?rOb?cu- 内容简介
[!q&r(-K Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
6^aYW#O<Ua 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
^kD?0Fm 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
ICTtubjV" ?.A|Fy^ 讯技科技股份有限公司
I>3]4mI*a 2015年9月3日
Y) h%<J 目录
#-Rz`Y<& Preface 1
d-<y'GYw
内容简介 2
i]-gO 目录 i
IX*S:7S[ 1 引言 1
0V#t ;`Q3 2 光学薄膜基础 2
mc+wRx 2.1 一般规则 2
g"&bX4uD) 2.2 正交入射规则 3
#rpqt{ml 2.3 斜入射规则 6
Wi5|9 2.4 精确计算 7
} E#+7a 2.5 相干性 8
9aU:[]w 2.6 参考文献 10
0;h1LI) 3 Essential Macleod的快速预览 10
A]+h<Y~} 4 Essential Macleod的特点 32
!TOi]`vqc 4.1 容量和局限性 33
N
Sh.g# 4.2 程序在哪里? 33
U>+~.|'V9 4.3 数据文件 35
huoKr 4.4 设计规则 35
Tb={g;0@ 4.5 材料数据库和
资料库 37
#VV.[N 4.5.1材料损失 38
=.X?LWKY 4.5.1材料数据库和导入材料 39
D;I`k
L 4.5.2 材料库 41
G; [AQ:Iy 4.5.3导出材料数据 43
rc$!$~|I3Z 4.6 常用单位 43
]jb4Z 4.7 插值和外推法 46
iW}l[g8sw! 4.8 材料数据的平滑 50
bVeTseAG 4.9 更多光学常数模型 54
rH9}nL 4.10 文档的一般编辑规则 55
E.`dk. 4.11 撤销和重做 56
@,4%8E5 4.12 设计文档 57
SO<m(o)G2 4.10.1 公式 58
6lWFxbh 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
0c61q Q6 4.10.3 沉积密度 59
lZM3Q58?\ 4.10.4 平行和楔形介质 60
Hm
VTfH' 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
iL_F*iK5 4.10.4 性能 61
7F(F.ut 4.10.5 保存设计和性能 64
yJ8}*Gj& 4.10.6 默认设计 64
3> #mO}\ 4.11 图表 64
K)`:v|d 4.11.1 合并曲线图 67
@7s,|\ 4.11.2 自适应绘制 68
nbASpa( 4.11.3 动态绘图 68
)c*k_/4 4.11.4 3D绘图 69
paNw5]
-
4.12 导入和导出 73
3rdfg 4.12.1 剪贴板 73
t/*K#]26 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
<i'u96 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
I26gGp 4.13 背景 77
2ly,l[p8 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
bkwa{V 4.15 生成Rugate 84
Yb\\
w<@g 4.16 参考文献 91
zg7l>9Sc 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
!
F <] T 5.1 Jobs 92
sk
?'^6Xh 5.2 创建一个新Job(工作) 93
V<vPFxC 5.3 输入材料 94
T5azYdzJy 5.4 设计数据文件夹 95
"P'&+dH8 5.5 默认设计 95
6
r.H8 6 细化和合成 97
So=nB} b[? 6.1 优化介绍 97
1_NG+H]x9 6.2 细化 (Refinement) 98
^+as\ 6.3 合成 (Synthesis) 100
%A62xnX 6.4 目标和评价函数 101
XalJo@%- 6.4.1 目标输入 102
7<:Wq=e!r 6.4.2 目标 103
}@14E-N= 6.4.3 特殊的评价函数 104
Y#lk!#\Y 6.5 层锁定和连接 104
{@V3?pG?p 6.6 细化技术 104
v1nQs=' 6.6.1 单纯形 105
3kiE3*H 6.6.1.1 单纯形
参数 106
WBr:|F+~s 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
qB F!b0lr 6.6.2.1 Optimac参数 108
~`2&'8 6.6.3 模拟退火算法 109
VyWYfPK 6.6.3.1
模拟退火参数 109
"J
pTE \/ 6.6.4 共轭梯度 111
Or+*q91j 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
!ww:O| 0 6.6.5 拟牛顿法 112
zg#m09[4 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
F#1 Kk#t 6.6.6 针合成 113
fey*la Xq 6.6.6.1 针合成参数 114
5wH54gj} 6.6.7 差分进化 114
.Iwur;/\ 6.6.8非局部细化 115
I7dm \|# 6.6.8.1非局部细化参数 115
Dxt),4%P 6.7 我应该使用哪种技术? 116
Vvm=MBgN 6.7.1 细化 116
X,TTM,1w 6.7.2 合成 117
=.36y9Mfo 6.8 参考文献 117
kmlG3hOR, 7 导纳图及其他工具 118
P+dA~2k 7.1 简介 118
uu}`warW 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
R:'Ou:Mh 7.2.1 四分之一
波长规则 119
{f+N]Oo* 7.2.2 导纳图 120
q=6Cc9FN 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
=db'#m{$ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
GilQtd3\ 7.5 斜入射导纳图 141
)jyq{Jb 7.6 对称周期 141
iHAU|`'N) 7.7 参考文献 142
4\LZD{ 8 典型的镀膜实例 143
o84UFhm 8.1 单层抗反射薄膜 145
&?.n2+T+
= 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
4q>7OB:e 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
Ih.rC>)rx 8.4 W-膜层 148
sm 's-gD 8.5 V-膜层 149
$hkq>i \ 8.6 V-膜层高折射基底 150
sl/=g
8.7 V-膜层高折射率基底b 151
T@TIzz 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
i2){xg~c 8.9 四层抗反射薄膜 153
#`W=mN(+k 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
'lJEHz\ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
CSMeSPOm] 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
=p<?Hu 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
{?E<](+0 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
Kv(z4 z 8.15十五层宽带抗反射膜 159
L0rip5[;d 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
*YWk1Cwjo 8.17 1/4波长堆栈 162
d1v<DU>M 8.18 陷波滤波器 163
pb!V|#u" 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
lnS(&`oh\= 8.20 褶皱 165
Hd9XfU 8.21 消偏振分光器1 169
j'K38@M:MN 8.22 消偏振分光器2 171
+l`65!" 8.23 消偏振立体分光器 172
Xka<I3UD5 8.24 消偏振截止滤光片 173
TZ[Zm 8.25 立体偏振分束器1 174
_V@WNo%B 8.26 立方偏振分束器2 177
*?/tO,
R? 8.27 相位延迟器 178
<,"4k&0Q>V 8.28 红外截止器 179
zuSq+pxL@ 8.29 21层长波带通滤波器 180
4({(i 8.30 49层长波带通滤波器 181
_;56^1'T 8.31 55层短波带通滤波器 182
nq"evD5 8.32 47 红外截止器 183
E<>*(x/\e 8.33 宽带通滤波器 184
bu>qsU3 8.34 诱导透射滤波器 186
jMM$ d,7B 8.35 诱导透射滤波器2 188
cHx%Nd\ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
'OwyyPBF 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
~C-,G"zw&G 8.35 增益平坦滤波器 193
6i.gyD 8.38 啁啾反射镜 1 196
,apNwkY 8.39 啁啾反射镜2 198
FmEc`N9\v 8.40 啁啾反射镜3 199
*z'8j 8.41 带保护层的铝膜层 200
';0 qj$# 8.42 增加铝反射率膜 201
]1D%zKY%$Z 8.43 参考文献 202
$&{ti.l 9 多层膜 204
;}qhc l+ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
G O{.9_2 9.2 内部透过率 204
Xa," 'r 9.3 内部透射率数据 205
u: &o}[ 9.4 实例 206
G?AG:%H % 9.5 实例2 210
5c5oSy+ 9.6 圆锥和带宽计算 212
9T7e\<8"vC 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
K*q[(,9 10 光学薄膜的颜色 216
\ \06T` 10.1 导言 216
<F;v`h|+S 10.2 色彩 216
'$G"[ljr 10.3 主波长和纯度 220
6sJw@OaJ 10.4 色相和纯度 221
qnM|w~G 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
ljC(L/I 10.6 色差 226
:Zt2'vcGpf 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
a2w T6jY 10.8 颜色渲染指数 234
08s_v=cF 10.9 色差计算 235
eg/<[ A: 10.10 参考文献 236
6KHN&P 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
(Glr\q]jF\ 11.1 短脉冲 238
ujFzJdp3k 11.2 群速度 239
>(r{7Qg 11.3 群速度色散 241
JTU#vq:TY 11.4 啁啾(chirped) 245
J-xS:Ha'l 11.5 光学薄膜—相变 245
7%MbhlN. 11.6 群延迟和延迟色散 246
&Lm-()wb 11.7 色度色散 246
uR;gVO+QC 11.8 色散补偿 249
{2&m`Dbm 11.9 空间
光线偏移 256
T!RT<& 11.10 参考文献 258
31WC=ur5 12 公差与误差 260
WIr2{+# 12.1 蒙特卡罗模型 260
j}1zdA 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
@L/o\pvc 12.2.1 误差工具 267
jN31hDg<z 12.2.2 灵敏度工具 271
H
3@Z.D 12.2.2.1 独立灵敏度 271
Wy .IcWK 12.2.2.2 灵敏度分布 275
.IarkeCtb 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
Cx<0 H 12.3 参考文献 276
TlZT1H 13 Runsheet 与Simulator 277
z~*g ~RKS! 13.1 原理介绍 277
}t9.N`xu 13.2 截止滤光片设计 277
^3VR-u <O 14 光学常数提取 289
r]@0eb
14.1 介绍 289
m: n`g1 14.2 电介质薄膜 289
P{OAV+cG 14.3 n 和k 的提取工具 295
cD*}..-/4 14.4 基底的参数提取 302
k%s_0
@ 14.5 金属的参数提取 306
Byl^?5 14.6 不正确的模型 306
!Ucjax~ 14.7 参考文献 311
1CU>L[W) 15 反演工程 313
S$TmZk= 15.1 随机性和
系统性 313
W%<LTWOc 15.2 常见的系统性问题 314
&QRE"_g 15.3 单层膜 314
j#r6b]k(Hv 15.4 多层膜 314
) J]9 lW&y 15.5 含义 319
;~fT,7qBah 15.6 反演工程实例 319
aj8A8ma*} 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
5=Xy,hmnC 15.6.2 反演工程提取折射率 327
>r`b_K 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
@NhvnfZ 16.1 光学性质的热致偏移 329
1"Z@Q`} 16.2 应力工具 335
x:-.+C% 16.3 均匀性误差 339
|-sPLU&s% 16.3.1 圆锥工具 339
*B`Zq) 16.3.2 波前问题 341
-;f*VM.a 16.4 参考文献 343
P-F)%T[ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
|4$M]M f0 17.1 引言 345
.2d9?p3Y 17.2 操作数 345
!!@A8~H 18 如何在Function中编写脚本 351
ojYbR<jn9 18.1 简介 351
mxor1P#| 18.2 什么是脚本? 351
infl. 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
?
WJ> p 18.4 基础 352
SJD@&m%?[ 18.4.1 Classes(类别) 352
db'/`JeK
b 18.4.2 对象 352
_zlqtO 18.4.3 信息(Messages) 352
J+rCxn?;g 18.4.4 属性 352
Qt_dEl 18.4.5 方法 353
hxce\OuU0h 18.4.6 变量声明 353
mF` B# 18.5 创建对象 354
;&H4u) 18.5.1 创建对象函数 355
N0hE4t 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
f{SB1M 18.5.3 丢弃对象 356
zdXkR] 18.5.4 总结 356
%%(R@kh9 18.6 脚本中的表格 357
I*9e]m" 18.6.1 方法1 357
h -iJlm 18.6.2 方法2 357
+`3!I 18.7 2D Plots in Scripts 358
:W b j\ 18.8 3D Plots in Scripts 359
\fr-<5w7 9 18.9 注释 360
hig2
18.10 脚本管理器调用Scripts 360
.<kqJ|SVi 18.11 一个更高级的脚本 362
F~A 'X 18.12 <esc>键 364
ECv)v 18.13 包含文件 365
f~ }H 18.14 脚本被
优化调用 366
L^Jk=8 18.15 脚本中的对话框 368
>2#8B 18.15.1 介绍 368
(O0Urm 18.15.2 消息框-MsgBox 368
kdGT{2u 18.15.3 输入框函数 370
`/Y{ l 18.15.4 自定义对话框 371
qzb<J=FAU 18.15.5 对话框编辑器 371
@&[T _l 18.15.6 控制对话框 377
M'_9A 18.15.7 更高级的对话框 380
{Zp\^/ 18.16 Types语句 384
)BRKZQN 18.17 打开文件 385
6e7{Iy 18.18 Bags 387
`^lYw:xA 18.13 进一步研究 388
^MBm==heL 19 vStack 389
uc|45Zxt 19.1 vStack基本原理 389
,t1abp{A 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
=]k {"?j 19.3 五棱镜 393
P./VmY' 19.4 光束距离 396
J,b&XD@m 19.5 误差 399
pmX#E 19.6 二向分色棱镜 399
ZyEHzM{$ 19.7 偏振泄漏 404
mFHH515 19.8 波前误差—相位 405
A&>.74}p 19.9 其它计算参数 405
"s\L~R.& 20 报表生成器 406
q%ow/!\; 20.1 入门 406
!t i6 20.2 指令(Instructions) 406
4b:s<$TZ 20.3 页面布局指令 406
<})'Y~i 20.4 常见的参数图和三维图 407
_'#x^D
20.5 表格中的常见参数 408
`9 {mr< 20.6 迭代指令 408
j2 !3rI 20.7 报表模版 408
: }`-B0 20.8 开始设计一个报表模版 409
.Lfo)?zG 21 一个新的project 413
)#LpCM,a 21.1 创建一个新Job 414
7.j[a*^ 21.2 默认设计 415
[d* ~@P 21.3 薄膜设计 416
t='# |'); 21.4 误差的灵敏度计算 420
KM`eIw>8 21.5 显色指数计算 422
f3UXCp 21.6 电场分布 424
\Y{k7^G}A 后记 426
Y6&wJ< 'g9"Qv?0{` 有兴趣可以扫码加微咨询
!~h}8'a? DLCkM*'