y4^w8'%MC 内容简介
u'm[wjCjc Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
$@VQ{S 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
Q?1'
JF!G 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
}@+{;" JQ[~N- 讯技科技股份有限公司
CO)BF%?B 2015年9月3日
lZ\8$,B) 目录
ox}LC,! Preface 1
4mqA*c%6S 内容简介 2
p!XB\%sv'" 目录 i
/q3]AVV 1 引言 1
qi ;X_\v 2 光学薄膜基础 2
96 ozt UK 2.1 一般规则 2
*irYSTA$ 2.2 正交入射规则 3
N~Kl{">` 2.3 斜入射规则 6
t9Sog~:' 2.4 精确计算 7
z }t{bm 2.5 相干性 8
D:r+3w:l] 2.6 参考文献 10
qYwEPGa\ 3 Essential Macleod的快速预览 10
m4 :| 4 Essential Macleod的特点 32
0/vmj,&B( 4.1 容量和局限性 33
;:^^Qfp 4.2 程序在哪里? 33
s={jwI50 4.3 数据文件 35
o1d ECLQa 4.4 设计规则 35
DGQGV[9%4C 4.5 材料数据库和
资料库 37
H7I&Ky 4.5.1材料损失 38
LKEf#mp 4.5.1材料数据库和导入材料 39
u4W2{ 4.5.2 材料库 41
;q3"XLV(T[ 4.5.3导出材料数据 43
2G(RQ\Ro* 4.6 常用单位 43
KA"D2j9wn 4.7 插值和外推法 46
03{pxI 4.8 材料数据的平滑 50
4dd] Ju 4.9 更多光学常数模型 54
~zcHpxO^W 4.10 文档的一般编辑规则 55
A<+veqb4 4.11 撤销和重做 56
aj$#8l |zu 4.12 设计文档 57
'5*8'.4Sy 4.10.1 公式 58
sXpA^pT"T 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
<z=d5g{n 4.10.3 沉积密度 59
F/QRgXV 4.10.4 平行和楔形介质 60
#cZ<[K q6 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
+ROwk 4.10.4 性能 61
LzS)WjEN 4.10.5 保存设计和性能 64
5d4/}o}%" 4.10.6 默认设计 64
mfI>1W( 4.11 图表 64
'/ >7pB 4.11.1 合并曲线图 67
V"r2 t9A 4.11.2 自适应绘制 68
q#mw#Uw- 4.11.3 动态绘图 68
&F!Ct(c99 4.11.4 3D绘图 69
-/7[\S 4.12 导入和导出 73
L
PDx3MS 4.12.1 剪贴板 73
zj+.MG04 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
1
po.Cmx 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
fBi6%
#
4.13 背景 77
-k+}w_<Q 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
XEB1%. p 4.15 生成Rugate 84
x9U(,x6r 4.16 参考文献 91
Cd"cU~HAB 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
{ +$zgg 5.1 Jobs 92
j&c YRKpz 5.2 创建一个新Job(工作) 93
3G;#QK-c 5.3 输入材料 94
V/8"@C 5.4 设计数据文件夹 95
n@`:"j%s_ 5.5 默认设计 95
dpTeF`N 6 细化和合成 97
zo^34wW^ 6.1 优化介绍 97
4|]0%H~n6 6.2 细化 (Refinement) 98
?|`Ba- 6.3 合成 (Synthesis) 100
4fq:W`9sN 6.4 目标和评价函数 101
J$/'nL<{^ 6.4.1 目标输入 102
$r'PYGn 6.4.2 目标 103
?q%&" 6.4.3 特殊的评价函数 104
mF@)l]UZ' 6.5 层锁定和连接 104
^qro0]"LD 6.6 细化技术 104
2#1G)XI 6.6.1 单纯形 105
\a.^5g 6.6.1.1 单纯形
参数 106
3om_Z/k 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
k\NwH?ppu 6.6.2.1 Optimac参数 108
u@{z
xYn 6.6.3 模拟退火算法 109
FD+y?UF 6.6.3.1
模拟退火参数 109
$ncJc 6.6.4 共轭梯度 111
[2 yxTK 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
[ljC S 6.6.5 拟牛顿法 112
]c=nkS 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
t
5{Y' 6.6.6 针合成 113
u5 1%~ 6.6.6.1 针合成参数 114
d`g)(* 6.6.7 差分进化 114
?c;T4@mB 6.6.8非局部细化 115
*wd@YMOP 6.6.8.1非局部细化参数 115
L
(#DVF 6.7 我应该使用哪种技术? 116
68
*~5] 6.7.1 细化 116
icw (y(W 6.7.2 合成 117
;L{#TC(]J] 6.8 参考文献 117
!go$J]T 7 导纳图及其他工具 118
tS@J)p+_( 7.1 简介 118
]w+n39da 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
qIC9L"I 7.2.1 四分之一
波长规则 119
%^?yI 7.2.2 导纳图 120
Uh tk`2O 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
6M/*]jLq4 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
w~n7l97Pw 7.5 斜入射导纳图 141
R=ipK63 7.6 对称周期 141
A;'*>NS 7.7 参考文献 142
0]._|Ubn6) 8 典型的镀膜实例 143
bFv,.(h' 8.1 单层抗反射薄膜 145
))<1"7D^^ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
z/Kjz$l! 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
{=q$k=ib 8.4 W-膜层 148
ui[E,W~ 8.5 V-膜层 149
p#
4@ 8.6 V-膜层高折射基底 150
DJGq=* 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
TA"4yri=7x 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
-{=c T?"+ 8.9 四层抗反射薄膜 153
$UX^$gG 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
iL ](w3EM 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
$X;wj5oj 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
ifYC&5}SI 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
=/6rX"\P 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
v6$ }saTX 8.15十五层宽带抗反射膜 159
P\3$Y-id 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
c'LDHh7b 8.17 1/4波长堆栈 162
D|lm, 8.18 陷波滤波器 163
DJu&l 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
sgRD]SF 8.20 褶皱 165
TSp;VrOP 8.21 消偏振分光器1 169
P_Bhec|#fT 8.22 消偏振分光器2 171
YcQ3:i 8.23 消偏振立体分光器 172
/;K?Y#mf~j 8.24 消偏振截止滤光片 173
?u)[xEx6}+ 8.25 立体偏振分束器1 174
i]L4kh5 8.26 立方偏振分束器2 177
+I9+L6>UR 8.27 相位延迟器 178
UyWKE< 8.28 红外截止器 179
>@T(^=Q 8.29 21层长波带通滤波器 180
pEn3:.l< 8.30 49层长波带通滤波器 181
_Q
$D6+ 8.31 55层短波带通滤波器 182
49;2tl;F 8.32 47 红外截止器 183
<"8<< 8.33 宽带通滤波器 184
m$U rY(6d
8.34 诱导透射滤波器 186
t622b?w 8.35 诱导透射滤波器2 188
\!_:<"nX. 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
tK$x=9M 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
bns([F 8.35 增益平坦滤波器 193
9W~3E^x 8.38 啁啾反射镜 1 196
S(b5Gj/Kd 8.39 啁啾反射镜2 198
RwR.*?# 8.40 啁啾反射镜3 199
=)p/p6 8.41 带保护层的铝膜层 200
POouO/r$ 8.42 增加铝反射率膜 201
-nvK*rn>} 8.43 参考文献 202
4=T>Iy 9 多层膜 204
G]T A7~VT 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
vcsMU|GGh 9.2 内部透过率 204
>~% _U+6 9.3 内部透射率数据 205
n5yPUJK2L6 9.4 实例 206
/JOEnQ5X\! 9.5 实例2 210
<>&!+|# 9.6 圆锥和带宽计算 212
h>l 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
\qU .?V[2 10 光学薄膜的颜色 216
w,CZ*/^ 10.1 导言 216
1aAYBV<3 10.2 色彩 216
BwN>;g_ 10.3 主波长和纯度 220
;h
}^f- 10.4 色相和纯度 221
QCI-YJ&o 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
'za4c4b*u 10.6 色差 226
j+p=ik 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
XP$ 1CWI 10.8 颜色渲染指数 234
nvyyV\w 10.9 色差计算 235
1Xv- e8M 10.10 参考文献 236
I2b\[d 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
l*l(QvN_ 11.1 短脉冲 238
~TGk`cAM> 11.2 群速度 239
Q>FuNdUk 11.3 群速度色散 241
I'_.U]An 11.4 啁啾(chirped) 245
9bpY>ze 11.5 光学薄膜—相变 245
m>@$T
x 11.6 群延迟和延迟色散 246
8")1, 11.7 色度色散 246
aXSTA,% 11.8 色散补偿 249
4~G++|NQ 11.9 空间
光线偏移 256
9J$z/j;X 11.10 参考文献 258
U
=()T}b> 12 公差与误差 260
{FavF 9O 12.1 蒙特卡罗模型 260
qP"<vZ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
8-HMKD#V 12.2.1 误差工具 267
C7]K9 12.2.2 灵敏度工具 271
Ve4!MM@ti 12.2.2.1 独立灵敏度 271
);$L#XpB 12.2.2.2 灵敏度分布 275
tXocGM{6C 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
FuYV}C 12.3 参考文献 276
A3 UC=z<y 13 Runsheet 与Simulator 277
>D';i\2j& 13.1 原理介绍 277
wec|~Rc- 13.2 截止滤光片设计 277
[-@Lbu-| 14 光学常数提取 289
ZW}0{8Dk
14.1 介绍 289
*lN>RWbM% 14.2 电介质薄膜 289
%h ?c 14.3 n 和k 的提取工具 295
j
HOE% 14.4 基底的参数提取 302
07T"alXf:A 14.5 金属的参数提取 306
<%(nF+rQA" 14.6 不正确的模型 306
/lQGFLZL 14.7 参考文献 311
nKFua l3 15 反演工程 313
ZQHANr=
6 15.1 随机性和
系统性 313
f1'NWec 15.2 常见的系统性问题 314
X9f!F2x 15.3 单层膜 314
y@|gG&f
T 15.4 多层膜 314
.1yp}&e# 15.5 含义 319
/=x) 9J 15.6 反演工程实例 319
s!q6OVJ- 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
Ksq{=q-T 15.6.2 反演工程提取折射率 327
,$,6%"'" 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
zkdyfl5 16.1 光学性质的热致偏移 329
:bLLN 16.2 应力工具 335
xj/ +Z!,9 16.3 均匀性误差 339
D]9I-| 16.3.1 圆锥工具 339
C?bq7kD:H 16.3.2 波前问题 341
qbjLTE= 16.4 参考文献 343
d#N<t` 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
Tn+6:<OFdO 17.1 引言 345
BzqM$F(
L, 17.2 操作数 345
]@W.5!5H 18 如何在Function中编写脚本 351
/?%zNkcxu 18.1 简介 351
JDi|]JY 18.2 什么是脚本? 351
P9/5M4]tt 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
7_WD)Y2yS 18.4 基础 352
.`84Y 18.4.1 Classes(类别) 352
;Cdrjx 18.4.2 对象 352
7m6@]S6 18.4.3 信息(Messages) 352
[s-Km/ 18.4.4 属性 352
.17WF\1HC. 18.4.5 方法 353
.kSx>3 18.4.6 变量声明 353
ZM/*cA!" 18.5 创建对象 354
ocCC63J 18.5.1 创建对象函数 355
P1b5=/}:V
18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
**V^8'W< 18.5.3 丢弃对象 356
F:.rb
Ei 18.5.4 总结 356
TOo0rcl 18.6 脚本中的表格 357
/wB<1b" 18.6.1 方法1 357
{I|iUfy 18.6.2 方法2 357
RLN>*X 18.7 2D Plots in Scripts 358
H gMLh* 18.8 3D Plots in Scripts 359
oagxTFh8~ 18.9 注释 360
LB_ylfg 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
ve2GRTO^aC 18.11 一个更高级的脚本 362
HTK79
+ 18.12 <esc>键 364
i DV.L 18.13 包含文件 365
Gxu&o%x[ 18.14 脚本被
优化调用 366
MP\$_;&xB 18.15 脚本中的对话框 368
lBS!=/7 18.15.1 介绍 368
A.<HOx 18.15.2 消息框-MsgBox 368
klduJT
> 18.15.3 输入框函数 370
W is_N3M 18.15.4 自定义对话框 371
$j*j {}K 18.15.5 对话框编辑器 371
zhbp"yju7 18.15.6 控制对话框 377
UH1AT#?!W 18.15.7 更高级的对话框 380
TTaSg\K 18.16 Types语句 384
'f9fw^ 18.17 打开文件 385
cg$@x\fJ 18.18 Bags 387
5
T1M:~u i 18.13 进一步研究 388
p#W[he 19 vStack 389
0x!XE|7I 19.1 vStack基本原理 389
]%jlaXb 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
7u]0dHj 19.3 五棱镜 393
8;YeEW5 19.4 光束距离 396
3!M;Z7qF] 19.5 误差 399
zXQo pQ1 19.6 二向分色棱镜 399
FN5*pVD;< 19.7 偏振泄漏 404
nj99!"_ 19.8 波前误差—相位 405
OJn g
19.9 其它计算参数 405
((wG
K|d 20 报表生成器 406
>;}np
F> 20.1 入门 406
2mAXBqdm 20.2 指令(Instructions) 406
(#FWA<o 20.3 页面布局指令 406
%;kr%%t% 20.4 常见的参数图和三维图 407
}18}VjC! 20.5 表格中的常见参数 408
L@Fw;G|%' 20.6 迭代指令 408
L6yRN>5aE 20.7 报表模版 408
rD)yEuYX 20.8 开始设计一个报表模版 409
YXxaD@ 21 一个新的project 413
;u!qu$O 21.1 创建一个新Job 414
!0:uM)_k 21.2 默认设计 415
GGk.-Ew@ 21.3 薄膜设计 416
I#QBJ# 21.4 误差的灵敏度计算 420
k`Nc<nN8 21.5 显色指数计算 422
WUx}+3eWv 21.6 电场分布 424
_hyboQi 后记 426
=8S*t5 pASNiH698 有兴趣可以扫码加微咨询
J<Di2b+ `9rwu:3i