时间地点: +Kgl/Wg%
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司 `LoRudf_`
授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00 i1x4$}
授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 z*T41;b
课程讲师:讯技光电高级工程师 m%.4OXX"&
课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) .QP`Qn6 (P
课程概要: =+_nVO*
本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 bqH
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课程大纲: V(Pw|u"
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1.波动光学基础 bYLYJ`hH<R
□ 双光束干涉及杨氏干涉 \SmsS^z(]
□ 相干及非相干光源的传播特性 HKbV@NW
□ 衍射光学与傅里叶变换 vk|f"I
2.衍射元件概述 6{;6~?U
□ 衍射光学元件概念 [NE!
□ 衍射光学元件优点 d_(>:|oh
□ 光束分束、整形、扩散 c9c]1XJ
□ 傅里叶变换 Yp(0 XP5o
□ 角谱理论 g5#LoGc
□ 工作装置类型 gH7 +#/
3.衍射光学元件理念及设计 DSHvBFQ
□ 基本理念 n`^jNXE
□ 透镜和衍射光学元件的作用 egs P\ '
□ 分束、整形和扩散的实质 /
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□ 衍射光学元件的特征尺寸 (P?|Bk[
□ 衍射光学元件优化设计方法 :sw5@JdJ
4.IFTA简介 *i*\dl
□ 基本设计步骤 *JImP9SE
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 3]1 !g6
□ 参数估算——周期和线宽的估算 D)G oWt
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 `=;}I@]zj)
□ 配置设计过程的优化评价函数 A)~oD_ooQ
5.衍射元件设计案例 a4uy}@9z
□ 衍射分束器参数选择 >3g`6d
□ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状 sR$abN+u
□ 衍射整形器参数选择 Ngx2N<$<*g
□ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型 #rW-jW=A
□ 衍射扩散器参数选择 ~I N g9|
□ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案 .4ww5k>
6.光栅模拟分析 Mh3.GpS
□ 构建stack l'<&H#A;'
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 fwUvFK1G
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 j+'ua=T3
□ 2D光栅表面镀膜分析 YCP D+
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□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 [3=Y 9P:
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 Ma\%uEgTD
7.光栅概述 zdem}kBIe
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 d. d J^M
□ 标量衍射和傅里叶变换 EyR/
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 >lmqPuf
□ 纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、成像、传感等 {_W8Qm`.
8.微纳光学元件制作 X`<z5W] !
□ 多阶器件加工 ir}*E=*
□ 连续器件加工 _=x*yDPG}
□ 传统套刻法 O*+HK1q7
□ 激光直写法 % dFz[b
□ 纳米光子器件制作概述 6|Dtx5
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□ 衍射光学元件公差分析 LV9R ]
9.答疑 ({Yfsf,
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