时间地点： $e(]L(o;
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司；苏州黉论教育咨询有限公司 4 h} 03 oG
授课时间：2023年12月28日（四）-30日(六）共3天 AM 9:00-PM 16:00 &b!L $@6
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 PKDzIA~T
课程讲师：讯技光电高级工程师 Pv mmyF
课程费用：5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) FG-v71!h#
课程概要： $!~R' N c
本课程从基本衍射原理开始，逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上，进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上，再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论，并以此为基础阐明多种微纳光学元件（如偏振元件）的设计理念。与理论设计相应的，课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术，是以质量为先还是需要考虑批量加工成本，这些问题也会在课程中讨论。此外，更重要的一点是，衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的，甚至是有所制约的。因此，我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系，并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法，从而做到真正的学以致用，加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 #Az#dt]H
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课程大纲： )Dg;W6
1.波动光学基础 =bn(9Gm!J
□ 双光束干涉及杨氏干涉 (#|CL/ &
□ 相干及非相干光源的传播特性 pN\YAc* @:
□ 衍射光学与傅里叶变换 )<J|kC\r6c
2.衍射元件概述 +
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□ 衍射光学元件概念 RK7vR~kf<
□ 衍射光学元件优点 X# 62 5h
□ 光束分束、整形、扩散 B =EI&+F+
□ 傅里叶变换 L 5+X&
□ 角谱理论 U8f!yXF'
□ 工作装置类型 jkTh)Bm|'
3.衍射光学元件理念及设计 ]4{ )VXod
□ 基本理念 dA)JR" r2
□ 透镜和衍射光学元件的作用 kTC' `xv
□ 分束、整形和扩散的实质 <)hA? 3J
□ 衍射光学元件的特征尺寸 h8nJt>h
□ 衍射光学元件优化设计方法 0 _!')+
4.IFTA简介 K-_XdJ\
□ 基本设计步骤 vb o| q [z
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 W0zRV9"P
□ 参数估算——周期和线宽的估算 uX.^zg]}%
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 zmA]@'j
□ 配置设计过程的优化评价函数 4tQ~Z6Jn;
5.衍射元件设计案例 :i{Svb*_'
□ 衍射分束器参数选择 Ri<7!Y?l
□ 衍射分束器设计流程：规则和任意形状 S]}hh,A
□ 衍射整形器参数选择 q
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□ 衍射整形器设计流程：1D和2D平顶型 (D.B'V#>
□ 衍射扩散器参数选择 >MTrq%.
□ 衍射扩散器设计流程：平顶型和任意图案 p`dH4y]D
6.光栅模拟分析 R6(sWN -
□ 构建stack 1*x;jO>Hk
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 ?%|w?Fdx-
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 0XcH
□ 2D光栅表面镀膜分析 lx'^vK% F
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□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 }?\8%hK"a7
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 vz$_Fgsc.
7.光栅概述 h_( #U)z_3
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 p\'0m0*
□ 标量衍射和傅里叶变换 8 vp*U
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 N$!aP /b
□ 纳米光学元件的应用：抗反射、偏振控制、成像、传感等 y ;\m1o 2
8.微纳光学元件制作 TR<M3,RG#%
□ 多阶器件加工 ;u(#-C2^{l
□ 连续器件加工 J1s~w`,
□ 传统套刻法 ~nVO%IxM4J
□ 激光直写法 X7 bS{GT
□ 纳米光子器件制作概述 *(,zPn,
□ 衍射光学元件公差分析 8gHOs#\
9.答疑 /wR,P
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