#uJGXrGt= 内容简介
JK.lL]<p i Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
|l(rR06#.] 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
w
`6qT3v 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
[>+(zlK" pPm[<^\# S 讯技科技股份有限公司
MK7S*N1 2015年9月3日
>(Jy=m? 目录
.w^M?}dx Preface 1
>}h/$bU 内容简介 2
CXGq>cQ=d 目录 i
]L4B 1 引言 1
.Ya]N+r* 2 光学薄膜基础 2
^EE3E' 2.1 一般规则 2
uBw1Xud[YI 2.2 正交入射规则 3
8'?V5.6?|~ 2.3 斜入射规则 6
?"\`u; 2.4 精确计算 7
=1fO"|L 2.5 相干性 8
*yOpMxE 2.6 参考文献 10
=YkJS%)M) 3 Essential Macleod的快速预览 10
a02;Zl 4 Essential Macleod的特点 32
e&?o 4.1 容量和局限性 33
/o#!9H 4.2 程序在哪里? 33
703=.xj 4.3 数据文件 35
y%
=nhV 4.4 设计规则 35
M%+l21& 4.5 材料数据库和
资料库 37
oX@nWQBc_ 4.5.1材料损失 38
ufm`h)N 4.5.1材料数据库和导入材料 39
;|e {J$ 4.5.2 材料库 41
(Y\aV+9[ 4.5.3导出材料数据 43
IF%^HK@ 4.6 常用单位 43
4UmTA_& Io 4.7 插值和外推法 46
&=5 4.8 材料数据的平滑 50
Gd1%6}<~ 4.9 更多光学常数模型 54
qlmz@kTb 4.10 文档的一般编辑规则 55
Fyoy)y* 4.11 撤销和重做 56
6T0E'kv
S 4.12 设计文档 57
vULlAQG 4.10.1 公式 58
]0.? 1s e 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
NJSzOL_ 4.10.3 沉积密度 59
IZYq 4.10.4 平行和楔形介质 60
Q3,`'[ F 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
Dp!3uR']p 4.10.4 性能 61
*IUw$|Z6z) 4.10.5 保存设计和性能 64
Px5ArSS 4.10.6 默认设计 64
+ia F$ 4.11 图表 64
ZvEcExA- 4.11.1 合并曲线图 67
l j*ELy 4.11.2 自适应绘制 68
dHc38zp 4.11.3 动态绘图 68
I^sWf3'db 4.11.4 3D绘图 69
9B")/Hz_ 4.12 导入和导出 73
>lQ&^9EI% 4.12.1 剪贴板 73
LivPk`[ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
saQA:W; 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
tmiRv.Mhn< 4.13 背景 77
$>1 'pV 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
p*)RP2 4.15 生成Rugate 84
]YYjXg}% 4.16 参考文献 91
)[Bwr
bn 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
rXXIpQRi$S 5.1 Jobs 92
aG;6^$H~ 5.2 创建一个新Job(工作) 93
]uO 8 5.3 输入材料 94
\^2%v~
5.4 设计数据文件夹 95
X~t] qT 5.5 默认设计 95
i"2[OM\j7 6 细化和合成 97
~(kIr?^ 6.1 优化介绍 97
}q9;..oL 6.2 细化 (Refinement) 98
yHkZInn 6.3 合成 (Synthesis) 100
L8n1p5gx3 6.4 目标和评价函数 101
CPc<!CC 6.4.1 目标输入 102
}yCJ#} 6.4.2 目标 103
9.ZhkvR4A 6.4.3 特殊的评价函数 104
wP3_RA]z 6.5 层锁定和连接 104
=\.Oc+p4 6.6 细化技术 104
Cr|v3Y#h' 6.6.1 单纯形 105
q/-8sO}q 6.6.1.1 单纯形
参数 106
n~N>c*p 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
),%/T,!@ 6.6.2.1 Optimac参数 108
0:UK)t)3I 6.6.3 模拟退火算法 109
D(xgadr 6.6.3.1
模拟退火参数 109
wOQ-sp0q0 6.6.4 共轭梯度 111
HVaWv ]. 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
|$@/
Z+ 6.6.5 拟牛顿法 112
'(A)^K>+ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
px5~D(N 6.6.6 针合成 113
aCzdYv\} & 6.6.6.1 针合成参数 114
c\~H_ ~F 6.6.7 差分进化 114
}LQ*vD-Jj 6.6.8非局部细化 115
4qo4g+ 6.6.8.1非局部细化参数 115
Dgh|,LqUB 6.7 我应该使用哪种技术? 116
Q#P=t83 6.7.1 细化 116
%\PnsnJ9Q 6.7.2 合成 117
rhY>aj 6.8 参考文献 117
%0T/>:1[E 7 导纳图及其他工具 118
iOz<n
z 7.1 简介 118
Ai\"w 0 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
2Cn^<(F^4I 7.2.1 四分之一
波长规则 119
JG&`l{c9 7.2.2 导纳图 120
opTDW) 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
iA*Z4FKkT 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
Bmuf[-}QW 7.5 斜入射导纳图 141
Et~b^8$> 7.6 对称周期 141
lQQXV5NV 7.7 参考文献 142
)\_xB_K\ 8 典型的镀膜实例 143
u%?u`n2' 8.1 单层抗反射薄膜 145
L;30&a 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
1BQTvUAA 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
b9%}<w 8.4 W-膜层 148
-a(f- 8.5 V-膜层 149
/!ZeMY:x 8.6 V-膜层高折射基底 150
j-|YE?AA 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
F4X/ )$Dk 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
;:1d<Q| 8.9 四层抗反射薄膜 153
`84pql, 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
v<bq1QG 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
*0M#{HQ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
fVv#| 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
G3&ES3L 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
9PhdoREb 8.15十五层宽带抗反射膜 159
tVQfR*= 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
p3O%|)yV 8.17 1/4波长堆栈 162
}/BwFB+(/ 8.18 陷波滤波器 163
s`Fv! 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
m! &bK5+* 8.20 褶皱 165
^zkTV_,cRp 8.21 消偏振分光器1 169
fEc}c.!5 8.22 消偏振分光器2 171
-H~g+i*J 8.23 消偏振立体分光器 172
{LTb-CB 8.24 消偏振截止滤光片 173
SPW @TF1 8.25 立体偏振分束器1 174
`Yp\.K z 8.26 立方偏振分束器2 177
%lNWaA 8.27 相位延迟器 178
jzV*V< 8.28 红外截止器 179
`*PVFm> 8.29 21层长波带通滤波器 180
Z:aDKAboU 8.30 49层长波带通滤波器 181
ZV}BDwOFI 8.31 55层短波带通滤波器 182
VHVU*6_w 8.32 47 红外截止器 183
LA$uD?YA 8.33 宽带通滤波器 184
qT#+DDEAL 8.34 诱导透射滤波器 186
|#R;pEn 8.35 诱导透射滤波器2 188
lqAU5K{wQ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
pcNVtp'V 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
D.)$\Caq 8.35 增益平坦滤波器 193
,$5; 8.38 啁啾反射镜 1 196
Q_/{TE/sO5 8.39 啁啾反射镜2 198
C- ]H+p 8.40 啁啾反射镜3 199
Gdnk1_D> 8.41 带保护层的铝膜层 200
nk9hQRP?
8 8.42 增加铝反射率膜 201
>`=
'~y8 8.43 参考文献 202
o1"U'y-9V 9 多层膜 204
y=YD4m2 W 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
g.f!Uc{ 9.2 内部透过率 204
gwQL9
UYx 9.3 内部透射率数据 205
@]tFRV 9.4 实例 206
VA4vAF 9.5 实例2 210
]7zDdI|
9.6 圆锥和带宽计算 212
K2nq2Gbn 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
R?1;'pvpa[ 10 光学薄膜的颜色 216
Gh0H)
q 10.1 导言 216
/MTS>[E 10.2 色彩 216
Q@%VJPLv. 10.3 主波长和纯度 220
lT$Vv=M 10.4 色相和纯度 221
C]*9:lK 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
%^^2 10.6 色差 226
xuO5|{h 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
{.SN 10.8 颜色渲染指数 234
hU5[k/ q 10.9 色差计算 235
hF+YZU]rT 10.10 参考文献 236
tc@v9`^_ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
aGNt?)8WPZ 11.1 短脉冲 238
h+zJ"\ 11.2 群速度 239
R|{AIa{} 11.3 群速度色散 241
`y0ZFh1>X 11.4 啁啾(chirped) 245
Q`g0g)3w 11.5 光学薄膜—相变 245
m\U@L+L 11.6 群延迟和延迟色散 246
IvetQ+ 11.7 色度色散 246
&GwBxJ
11.8 色散补偿 249
2|tZ xlt- 11.9 空间
光线偏移 256
dGQxGt1 11.10 参考文献 258
ywmx6q4MFL 12 公差与误差 260
GhLgV 12.1 蒙特卡罗模型 260
nk1(/~` 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
B;N40d*W 12.2.1 误差工具 267
vuuID24: 12.2.2 灵敏度工具 271
rj$u_y3S* 12.2.2.1 独立灵敏度 271
$rs7D}VNc 12.2.2.2 灵敏度分布 275
c;w
cgU 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
C5i]n? )S 12.3 参考文献 276
{~16j" 13 Runsheet 与Simulator 277
_.J{U0N 13.1 原理介绍 277
(Z) 13.2 截止滤光片设计 277
eL^,-3JA(] 14 光学常数提取 289
.,l?z 14.1 介绍 289
f!P.=Qo[= 14.2 电介质薄膜 289
8l>/ZZ.NXi 14.3 n 和k 的提取工具 295
WXNJc 14.4 基底的参数提取 302
nE]R0|4h 14.5 金属的参数提取 306
y_qFXd 14.6 不正确的模型 306
T'\lntN 14.7 参考文献 311
#$K\:V+ 4 15 反演工程 313
6aCAz2/ 15.1 随机性和
系统性 313
_zJY1cr 15.2 常见的系统性问题 314
j !&g:{ e 15.3 单层膜 314
X)fj& 15.4 多层膜 314
\PU|<Ru. 15.5 含义 319
[rU8% 15.6 反演工程实例 319
`zC_?+ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
|g> K$m^ 15.6.2 反演工程提取折射率 327
|6`yE]3-( 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
GUmOK=D > 16.1 光学性质的热致偏移 329
(BMFGyE3 16.2 应力工具 335
0%k`*8 16.3 均匀性误差 339
D?qA
aq&4 16.3.1 圆锥工具 339
n0@e%=H)I 16.3.2 波前问题 341
Rla1,{1 16.4 参考文献 343
1P3^il7 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
& @^|=>L 17.1 引言 345
pb$U~TvzhM 17.2 操作数 345
%l,p />r 18 如何在Function中编写脚本 351
0mH>fs 4 18.1 简介 351
q3T'rw%Eh 18.2 什么是脚本? 351
H1 n`A#6? 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
cQu1WgQ
G 18.4 基础 352
vNd4Fn)H 18.4.1 Classes(类别) 352
E$4\Yc)(AL 18.4.2 对象 352
,S:g5n >M 18.4.3 信息(Messages) 352
a5?Rj~h!< 18.4.4 属性 352
A"I:cw"KY 18.4.5 方法 353
`WC~cb\ 18.4.6 变量声明 353
pUYa1 = 18.5 创建对象 354
"[BuQ0(g 18.5.1 创建对象函数 355
LC*@/(( 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
F,P,dc 18.5.3 丢弃对象 356
FoInJ(PDH 18.5.4 总结 356
`+\+ 18.6 脚本中的表格 357
B<H5WI 18.6.1 方法1 357
B+*F?k[ 18.6.2 方法2 357
CcLP/ 18.7 2D Plots in Scripts 358
d;
oaG (e 18.8 3D Plots in Scripts 359
+[V?3Gdb 18.9 注释 360
;5q=/ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
y_Bmd 18.11 一个更高级的脚本 362
+g/y)] AP 18.12 <esc>键 364
`Q,moz 18.13 包含文件 365
g.s~Ph- G 18.14 脚本被
优化调用 366
+smPR 18.15 脚本中的对话框 368
g&\A1H 18.15.1 介绍 368
-wW%+wH 18.15.2 消息框-MsgBox 368
T,!?+# 18.15.3 输入框函数 370
{&4+W=0
n 18.15.4 自定义对话框 371
hJkIFyQ{j 18.15.5 对话框编辑器 371
P,j)m\| 18.15.6 控制对话框 377
A>b o Xcr 18.15.7 更高级的对话框 380
%_(e{Mf) 18.16 Types语句 384
R8W{[@ 18.17 打开文件 385
?r'rvu'/ 18.18 Bags 387
0%cbno@1V 18.13 进一步研究 388
H8mmmt6g 19 vStack 389
z$QYl*F1 19.1 vStack基本原理 389
,~hvFTJI 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
$eCxpb.. 19.3 五棱镜 393
u1~H1
]Ii 19.4 光束距离 396
<omSK-
T- 19.5 误差 399
}(hx$G^M 19.6 二向分色棱镜 399
0AZ Vc 19.7 偏振泄漏 404
dTB^6>H 19.8 波前误差—相位 405
Cz+`C9# 19.9 其它计算参数 405
\{\*h /m 20 报表生成器 406
0%<Fc9# 20.1 入门 406
cD YKvrPY 20.2 指令(Instructions) 406
<KoiZ{V 20.3 页面布局指令 406
Y#=0C*FS 20.4 常见的参数图和三维图 407
.Qyq*6T3& 20.5 表格中的常见参数 408
V) a<) 20.6 迭代指令 408
[W,Ej 20.7 报表模版 408
:3gtc/p t> 20.8 开始设计一个报表模版 409
-S"YEH9 21 一个新的project 413
^|5vmI'E 21.1 创建一个新Job 414
[O2xE037h` 21.2 默认设计 415
fk<0~tE 21.3 薄膜设计 416
rFh!&_ 21.4 误差的灵敏度计算 420
&u&/t? 21.5 显色指数计算 422
eBFsKOtu 21.6 电场分布 424
+4Aj/$%[q 后记 426
Kyq/'9` [6`8^-}? 有兴趣可以扫码加微咨询
@!=q.4b bE74Ui