时间地点:
6XFLWN-) 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司
pGsk[. 授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00
`hVi!Q]*P 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室
]RvFn~E!s 课程讲师:讯技光电高级工程师
Q|6lp 课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)
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YEkWB^ 课程概要:
4GN 本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射
光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。
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:r} 课程大纲:
4ZX6=-u^ 1.波动光学基础 (v)/h>vS □ 双光束干涉及杨氏干涉
}g9g]\.!a □ 相干及非相干
光源的传播特性
$!ATj`}kb □ 衍射光学与傅里叶变换
nj(\+l5 2.衍射元件概述 Rt9S □ 衍射光学元件概念
PsMp&~^ □ 衍射光学元件优点
6z'3e\x □ 光束分束、整形、扩散
:,@\q0j"= □ 傅里叶变换
om1@;u8u □ 角谱理论
0# d:<+4D □ 工作装置类型
!P"@oJ/Yy_ 3.衍射光学元件理念及设计 e|e"lP □ 基本理念
=>LQW;Sjz □
透镜和衍射光学元件的作用
%@~;PS3kd □ 分束、整形和扩散的实质
_X6@.sM/2 □ 衍射光学元件的特征尺寸
0zHMtC1, □ 衍射光学元件
优化设计方法
yW)&jZb"( 4.IFTA简介 xe&w.aBI> □ 基本设计步骤
EW~M,+? □
光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱
+I>V9%%vW_ □
参数估算——周期和线宽的估算
!j8
DCVb □ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率
]F#}8$ □ 配置设计过程的优化评价函数
[X7KlS9x2 5.衍射元件设计案例 O}3|UI!` □ 衍射分束器参数选择
4c'F.0^ □ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状
#WlTE& □ 衍射整形器参数选择
U^&,xz$Cg □ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型
7@NV|Idtd □ 衍射扩散器参数选择
'5r\o8RjN □ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案
#7r13$>! 6.光栅模拟分析 oO4hBM([ □ 构建stack
/7fD;H^* □ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次
(Zz8 ldO □ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析
RA$%3L[A! □ 2D光栅表面镀膜分析
f6])M) U0ZPY )7k □ 3D表面具有减反结构的光栅分析
L&,&SDr □ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析
/_[?i"GW 7.光栅概述 eq6>C7.$ □ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件
E'cI} q □ 标量衍射和傅里叶变换
I
R|[&} z □ 矢量衍射和傅里叶模态法
V~
q
b2$ □
纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、
成像、传感等
0CpE,gg 8.微纳光学元件制作 k~XDwmt; □ 多阶器件加工
BS|$-i5L □ 连续器件加工
%}}?Y`/W) □ 传统套刻法
_zK
~9/5 □
激光直写法
PSHzB!
H=n □ 纳米
光子器件制作概述
`Fx+HIng, □ 衍射光学元件公差分析
QX+Xi<YE- 9.答疑 7tP
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