时间地点： @QF;m
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司；苏州黉论教育咨询有限公司 "_:6v64Gx
授课时间：2023年12月28日（四）-30日(六）共3天 AM 9:00-PM 16:00 M%7|7V<o)^
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 )-25? B
课程讲师：讯技光电高级工程师 6#HnA"I2n
课程费用：5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) p:3w8#)MZ
课程概要： kA9 k^uR/
本课程从基本衍射原理开始，逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上，进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上，再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论，并以此为基础阐明多种微纳光学元件（如偏振元件）的设计理念。与理论设计相应的，课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术，是以质量为先还是需要考虑批量加工成本，这些问题也会在课程中讨论。此外，更重要的一点是，衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的，甚至是有所制约的。因此，我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系，并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法，从而做到真正的学以致用，加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 #It!D5A
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课程大纲： f,ql8q(|J
1.波动光学基础 QRwO v
□ 双光束干涉及杨氏干涉 i#PR
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□ 相干及非相干光源的传播特性 (ih t
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□ 衍射光学与傅里叶变换 }Ggn2 X
2.衍射元件概述 l`a_0
□ 衍射光学元件概念 olK*uD'`
□ 衍射光学元件优点 <eZrb6a'
□ 光束分束、整形、扩散 e1hf{:&/G@
□ 傅里叶变换 {~#d_!(
□ 角谱理论 |7!B k$(vA
□ 工作装置类型 \\35}
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3.衍射光学元件理念及设计 Ii>#9>!F
□ 基本理念 O mph(
□ 透镜和衍射光学元件的作用 [YJ*zO
□ 分束、整形和扩散的实质 V>ZDJW"G!
□ 衍射光学元件的特征尺寸 >]2 ^5C ;
□ 衍射光学元件优化设计方法 @.p r}S/
4.IFTA简介 jH<,dG:{
□ 基本设计步骤 LYTnMrM
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 kD6Iz$tr
□ 参数估算——周期和线宽的估算 bnV)f<
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 ".?y!VY
□ 配置设计过程的优化评价函数 }xY|z"&
5.衍射元件设计案例 &?k`rF9
□ 衍射分束器参数选择 6` 3kNk;
□ 衍射分束器设计流程：规则和任意形状 1U
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□ 衍射整形器参数选择 y|3!E>Up
□ 衍射整形器设计流程：1D和2D平顶型 ML%JT x0+Z
□ 衍射扩散器参数选择 |RD E/
□ 衍射扩散器设计流程：平顶型和任意图案 mFE7#OM
6.光栅模拟分析 _,w*Rv5 =
□ 构建stack ozA%u,\7 k
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 =.,XJIw&
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 }{v0}-~@
□ 2D光栅表面镀膜分析 Z 2lX^z
^b*ub(5Ot
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 n yOvB#f
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 N8X )/W
7.光栅概述 4ZB]n, pfT
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 Kc +9n%sp
□ 标量衍射和傅里叶变换 <iM}p^jX9
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 ZQmg;L&7
□ 纳米光学元件的应用：抗反射、偏振控制、成像、传感等 fLV@~T|
8.微纳光学元件制作 iu{QHjZK(
□ 多阶器件加工 <XzRRCYQ
□ 连续器件加工 )7Oj
□ 传统套刻法 ?l`|j *
□ 激光直写法 Qd}h:U ^
□ 纳米光子器件制作概述 Q|f)Awe$
□ 衍射光学元件公差分析 {3 >`k.w
9.答疑 ,Uy~O(F t
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