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线下培训课程——薄膜设计与镀膜工艺（上海） 主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司；苏州黉论教育咨询有限公司 授课时间： 2023年10月25日（三）-27日（五）共3天 AM 9:00-PM 16:00 授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 课程讲师：讯技光电高级工程师&资深顾问 课程费用：4800RMB/人(课程包含课程材料费、开票税金) 特邀专家介绍 易葵：中国科学院上海光机所正高级工程师，研究生导师，主要从事光学薄膜设计、制备工艺和测试相关方面的研究工作，尤其是在高功率激光薄膜、空间激光薄膜、X射线多层膜、真空镀膜技术与薄膜制备工艺研究等方面有较为深入的研究。 获得国家技术发明奖二等奖、上海市技术发明奖一等奖、上海市科技进步二等奖、军队科技进步二等奖等奖项，入选2014年度中科院“现有关键技术人才”。 课程概要 随着现代科技的飞速发展，光学薄膜的应用越来越广泛。光学薄膜的发展极大地促进了现代光学仪器性能的提高，其种类非常广泛，如增透膜，高反膜，分光膜，滤光片等，光学薄膜器件如今已经广泛应用到光通信技术、光伏产业技术、激光技术、光刻技术、航空航天技术等诸多领域。 本次课程第一天主要为国际知名的光学薄膜分析软件Essential Macleod的使用，第二天为各种类型的光学薄膜的设计模拟方法，前两天主讲人为讯技光电高级工程师，第三天特别邀请上海光学精密机械研究所专家易葵，分享光学薄膜制备工艺、激光薄膜关键技术以及光学薄膜的测量方法等相关内容。 课程大纲 1. Essential Macleod软件介绍 1.1 介绍软件 1.2 创建一个简单的设计 1.3 绘图和制表来表示性能 1.4 通过剪贴板和文件导入导出数据 1.5 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） 1.6 特定设计的公式技术 1.7 交互式绘图 2. 光学薄膜理论基础 2.1 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 2.2 后表面对光学薄膜特性的影响 3. 材料管理 3.1 材料模型 3.2 介质薄膜光学常数的提取 3.3 金属薄膜光学常数的提取 3.4 基板光学常数的提取 4. 光学薄膜设计优化方法 4.1 参考波长与g 4.2 四分之一规则 4.3 导纳与导纳图 4.4 斜入射光学导纳 4.5 光学薄膜设计的进展 4.6 Macleod软件的设计与优化功能 4.6.1 优化目标设置 4.6.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化，差分演化法） 4.6.3 膜层锁定和链接 5. Essential Macleod中各个模块的应用 5.1 非平行平面镀膜-棱镜镀膜透反吞吐量评估 5.2 光通信用窄带滤光片模拟 5.3 光控机器设置显示镀膜过程中预期的监测信号 5.4 镀膜沉积过程噪声信号模拟 5.5 如何在Function中编写脚本 6. 光学薄膜系统案例 6.1 常规光学薄膜案例-高反、增透、滤光片等 6.2 仿生蛾眼/复眼结构等 6.3 Stack应用范例说明 7. 薄膜性能分析 7.1 电场分布 7.2 公差与灵敏度分析 7.3 反演工程 7.4 均匀性，掺杂/孔隙材料仿真 8. 真空技术 8.1 常用真空泵介绍 8.2 真空密封和检漏 9. 薄膜制备技术 9.1 常见薄膜制备技术 10. 薄膜制备工艺 10.1 薄膜制备工艺因素 10.2 薄膜均匀性修正技术 10.3 光学薄膜监控技术 11. 激光薄膜 11.1 薄膜的损伤问题 11.2 激光薄膜的制备流程 11.3 激光薄膜的制备技术 12. 光学薄膜特性测量 12.1 薄膜光谱测量 12.2 薄膜光学常数测量 12.3 薄膜应力测量 12.4 薄膜损伤测量 12.5 薄膜形貌、结构与组分分析 有兴趣的小伙伴们可以扫码加微联系 书籍推荐《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（第二版 精装） Macleod软件自带的用户手册功能全面，其介绍涵盖了软件的方方面面，能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而，为了顺应目前薄膜行业的需求，急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍，以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作，因此，我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（原著第二版）是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结，结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod，其内容丰富，实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法，还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题，如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节，首先，从光学薄膜的基本理论出发（第2章），为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次，在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作，以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后，从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合，从而使大家将理论知识与实际经验结合起来，对实际镀膜提出实用的建议，以减少设计时间并降低生产成本。 薄膜光学涵盖范围很广，书中并附设计光盘和参考文献，有兴趣者可依此深入研究，为精准起见，在不影响理解的情况下，尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助，通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限，书中错误纰漏之处在所难免，本书若有不周之处，尚请读者不吝赐教。 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 目录 Preface 1 内容简介 2 目录 i 1 引言 1 2 光学薄膜基础 2 2.1 一般规则 2 2.2 正交入射规则 3 2.3 斜入射规则 6 2.4 精确计算 7 2.5 相干性 8 2.6 参考文献 10 3 Essential Macleod的快速预览 10 4 Essential Macleod的特点 32 4.1 容量和局限性 33 4.2 程序在哪里？ 33 4.3 数据文件 35 4.4 设计规则 35 4.5 材料数据库和资料库 37 4.5.1材料损失 38 4.5.1材料数据库和导入材料 39 4.5.2 材料库 41 4.5.3导出材料数据 43 4.6 常用单位 43 4.7 插值和外推法 46 4.8 材料数据的平滑 50 4.9 更多光学常数模型 54 4.10 文档的一般编辑规则 55 4.11 撤销和重做 56 4.12 设计文档 57 4.10.1 公式 58 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 4.10.3 沉积密度 59 4.10.4 平行和楔形介质 60 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 4.10.4 性能 61 4.10.5 保存设计和性能 64 4.10.6 默认设计 64 4.11 图表 64 4.11.1 合并曲线图 67 4.11.2 自适应绘制 68 4.11.3 动态绘图 68 4.11.4 3D绘图 69 4.12 导入和导出 73 4.12.1 剪贴板 73 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 4.13 背景 77 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 4.15 生成Rugate 84 4.16 参考文献 91 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 5.1 Jobs 92 5.2 创建一个新Job（工作） 93 5.3 输入材料 94 5.4 设计数据文件夹 95 5.5 默认设计 95 6 细化和合成 97 6.1 优化介绍 97 6.2 细化 (Refinement) 98 6.3 合成 (Synthesis) 100 6.4 目标和评价函数 101 6.4.1 目标输入 102 6.4.2 目标 103 6.4.3 特殊的评价函数 104 6.5 层锁定和连接 104 6.6 细化技术 104 6.6.1 单纯形 105 6.6.1.1 单纯形参数 106 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 6.6.2.1 Optimac参数 108 6.6.3 模拟退火算法 109 6.6.3.1 模拟退火参数 109 6.6.4 共轭梯度 111 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 6.6.5 拟牛顿法 112 6.6.5.1 拟牛顿参数： 112 6.6.6 针合成 113 6.6.6.1 针合成参数 114 6.6.7 差分进化 114 6.6.8非局部细化 115 6.6.8.1非局部细化参数 115 6.7 我应该使用哪种技术？ 116 6.7.1 细化 116 6.7.2 合成 117 6.8 参考文献 117 7 导纳图及其他工具 118 7.1 简介 118 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 7.2.1 四分之一波长规则 119 7.2.2 导纳图 120 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 7.5 斜入射导纳图 141 7.6 对称周期 141 7.7 参考文献 142 8 典型的镀膜实例 143 8.1 单层抗反射薄膜 145 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 8.4 W-膜层 148 8.5 V-膜层 149 8.6 V-膜层高折射基底 150 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 8.9 四层抗反射薄膜 153 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 8.15十五层宽带抗反射膜 159 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 8.17 1/4波长堆栈 162 8.18 陷波滤波器 163 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 8.20 褶皱 165 8.21 消偏振分光器1 169 8.22 消偏振分光器2 171 8.23 消偏振立体分光器 172 8.24 消偏振截止滤光片 173 8.25 立体偏振分束器1 174 8.26 立方偏振分束器2 177 8.27 相位延迟器 178 8.28 红外截止器 179 8.29 21层长波带通滤波器 180 8.30 49层长波带通滤波器 181 8.31 55层短波带通滤波器 182 8.32 47 红外截止器 183 8.33 宽带通滤波器 184 8.34 诱导透射滤波器 186 8.35 诱导透射滤波器2 188 8.36 简单密集型光波复用（DWDM）滤波器 190 8.37 高级密集型光波复用技术（DWDM）滤波器 192 8.35 增益平坦滤波器 193 8.38 啁啾反射镜 1 196 8.39 啁啾反射镜2 198 8.40 啁啾反射镜3 199 8.41 带保护层的铝膜层 200 8.42 增加铝反射率膜 201 8.43 参考文献 202 9 多层膜 204 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 9.2 内部透过率 204 9.3 内部透射率数据 205 9.4 实例 206 9.5 实例2 210 9.6 圆锥和带宽计算 212 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 10 光学薄膜的颜色 216 10.1 导言 216 10.2 色彩 216 10.3 主波长和纯度 220 10.4 色相和纯度 221 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 10.6 色差 226 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 10.8 颜色渲染指数 234 10.9 色差计算 235 10.10 参考文献 236 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 11.1 短脉冲 238 11.2 群速度 239 11.3 群速度色散 241 11.4 啁啾(chirped) 245 11.5 光学薄膜—相变 245 11.6 群延迟和延迟色散 246 11.7 色度色散 246 11.8 色散补偿 249 11.9 空间光线偏移 256 11.10 参考文献 258 12 公差与误差 260 12.1 蒙特卡罗模型 260 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 12.2.1 误差工具 267 12.2.2 灵敏度工具 271 12.2.2.1 独立灵敏度 271 12.2.2.2 灵敏度分布 275 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 12.3 参考文献 276 13 Runsheet 与Simulator 277 13.1 原理介绍 277 13.2 截止滤光片设计 277 14 光学常数提取 289 14.1 介绍 289 14.2 电介质薄膜 289 14.3 n 和k 的提取工具 295 14.4 基底的参数提取 302 14.5 金属的参数提取 306 14.6 不正确的模型 306 14.7 参考文献 311 15 反演工程 313 15.1 随机性和系统性 313 15.2 常见的系统性问题 314 15.3 单层膜 314 15.4 多层膜 314 15.5 含义 319 15.6 反演工程实例 319 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 15.6.2 反演工程提取折射率 327 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 16.1 光学性质的热致偏移 329 16.2 应力工具 335 16.3 均匀性误差 339 16.3.1 圆锥工具 339 16.3.2 波前问题 341 16.4 参考文献 343 17 如何在Function（模块）中编写操作数 345 17.1 引言 345 17.2 操作数 345 18 如何在Function中编写脚本 351 18.1 简介 351 18.2 什么是脚本？ 351 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 18.4 基础 352 18.4.1 Classes（类别） 352 18.4.2 对象 352 18.4.3 信息（Messages） 352 18.4.4 属性 352 18.4.5 方法 353 18.4.6 变量声明 353 18.5 创建对象 354 18.5.1 创建对象函数 355 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 18.5.3 丢弃对象 356 18.5.4 总结 356 18.6 脚本中的表格 357 18.6.1 方法1 357 18.6.2 方法2 357 18.7 2D Plots in Scripts 358 18.8 3D Plots in Scripts 359 18.9 注释 360 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 18.11 一个更高级的脚本 362 18.12 <esc>键 364 18.13 包含文件 365 18.14 脚本被优化调用 366 18.15 脚本中的对话框 368 18.15.1 介绍 368 18.15.2 消息框-MsgBox 368 18.15.3 输入框函数 370 18.15.4 自定义对话框 371 18.15.5 对话框编辑器 371 18.15.6 控制对话框 377 18.15.7 更高级的对话框 380 18.16 Types语句 384 18.17 打开文件 385 18.18 Bags 387 18.13 进一步研究 388 19 vStack 389 19.1 vStack基本原理 389 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 19.3 五棱镜 393 19.4 光束距离 396 19.5 误差 399 19.6 二向分色棱镜 399 19.7 偏振泄漏 404 19.8 波前误差—相位 405 19.9 其它计算参数 405 20 报表生成器 406 20.1 入门 406 20.2 指令(Instructions) 406 20.3 页面布局指令 406 20.4 常见的参数图和三维图 407 20.5 表格中的常见参数 408 20.6 迭代指令 408 20.7 报表模版 408 20.8 开始设计一个报表模版 409 21 一个新的project 413 21.1 创建一个新Job 414 21.2 默认设计 415 21.3 薄膜设计 416 21.4 误差的灵敏度计算 420 21.5 显色指数计算 422 21.6 电场分布 424 后记 426 书籍推荐书籍名称：《Essential Macleod中文手册》 《Essential Macleod中文手册》 目 录 ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 第1章 介绍 ..........................................................1 第2章 软件安装 ..................................................... 3 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 第5章 软件结构 ............................................................... 21 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 第12章 优化和综合 ..................................................................120 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 第20章 运行表单 .................................................................... 251 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 分享到：
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