OR
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 s2@}01QPo
□ 纳米光学元件的应用：抗反射、偏振控制、成像、传感等 U&mJ_f#M
8.微纳光学元件制作 \
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□ 多阶器件加工 .bYDj&]P{
□ 连续器件加工 a9q68
□ 传统套刻法 Odr @ 9MJ
□ 激光直写法 cmIAWFj-)e
□ 纳米光子器件制作概述 O]n"aAu@
□ 衍射光学元件公差分析 xi=qap=S^9
9.答疑 r'p;Nj.
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