@.$Xv>Jt$ 内容简介
8.=\GV Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
dUznxZB 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
NC qo@vE 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
F
09DV<j OU4pjiLx 讯技科技股份有限公司
Awv`) "RAR 2015年9月3日
4F>Urh+ 目录
x.0p%O=` Preface 1
'\fY<Q:! 内容简介 2
Xb
!MaNm) 目录 i
4Tc&IwR 1 引言 1
ZlYPoOq 2 光学薄膜基础 2
r,goRK. 2.1 一般规则 2
7+TiyY]K 2.2 正交入射规则 3
[OTJV pC 2.3 斜入射规则 6
,B&fFis 2.4 精确计算 7
8 #X5K 2.5 相干性 8
; R=.iOn 2.6 参考文献 10
1
Q-bYJG 3 Essential Macleod的快速预览 10
f=!PllxL: 4 Essential Macleod的特点 32
&0TVi 4.1 容量和局限性 33
+bK.NcS 4.2 程序在哪里? 33
oBq 49u1 4.3 数据文件 35
3($"q]Y 4.4 设计规则 35
5m=I*.qE 4.5 材料数据库和
资料库 37
MaBYk?TR~ 4.5.1材料损失 38
8E&XbqP+ 4.5.1材料数据库和导入材料 39
M}_i52 4.5.2 材料库 41
-"Y{$/B 4.5.3导出材料数据 43
Ko&hj XHx 4.6 常用单位 43
I]Tsz'T!9 4.7 插值和外推法 46
?.c;oS| 4.8 材料数据的平滑 50
WD;Y~| 4.9 更多光学常数模型 54
._wkj 4.10 文档的一般编辑规则 55
c(co\A.]:6 4.11 撤销和重做 56
Bx"7%[ 4.12 设计文档 57
5G0$ 4.10.1 公式 58
JxLf?ad. 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
yq_LW>|Z 4.10.3 沉积密度 59
MC0TaP 4.10.4 平行和楔形介质 60
f"7M^1)h2% 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
w#JJXXQI 4.10.4 性能 61
.*$OQA 4.10.5 保存设计和性能 64
jEc|]E 4.10.6 默认设计 64
<X TU8G 4.11 图表 64
!/ y!QXj 4.11.1 合并曲线图 67
7:]Pl=:X 4.11.2 自适应绘制 68
{ng"=3+n 4.11.3 动态绘图 68
133I.XBU 4.11.4 3D绘图 69
FLoNE>q 4.12 导入和导出 73
%xlqF< 4.12.1 剪贴板 73
.t&R>9cZ^ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
5!C_X5M 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
B,z<%DAE 4.13 背景 77
9p 4"r^ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
H4OhIxK 4.15 生成Rugate 84
I9o6k?$K 4.16 参考文献 91
w|mb4AyL{? 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
a</D_66 5.1 Jobs 92
'tN25$=V&W 5.2 创建一个新Job(工作) 93
M,j(=hRJ/E 5.3 输入材料 94
= 5D nR 5.4 设计数据文件夹 95
=S[yE]v^ 5.5 默认设计 95
sfr(/mp( 6 细化和合成 97
iFSJL,QZ3 6.1 优化介绍 97
KucV3-I 6.2 细化 (Refinement) 98
d1!i(MaV! 6.3 合成 (Synthesis) 100
DlMe5=n-u 6.4 目标和评价函数 101
.%'(9E 6.4.1 目标输入 102
e@@?AB$n( 6.4.2 目标 103
J68j=`Y 6.4.3 特殊的评价函数 104
"+KJop 6.5 层锁定和连接 104
Sj'ht= 6.6 细化技术 104
_$<Gyz* 6.6.1 单纯形 105
` b !5^W 6.6.1.1 单纯形
参数 106
gIR^)m 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
%xwIt~Y 6.6.2.1 Optimac参数 108
?^'
7+8C*J 6.6.3 模拟退火算法 109
l5Y/Ok0, 6.6.3.1
模拟退火参数 109
=k}SD96 6.6.4 共轭梯度 111
M)?dEgU}M 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
: FAH\ 6.6.5 拟牛顿法 112
TUL_TR 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
X.ONa_ 6.6.6 针合成 113
rI5Foh6 6.6.6.1 针合成参数 114
jk\ dG16 6.6.7 差分进化 114
M-NV_W&M 6.6.8非局部细化 115
EG'[`<*h 6.6.8.1非局部细化参数 115
~5ZvOX6L2 6.7 我应该使用哪种技术? 116
Xf=XBoN| 6.7.1 细化 116
W$dn_9W 6.7.2 合成 117
"SN4* 6.8 参考文献 117
]!:oYAm 7 导纳图及其他工具 118
#5sD{:f` 7.1 简介 118
qP!eJ6[Nh" 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
qZ@0]"h 7.2.1 四分之一
波长规则 119
Mv|ykJoz" 7.2.2 导纳图 120
uBg 8h{> 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
6Dws,_UAZ4 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
`&M{cfp_ 7.5 斜入射导纳图 141
*y`%]Hy< 7.6 对称周期 141
u{&B^s)k. 7.7 参考文献 142
^x*nq3^h\ 8 典型的镀膜实例 143
@Un/c:n 8.1 单层抗反射薄膜 145
+&tgJ07A 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
n?#!VN3 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
(VyNvB 8.4 W-膜层 148
puSLqouTM 8.5 V-膜层 149
|1Dc!V'?" 8.6 V-膜层高折射基底 150
fBBa4"OK= 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
aRj>iQaddx 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
e"-X U@`k1 8.9 四层抗反射薄膜 153
+y[@T6_ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
IC/(R! Crj 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
39e; 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
tc_f;S`k 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
5yh/0i5 | 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
MFJE6ei 8.15十五层宽带抗反射膜 159
z;]CmR@Ki 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
>1L=,M 8.17 1/4波长堆栈 162
'2J0>Bla 8.18 陷波滤波器 163
XA0(f* 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
JL}\* 8.20 褶皱 165
PDx)S7+w[ 8.21 消偏振分光器1 169
,Y_{L|:w 8.22 消偏振分光器2 171
fi PIAT} 8.23 消偏振立体分光器 172
W!$zXwY}( 8.24 消偏振截止滤光片 173
k0?ZYeHC 8.25 立体偏振分束器1 174
k!jNOqbb 8.26 立方偏振分束器2 177
ir>]r<Zl 8.27 相位延迟器 178
nR
\'[~+ 8.28 红外截止器 179
Mro4`GL 8.29 21层长波带通滤波器 180
\`'KlF2 8.30 49层长波带通滤波器 181
NQTnhiM7$ 8.31 55层短波带通滤波器 182
r'/;O 8.32 47 红外截止器 183
7&}P{<}o^ 8.33 宽带通滤波器 184
lYf+V8{ 8.34 诱导透射滤波器 186
=<f-ob8, 8.35 诱导透射滤波器2 188
PL0`d`TI 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
&Y|Xd4: 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
#~:P}<h 8.35 增益平坦滤波器 193
wyc D>hc 8.38 啁啾反射镜 1 196
!KS F3sz 8.39 啁啾反射镜2 198
"yb WDWu 8.40 啁啾反射镜3 199
4Tzd; P6_ 8.41 带保护层的铝膜层 200
}m]q}r 8.42 增加铝反射率膜 201
`T*U]/zQ 8.43 参考文献 202
@
$cUNvI 9 多层膜 204
huFz97?y( 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
ul7o%Hs 9.2 内部透过率 204
qG8s;_G 9.3 内部透射率数据 205
iCG`3(xL 9.4 实例 206
8``;0}'PC 9.5 实例2 210
S[M4ukYK 9.6 圆锥和带宽计算 212
u.|~
9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
~m=EM; 10 光学薄膜的颜色 216
Lf}8qB#Y 10.1 导言 216
AG"l1wz 10.2 色彩 216
W+>wu%[L 10.3 主波长和纯度 220
b=##A 10.4 色相和纯度 221
dFW=9ru+MQ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
_v5t<_^N 10.6 色差 226
>X}{BDMb. 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
8 ,}ikOZ? 10.8 颜色渲染指数 234
jrJR1npB 10.9 色差计算 235
sPYX~G&T 10.10 参考文献 236
<zfe}0 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
%Tcf6cK" 11.1 短脉冲 238
~GB=Nz 11.2 群速度 239
F%.xuL W 11.3 群速度色散 241
mL L$| 11.4 啁啾(chirped) 245
Ng<1Sd|MV 11.5 光学薄膜—相变 245
"Tbnxx]J 11.6 群延迟和延迟色散 246
G"s0GpvQ 11.7 色度色散 246
`_AM` >_ 11.8 色散补偿 249
vS;'}N 11.9 空间
光线偏移 256
c,5n,i 11.10 参考文献 258
iSp 12 公差与误差 260
Fxd{ Zk` 12.1 蒙特卡罗模型 260
2=*=^)FNI 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
Bt~s*{3$8 12.2.1 误差工具 267
pu;3nUH 12.2.2 灵敏度工具 271
_g|acBF 12.2.2.1 独立灵敏度 271
L ^Y3=1#"g 12.2.2.2 灵敏度分布 275
a0_(eO-S 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
s${_K* g6 12.3 参考文献 276
T-L5zu 13 Runsheet 与Simulator 277
|"k&fkS$ 13.1 原理介绍 277
-e>|kPfv! 13.2 截止滤光片设计 277
\P?ToTTV 14 光学常数提取 289
CmC0k-%w 14.1 介绍 289
Hhv$4;&X 14.2 电介质薄膜 289
L'kq>1QWf 14.3 n 和k 的提取工具 295
KsdG(.I+ek 14.4 基底的参数提取 302
1p\Ak 14.5 金属的参数提取 306
hw,^G5m 14.6 不正确的模型 306
n.$(}A 14.7 参考文献 311
(O5)wej 15 反演工程 313
=I4.Gf"~f 15.1 随机性和
系统性 313
?b$3ob" 15.2 常见的系统性问题 314
}=GM?,7b 15.3 单层膜 314
'F_}xMU 15.4 多层膜 314
-CBD|fo[h 15.5 含义 319
R_e)mkE 15.6 反演工程实例 319
[%8@DC' 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
I6dm@{/:> 15.6.2 反演工程提取折射率 327
it}-^3AM 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
=7jEz+w# 16.1 光学性质的热致偏移 329
R2^iSl%pj 16.2 应力工具 335
7kz-V. 16.3 均匀性误差 339
LHi6:G"Y( 16.3.1 圆锥工具 339
!WKk=ysFS 16.3.2 波前问题 341
*BOBH;s 16.4 参考文献 343
h5onRa*7 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
km>o7V&4G 17.1 引言 345
~775soN 17.2 操作数 345
-<oZ)OfU 18 如何在Function中编写脚本 351
b=LF%P 18.1 简介 351
vjTwv+B" 18.2 什么是脚本? 351
6E+=Xi 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
.hN3`>*V 18.4 基础 352
1%eLs=u? 18.4.1 Classes(类别) 352
YNM\pX' 18.4.2 对象 352
gMZ&,n4 18.4.3 信息(Messages) 352
;nk@XFJ 18.4.4 属性 352
,L%p 18.4.5 方法 353
60PYCqWc 18.4.6 变量声明 353
<xF?~7 18.5 创建对象 354
[ X|OrRA 18.5.1 创建对象函数 355
)73DT3-0$ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
q<XcOc5 18.5.3 丢弃对象 356
Nmf#`+7gCI 18.5.4 总结 356
k+\7B}7F 18.6 脚本中的表格 357
v MWC(m 18.6.1 方法1 357
T 46{*( 18.6.2 方法2 357
SJ(9rhB5*. 18.7 2D Plots in Scripts 358
h.b+r~u 18.8 3D Plots in Scripts 359
`@$YlFOW 18.9 注释 360
MZ^Ch 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
Y n>{4BZ># 18.11 一个更高级的脚本 362
n4*'B* 18.12 <esc>键 364
c~oe,9 18.13 包含文件 365
=g2\CIlVU6 18.14 脚本被
优化调用 366
Fe4esg-B< 18.15 脚本中的对话框 368
'%Dg{ zL 18.15.1 介绍 368
WguV{#=H 18.15.2 消息框-MsgBox 368
M,{<TpCx 18.15.3 输入框函数 370
SRk7gfP*q 18.15.4 自定义对话框 371
AzX(~Qc 18.15.5 对话框编辑器 371
,CW%JIM 18.15.6 控制对话框 377
*]9XDc]{j1 18.15.7 更高级的对话框 380
p;ZDpR 18.16 Types语句 384
2V< # Y 18.17 打开文件 385
2o}8W7y 18.18 Bags 387
UJs?9]x> 18.13 进一步研究 388
<w11nB) 19 vStack 389
7eH@n<]Y2 19.1 vStack基本原理 389
mg/]4)SF 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
_^3@PM> 19.3 五棱镜 393
{q2<KRU2+# 19.4 光束距离 396
Sl~C0eO 19.5 误差 399
bl9E&B/ 19.6 二向分色棱镜 399
=z%s8D2 19.7 偏振泄漏 404
c$.T<r)Z 19.8 波前误差—相位 405
Nuo<` 6mV@ 19.9 其它计算参数 405
C9+Dw#-fV 20 报表生成器 406
w`38DF@K 20.1 入门 406
h!;MBn`8 20.2 指令(Instructions) 406
CY\mU_.b 20.3 页面布局指令 406
CCwK8`% 20.4 常见的参数图和三维图 407
LQ|<3] 20.5 表格中的常见参数 408
m"1
? 20.6 迭代指令 408
],#ZPUn 20.7 报表模版 408
ix+x3OCip 20.8 开始设计一个报表模版 409
E<P*QZ-C3 21 一个新的project 413
l>33z_H^ 21.1 创建一个新Job 414
a\|X^%2g 21.2 默认设计 415
pe|\'<>i 21.3 薄膜设计 416
zkvH=wL 21.4 误差的灵敏度计算 420
JG1LS$p^ 21.5 显色指数计算 422
Is~yVB02 21.6 电场分布 424
fjG /dhr 后记 426
lHRK'?Q _2x uzmz0 有兴趣可以扫码加微咨询
7{8)ykBU^ 5"]aZMua