X)xQKkL0 内容简介
&aaXw?/zr Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
gz-}nCSi 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
*<zfe. 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
`$7j:<c= '$PiyM|V 讯技科技股份有限公司
INE8@}e 2015年9月3日
`TOm.YZG 目录
9#iu#?*B Preface 1
NI\jGR. 内容简介 2
Q\Fgc ;.U 目录 i
&hEtVkK 1 引言 1
G0|j3y9$ 2 光学薄膜基础 2
:03w k) 2.1 一般规则 2
'q8T*|/ 2.2 正交入射规则 3
=M)+O%`*6 2.3 斜入射规则 6
,[%KSyH 2.4 精确计算 7
{xp/1?Mo* 2.5 相干性 8
8/x@|rjW 2.6 参考文献 10
,n}X,#] 3 Essential Macleod的快速预览 10
Lk6UT)C 4 Essential Macleod的特点 32
Mk7,:S 4.1 容量和局限性 33
0$%:zHi5g 4.2 程序在哪里? 33
(2Z-NVU# 4.3 数据文件 35
9H$#c_zrq 4.4 设计规则 35
ds,NNN<HW 4.5 材料数据库和
资料库 37
x-,+skZs 4.5.1材料损失 38
)"2)r{7: 4.5.1材料数据库和导入材料 39
r'#5ncB 4.5.2 材料库 41
Q}2aBU.f 4.5.3导出材料数据 43
Wqy|Y*$qT 4.6 常用单位 43
&xo,49`! 4.7 插值和外推法 46
!v;N@C3C 4.8 材料数据的平滑 50
nxkbI:+t 4.9 更多光学常数模型 54
K2<"O qp_W 4.10 文档的一般编辑规则 55
1~Zmc1] 4.11 撤销和重做 56
+hI:5(_ 4.12 设计文档 57
Q\z6/1:9Z 4.10.1 公式 58
/qa{*"2Qo 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
Tz[ck'k 4.10.3 沉积密度 59
\3LP@;Phn 4.10.4 平行和楔形介质 60
{b6| wQ\ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
z^j7wMQ 4.10.4 性能 61
D]\of#%T 4.10.5 保存设计和性能 64
;fw}<M!6 4.10.6 默认设计 64
(-viP 4.11 图表 64
xr}3vJ7 4.11.1 合并曲线图 67
O%L]*vIr 4.11.2 自适应绘制 68
?55t0 4.11.3 动态绘图 68
@&p:J0hbp 4.11.4 3D绘图 69
byoP1F% 4.12 导入和导出 73
@k['c
4.12.1 剪贴板 73
M?l/_!QB 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
+e}v)N 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
p'{B|ujj6 4.13 背景 77
lZ|+.T!g? 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
!_C*2+f 4.15 生成Rugate 84
P0VXHE1p 4.16 参考文献 91
blO(Th& 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
sG{f xha 5.1 Jobs 92
L/\s~*:M 5.2 创建一个新Job(工作) 93
ZOJ<^t} 5.3 输入材料 94
@h7)M:l 5.4 设计数据文件夹 95
@+Ch2Lod 5.5 默认设计 95
vZMb/}-o 6 细化和合成 97
c\A
4-08 6.1 优化介绍 97
C.qNBl* 6.2 细化 (Refinement) 98
gQ90>P: 6.3 合成 (Synthesis) 100
E2dl}S zp 6.4 目标和评价函数 101
JBqL0H 6.4.1 目标输入 102
#uTNf78X 6.4.2 目标 103
4z<nJOEh[ 6.4.3 特殊的评价函数 104
>TI/W~M 6.5 层锁定和连接 104
e1cqzhI=nA 6.6 细化技术 104
eXKp um~ 6.6.1 单纯形 105
#+CH0Z 6.6.1.1 单纯形
参数 106
6Qtyv 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
O2x bHn4 6.6.2.1 Optimac参数 108
`1Ui 6.6.3 模拟退火算法 109
3(&k4 6.6.3.1
模拟退火参数 109
7v'aw"~ 6.6.4 共轭梯度 111
U]/iPG&_ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
rhff8C//' 6.6.5 拟牛顿法 112
p>#sR4d> 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
^IQtXae6M 6.6.6 针合成 113
9w3KAca 6.6.6.1 针合成参数 114
HSwC4y} 6.6.7 差分进化 114
l4Au{%j\ 6.6.8非局部细化 115
v']Tusmg 6.6.8.1非局部细化参数 115
y{>T['"@ 6.7 我应该使用哪种技术? 116
U:r^4,Mz* 6.7.1 细化 116
^VI\:<\{ 6.7.2 合成 117
/]U),LbN 6.8 参考文献 117
9'5< b 7 导纳图及其他工具 118
GJs{t1
E 7.1 简介 118
osM[Xv 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
h`i*~${yg 7.2.1 四分之一
波长规则 119
M r-l 7.2.2 导纳图 120
u.yYE,9 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
,#Pp_f< 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
g"{`g6(+ 7.5 斜入射导纳图 141
8|JPQDS7 7.6 对称周期 141
(N"9C+S} 7.7 参考文献 142
xe"A;6H 8 典型的镀膜实例 143
i/{dD"HwM 8.1 单层抗反射薄膜 145
|@W|nbAfX 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
/07iQcT( 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
xiv8q/ 8.4 W-膜层 148
q}PUwN6 8.5 V-膜层 149
-6W$@,K 8.6 V-膜层高折射基底 150
zK_Q^M` 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
HXm&` 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
(N6=+dNY 8.9 四层抗反射薄膜 153
|zbM$37?k 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
x)R1aq 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
Prc( 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
~%eZQgqA* 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
:W.pD:/=v 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
g
es-nG- 8.15十五层宽带抗反射膜 159
lLur.f 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
L,yq'>*5s 8.17 1/4波长堆栈 162
"M;[c9 8.18 陷波滤波器 163
!_q=r[D\ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
zYxA#TZL 8.20 褶皱 165
yi8AzUW
cW 8.21 消偏振分光器1 169
RD6>\9 8.22 消偏振分光器2 171
Fs}B\R/J 8.23 消偏振立体分光器 172
nP&6i5s% 8.24 消偏振截止滤光片 173
Zd|u>tn 8.25 立体偏振分束器1 174
5KNa-\ 8.26 立方偏振分束器2 177
=}"P;4: 8.27 相位延迟器 178
/hur6yI8 8.28 红外截止器 179
sa}.o Zp Q 8.29 21层长波带通滤波器 180
]`q]\EH 8.30 49层长波带通滤波器 181
@.,Mn# 8.31 55层短波带通滤波器 182
hzk4SOT( 8.32 47 红外截止器 183
(M?VB*sm0 8.33 宽带通滤波器 184
>Qqxn*O 8.34 诱导透射滤波器 186
6<%b}q9Mo 8.35 诱导透射滤波器2 188
Z,-J
tl 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
4d_Az'7`4 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
ai<K6) 8.35 增益平坦滤波器 193
[F!h&M0z 8.38 啁啾反射镜 1 196
%+((F+[ 8.39 啁啾反射镜2 198
hWiHKR] 8.40 啁啾反射镜3 199
4Wu(Tps 8.41 带保护层的铝膜层 200
usNq] 8.42 增加铝反射率膜 201
8M0<:p/ 8.43 参考文献 202
_}gfec4o 9 多层膜 204
.NJ Ne 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
]5Q)mWF 9.2 内部透过率 204
4av 9.3 内部透射率数据 205
(Z0.H3 9.4 实例 206
iA|n\a~ny, 9.5 实例2 210
6FX]b4 9.6 圆锥和带宽计算 212
qYPgn_ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
sDvy(5 10 光学薄膜的颜色 216
2J Wp5 10.1 导言 216
iOk`_LG# 10.2 色彩 216
/g1;`F(MS/ 10.3 主波长和纯度 220
f[*g8p 10.4 色相和纯度 221
Ld'3uM/ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
(S?qxW? 10.6 色差 226
sHPlNwyy 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
)+"(7U< 10.8 颜色渲染指数 234
a# Uk:O! 10.9 色差计算 235
[,Y;#; 10.10 参考文献 236
Bw<$fT` 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
&?I3xzvK 11.1 短脉冲 238
4<- E0 11.2 群速度 239
{qm5H7sL 11.3 群速度色散 241
"HLh3L~ 11.4 啁啾(chirped) 245
gF]IAZCi 11.5 光学薄膜—相变 245
r!^VCA 11.6 群延迟和延迟色散 246
Oiw!d6"Ovq 11.7 色度色散 246
PWV+M@ 11.8 色散补偿 249
b%X<'8z9Z 11.9 空间
光线偏移 256
&m`@6\N(
11.10 参考文献 258
)7m.n%B!5V 12 公差与误差 260
k#2b3}(, 12.1 蒙特卡罗模型 260
mp0s>R 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
QbYNL9% 12.2.1 误差工具 267
AY]rQ:I 12.2.2 灵敏度工具 271
9? |m ^ 12.2.2.1 独立灵敏度 271
i7?OZh*f 12.2.2.2 灵敏度分布 275
U9Lo0K 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
h m( 12.3 参考文献 276
m xy=3cUi 13 Runsheet 与Simulator 277
"77l~3 13.1 原理介绍 277
0
d2to5 ( 13.2 截止滤光片设计 277
CelM~W$=u 14 光学常数提取 289
=]L#v2@ 14.1 介绍 289
]Gl5Qf:+z 14.2 电介质薄膜 289
i;67<f}- 14.3 n 和k 的提取工具 295
^izf&W.j! 14.4 基底的参数提取 302
nB |fw" 14.5 金属的参数提取 306
>SS97 9 14.6 不正确的模型 306
Lf,C50 14.7 参考文献 311
.Zx7+`i 15 反演工程 313
b~+\\,q} 15.1 随机性和
系统性 313
hw&~OJeo 15.2 常见的系统性问题 314
aVn+@g<. 15.3 单层膜 314
qjR p5 15.4 多层膜 314
]Wc 2$ 15.5 含义 319
P1ynCe 15.6 反演工程实例 319
cV* 0+5 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
Z.0mX# 15.6.2 反演工程提取折射率 327
.a|ROjd! 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
a{iG0T.{Yh 16.1 光学性质的热致偏移 329
={nuz-3 16.2 应力工具 335
B)ibxM(n* 16.3 均匀性误差 339
5dLb`Gf 16.3.1 圆锥工具 339
PLWx'N-kqL 16.3.2 波前问题 341
\'x?VVw 16.4 参考文献 343
{"^#CSi 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
.Tc?9X~4 17.1 引言 345
`"|u
NVn
17.2 操作数 345
j,g.Eo 18 如何在Function中编写脚本 351
h{Y#. j~aS 18.1 简介 351
;hPo5uZQ 18.2 什么是脚本? 351
-KCQ!0\F 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
D?cE$P 18.4 基础 352
W.<I:q`eO 18.4.1 Classes(类别) 352
4Bq4d.0 18.4.2 对象 352
jF%l\$)/ 18.4.3 信息(Messages) 352
+|Qe/8Q 18.4.4 属性 352
-MeO|HWm 18.4.5 方法 353
tP/R9Ezp 18.4.6 变量声明 353
FuO'%3;c 18.5 创建对象 354
TGozoPV 18.5.1 创建对象函数 355
PciiDh~/ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
+tFl 18.5.3 丢弃对象 356
qgsKbsl 18.5.4 总结 356
51x)fZQ 18.6 脚本中的表格 357
Z+x`q#ZQr 18.6.1 方法1 357
n5 jzVv 18.6.2 方法2 357
MXuiQ;./ 18.7 2D Plots in Scripts 358
qXQ7Jg9 18.8 3D Plots in Scripts 359
`@i!'h 18.9 注释 360
8Vqh1< 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
r1X\$& 18.11 一个更高级的脚本 362
:S{+|4pH 18.12 <esc>键 364
u:&Lf 18.13 包含文件 365
W RVm^ 18.14 脚本被
优化调用 366
[
f`V_1d3 18.15 脚本中的对话框 368
j*N:Kdzvl 18.15.1 介绍 368
S%m$LM]NCg 18.15.2 消息框-MsgBox 368
a(`@u&]WZ 18.15.3 输入框函数 370
!`#xFRHe 18.15.4 自定义对话框 371
giz#(61j^ 18.15.5 对话框编辑器 371
=
eDi8A*~ 18.15.6 控制对话框 377
j]5bs*G 18.15.7 更高级的对话框 380
)%&~CW+ 18.16 Types语句 384
m%km@G$ 18.17 打开文件 385
GFBku^pi 18.18 Bags 387
+ %07J6 18.13 进一步研究 388
IPT\d^|f 19 vStack 389
}Qm: g 19.1 vStack基本原理 389
P ||:?3IH 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
[Dq!t1 19.3 五棱镜 393
r.b!3CoQ 19.4 光束距离 396
8z
h{?0 19.5 误差 399
Th)Z?\8zk 19.6 二向分色棱镜 399
\4OX]{ 19.7 偏振泄漏 404
pT` oC& 19.8 波前误差—相位 405
aM|^t: 19.9 其它计算参数 405
7}e73 20 报表生成器 406
v5;V$EGD& 20.1 入门 406
qKg*/)sD( 20.2 指令(Instructions) 406
qx~-(|s`H 20.3 页面布局指令 406
S @MO 20.4 常见的参数图和三维图 407
X]OVc<F 20.5 表格中的常见参数 408
/
`Glf| 20.6 迭代指令 408
<r'l5|er 20.7 报表模版 408
8vLaSZ="[ 20.8 开始设计一个报表模版 409
P[E5e+A) 21 一个新的project 413
>3a<#s{% 21.1 创建一个新Job 414
?@i_\<A2 21.2 默认设计 415
2=PX1kI 21.3 薄膜设计 416
$ RDwy)9 21.4 误差的灵敏度计算 420
M &g1'zv?/ 21.5 显色指数计算 422
0qj:v"~Q 21.6 电场分布 424
T!*lTzNHm 后记 426
`i,l)X] r{T}pc>^ 有兴趣可以扫码加微咨询
/RzL,~] [Cx'a7KWL