时间地点:
9[|4[3K 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司
B[xR-6phW 授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00
H|+tC=]4IZ 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室
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Xj5R 课程讲师:讯技光电高级工程师
TvrwVL) 课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)
=wA5P@ 课程概要:
4S *,\ q]q 本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射
光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。
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3B,QJ& 课程大纲:
J`Oy .Qu) 1.波动光学基础 t>U!Zal" □ 双光束干涉及杨氏干涉
XN;/nU □ 相干及非相干
光源的传播特性
NdQ%:OKC □ 衍射光学与傅里叶变换
/Antb6E 2.衍射元件概述 b]`^KTYK □ 衍射光学元件概念
dp^N_9$cdO □ 衍射光学元件优点
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. □ 光束分束、整形、扩散
A ^B@VuK □ 傅里叶变换
BQ#jwu0e □ 角谱理论
O:u%7V/ □ 工作装置类型
Jf+7"![| 3.衍射光学元件理念及设计 uJPH~mdW □ 基本理念
%\yK5V5 □
透镜和衍射光学元件的作用
/w~C~6z
@! □ 分束、整形和扩散的实质
>0T3'/k<H □ 衍射光学元件的特征尺寸
W#45a.v □ 衍射光学元件
优化设计方法
MYTS3( 4.IFTA简介
z^~U]S3 □ 基本设计步骤
%UmbDGDWI □
光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱
]7F)bIG[ □
参数估算——周期和线宽的估算
&PWf:y{R` □ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率
|+/$ g. □ 配置设计过程的优化评价函数
;xW{Ehq-h 5.衍射元件设计案例 n^6TP'r □ 衍射分束器参数选择
aL$j/SC □ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状
s?<!&Y □ 衍射整形器参数选择
HWR&C □ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型
O<a3DyUa; □ 衍射扩散器参数选择
kGj]i@(PA4 □ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案
2B'^`>+8S 6.光栅模拟分析 Y\>\[*.v □ 构建stack
5 V rcR=?O □ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次
!pS~'E&q □ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析
)]]|d □ 2D光栅表面镀膜分析
={xqNRVd t;XS;b% □ 3D表面具有减反结构的光栅分析
TA9dkYlE/ □ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析
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?:F4Q 7.光栅概述
/Ef4EX0 □ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件
D`fc7m □ 标量衍射和傅里叶变换
r
&c_4%y □ 矢量衍射和傅里叶模态法
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[w++F~ □
纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、
成像、传感等
d5q4'6o, 8.微纳光学元件制作 j%GbgJ □ 多阶器件加工
C[W5d~@;E □ 连续器件加工
[Z% l. □ 传统套刻法
:28@J?jjO □
激光直写法
6DO0zNTY □ 纳米
光子器件制作概述
,@,LD u □ 衍射光学元件公差分析
z.A4x#>- 9.答疑 =jBL'|k5 有兴趣扫码加微联系