时间地点: J>vMo@
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司 ^eq</5q D
授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00 ?=Pd
授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 ?)4?V\$
课程讲师:讯技光电高级工程师 ~%k ?L4%
课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) LJlZ^kh
课程概要: eDKxn8+(H
本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 S::=85[>z
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课程大纲: }WLh8i?_
1.波动光学基础 Pt,ebL~
□ 双光束干涉及杨氏干涉 giY80!GX
□ 相干及非相干光源的传播特性 k"UO c=
□ 衍射光学与傅里叶变换 `6=-WEo
2.衍射元件概述 D=f7NVc >Q
□ 衍射光学元件概念 OW;tT=ql
□ 衍射光学元件优点 6 ,ANNj
□ 光束分束、整形、扩散 bzpFbfb
□ 傅里叶变换 9=l.T/?sf
□ 角谱理论 (t^n'V
□ 工作装置类型 S^I,Iz+`S'
3.衍射光学元件理念及设计 >H][.@LyR
□ 基本理念 \;5\9B"i
□ 透镜和衍射光学元件的作用 DbI!l`Vn4
□ 分束、整形和扩散的实质 F0Jx(
□ 衍射光学元件的特征尺寸 $m$;v<PSe
□ 衍射光学元件优化设计方法 hS [SRa'.
4.IFTA简介 PG%0yv%
□ 基本设计步骤 dhPKHrS
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 EV M7Q>
□ 参数估算——周期和线宽的估算 oih5B<&f#
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 Q[n\R@
□ 配置设计过程的优化评价函数 Rg&-0b
5.衍射元件设计案例 LwqC~N
□ 衍射分束器参数选择 xg`h40c
□ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状 eP1nUy=T
□ 衍射整形器参数选择 F?+3%>/A@
□ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型 <~U4*
□ 衍射扩散器参数选择 !\ND(
□ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案 q-$`k
6.光栅模拟分析 BcWcdr+}9
□ 构建stack `1` f*d
v
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 9 ;t]Hp_+K
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 'vV$]/wBF
□ 2D光栅表面镀膜分析 o?Nu:&yE
#^#Kcg
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 _mE^rT
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 | $^;wP
7.光栅概述 @`"AHt
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 kT IYD o
□ 标量衍射和傅里叶变换 5MTgK=c
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 NLd``=&
□ 纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、成像、传感等 qNgd33u1
8.微纳光学元件制作 i%Z2wP.o
□ 多阶器件加工 VL+C&k v]
□ 连续器件加工 j`*N,*ha
□ 传统套刻法 ITJ q
□ 激光直写法 &a)eJF]:!
□ 纳米光子器件制作概述 cR{>IH 4^
□ 衍射光学元件公差分析 w FtN+
9.答疑 10[Jl5+t
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