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摘要 ")buDU6_ gZSi\m> 不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 3goJ(XI `W S
设计和建模任务 DQQjx>CK OyZ>R~c'B
}#^F'%zf /aEQ3x 导入现有结构文件 )q-!5^ak @C)h;TR "7/YhLq7 平面波 O:R{4Q*5 波长(486,587,656)nm X;RI7{fW%X 视场角(40°) #=3]bg x方向线偏振光 g5\B- 3{ !A0bbJ Ww4G 衍射透镜 @SB+u+mOS 波前相位相应 DZZt%n8J 真实衍射器件结构 ( mMz]b5 LvdMx]*SSr
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$^>vJk< g/gLG:C 球差 .[A S 5E=Odep`
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D._r@~o LOzKpvGl 彗差 H_]kR&F8 #Xly5J
$!w%= B\yid@e 二阶彗差 wl9icrR> 6 [E"
3\ed4D Vo[4\h#$ 三叶草像差 "Q4{6FH+mB qMOD TM~+
*^()el,d *uR'eXW VirtualLab Fusion 技术 RqR X (z{xd
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