时间地点: I8;[DP9
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司 M #&L@fg!
授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00 emPm^M5/K
授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 H^:|`T|,
课程讲师:讯技光电高级工程师 NT/B4'_@
课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) kK|+W,
课程概要: m e{SVG{
本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 g9Gy3zk=
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课程大纲: <XrGr5=BV
1.波动光学基础 {~I_rlo n
□ 双光束干涉及杨氏干涉 lB~'7r`
□ 相干及非相干光源的传播特性 :
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□ 衍射光学与傅里叶变换 iZ\z!tH R
2.衍射元件概述 Bt3=/<.\
□ 衍射光学元件概念 lFY8^#@
□ 衍射光学元件优点 j1+Y=@MA
□ 光束分束、整形、扩散 >v,j;[(
□ 傅里叶变换 }l!_m.#e
□ 角谱理论 s2=X>,kz?
□ 工作装置类型 nn%xN\~<
3.衍射光学元件理念及设计 Qo *]l_UO;
□ 基本理念 !PIdw~YC
□ 透镜和衍射光学元件的作用 5305N!
□ 分束、整形和扩散的实质 eJp-s" %
□ 衍射光学元件的特征尺寸 y<d#sv(s
□ 衍射光学元件优化设计方法 gj
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4.IFTA简介 'FFc"lqj
□ 基本设计步骤 V/}8+Xq
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 x's-UO"^
□ 参数估算——周期和线宽的估算 s9Z2EjQV
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 i%8 sy
□ 配置设计过程的优化评价函数 Q*(o;\s
5.衍射元件设计案例 'Sh5W%NM
□ 衍射分束器参数选择 .9Fm>e+!C
□ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状 IyP].g1"U
□ 衍射整形器参数选择 oyw1N;K
□ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型 1hi j4m$b
□ 衍射扩散器参数选择 1_lL?S3,a@
□ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案 epyfggMT
6.光栅模拟分析 cyNLeg+O*
□ 构建stack Y&:i^k
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 vrbh+
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 lej{VcG
□ 2D光栅表面镀膜分析 >O~5s.1u
>.\E'e5^C
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 ( mlc']F
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 L ai"D[N
7.光栅概述 *Fws]y2t~
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 ^&HYnwk
□ 标量衍射和傅里叶变换 0aWb s$FyU
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 j83
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□ 纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、成像、传感等 1[^d8!U
8.微纳光学元件制作 GNOC5 E$I
□ 多阶器件加工 `l"~"x^Rr
□ 连续器件加工 vE(Hy&Q&
□ 传统套刻法 Dy!fwYPA/{
□ 激光直写法 e
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□ 纳米光子器件制作概述 )K~nZLULY
□ 衍射光学元件公差分析 7l3q~ dQ
9.答疑 /$(D>KU
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