时间地点： .)3 <Q}>
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司；苏州黉论教育咨询有限公司 /{2, zW
授课时间：2023年12月28日（四）-30日(六）共3天 AM 9:00-PM 16:00 OTv)
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 JGZ BL{8
课程讲师：讯技光电高级工程师 r_d! ikOT(
课程费用：5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) iow"n$/
课程概要： n{jGOfc
本课程从基本衍射原理开始，逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上，进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上，再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论，并以此为基础阐明多种微纳光学元件（如偏振元件）的设计理念。与理论设计相应的，课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术，是以质量为先还是需要考虑批量加工成本，这些问题也会在课程中讨论。此外，更重要的一点是，衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的，甚至是有所制约的。因此，我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系，并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法，从而做到真正的学以致用，加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 CN ?gq^
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课程大纲： )B*t
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1.波动光学基础 (At$3b6
□ 双光束干涉及杨氏干涉 &3&HY:yF
□ 相干及非相干光源的传播特性 R!1p^~/
□ 衍射光学与傅里叶变换 ~G w*r\\+
2.衍射元件概述 )gi9f1n`
□ 衍射光学元件概念 <naz+QK'
□ 衍射光学元件优点 SWLo|)@[/
□ 光束分束、整形、扩散 | ?9HU~B
□ 傅里叶变换 @nf`Gw ;
□ 角谱理论 #E]59_
□ 工作装置类型 JS77M-A c
3.衍射光学元件理念及设计 h];I{crh
□ 基本理念 X?Au /
□ 透镜和衍射光学元件的作用 =H~j,K
□ 分束、整形和扩散的实质 `X8F`5&U\f
□ 衍射光学元件的特征尺寸
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□ 衍射光学元件优化设计方法 EK'!}OGCG
4.IFTA简介 <Gsu Z
□ 基本设计步骤 ;d?R:U w8
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 hOeRd#AQK
□ 参数估算——周期和线宽的估算 ~XIb\m9 H
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 .^g p?
□ 配置设计过程的优化评价函数 '< M{)?
5.衍射元件设计案例 @WB@]-+J
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□ 衍射分束器参数选择 d'2A,B~_*
□ 衍射分束器设计流程：规则和任意形状 r/1(]#kOX
□ 衍射整形器参数选择 7 d vnupLh
□ 衍射整形器设计流程：1D和2D平顶型 +n)9Tz5
□ 衍射扩散器参数选择 / j^
□ 衍射扩散器设计流程：平顶型和任意图案 Z{R>
6.光栅模拟分析 ME dWLFf
□ 构建stack `2snz1>!j
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 * ] (iS
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 )*[3Vq
□ 2D光栅表面镀膜分析 +d>IHpt
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□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 yjAL\ U7`T
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 =Uh$&m
7.光栅概述 RpF&\x>
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 =}*0-\QG
□ 标量衍射和傅里叶变换 40/Y\
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 ?EL zj
□ 纳米光学元件的应用：抗反射、偏振控制、成像、传感等 w eQ_*<5%
8.微纳光学元件制作 /\Ef%@
□ 多阶器件加工 99S ^f:t
□ 连续器件加工 j F>[?L
□ 传统套刻法 <!+Az,-
□ 激光直写法 liZxBs
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□ 纳米光子器件制作概述 xmX 4qtAL
□ 衍射光学元件公差分析 Q@niNDaW2
9.答疑 /,dz@
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