q:a-tdv2 内容简介
'OjsV$_ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
M9ACaf@ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
`"RT(` m 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
"x~su?KiA b2vCr F; 讯技科技股份有限公司
gF53[\w^v 2015年9月3日
:rzq[J^ 目录
WT_4YM\bz Preface 1
UVz}"TRq. 内容简介 2
XFmTr@\M 目录 i
S(
Vssi|y 1 引言 1
{1Hs5bg@ 2 光学薄膜基础 2
gT0N\oU" 2.1 一般规则 2
/_{B_2i/> 2.2 正交入射规则 3
#Et%s8{ 2.3 斜入射规则 6
\iQ{Q&JR: 2.4 精确计算 7
yq<mE(hS? 2.5 相干性 8
:JD*uu 2.6 参考文献 10
2R=Fc@MXs 3 Essential Macleod的快速预览 10
NDYm7X*et 4 Essential Macleod的特点 32
b-Xc6f 4.1 容量和局限性 33
6i7+.#s 4.2 程序在哪里? 33
W"[Q=$2<< 4.3 数据文件 35
,(y6XUV~ 4.4 设计规则 35
;w(tXcXZ 4.5 材料数据库和
资料库 37
{"WfA 4.5.1材料损失 38
,.,spoV 4.5.1材料数据库和导入材料 39
]X\p\n'@j 4.5.2 材料库 41
Mv_-JE9#>o 4.5.3导出材料数据 43
kT1 2 4.6 常用单位 43
eFXQ~~gOj 4.7 插值和外推法 46
]}z"H@k 4.8 材料数据的平滑 50
S17 c#6vT 4.9 更多光学常数模型 54
#Mm1yXNu 4.10 文档的一般编辑规则 55
}BN!Xa 4.11 撤销和重做 56
kR/Etm5_ 4.12 设计文档 57
HD!2|b~@ 4.10.1 公式 58
}O+`X) 9 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
t`Lh(` 4.10.3 沉积密度 59
k^Qd%;bdF 4.10.4 平行和楔形介质 60
5lrjM^E| 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
~v|NC([( 4.10.4 性能 61
*&O4b3R 4.10.5 保存设计和性能 64
/|LQ?n 4.10.6 默认设计 64
.8]buM5_G 4.11 图表 64
hq*"S-N 4.11.1 合并曲线图 67
PUbfQg 4.11.2 自适应绘制 68
Qy7 pM8~h 4.11.3 动态绘图 68
&1Cif$Y4w 4.11.4 3D绘图 69
_X)`S"EsJ 4.12 导入和导出 73
=Ohro' 4.12.1 剪贴板 73
=HHtLW.|, 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
-jWXE 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
)z!#8s 4.13 背景 77
.Ge`)_e 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
2OZ<t@\OY 4.15 生成Rugate 84
'BX
U' 4.16 参考文献 91
+N2R'Phv 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
GV8`.3DBOF 5.1 Jobs 92
&|I{ju_ 5.2 创建一个新Job(工作) 93
]=G dAW 5.3 输入材料 94
4WXr~?Vq9 5.4 设计数据文件夹 95
q_86nvB< 5.5 默认设计 95
AYsiaSTRqW 6 细化和合成 97
Fp~0 ^ 6.1 优化介绍 97
OICH:(t_ 6.2 细化 (Refinement) 98
UFGUP]J> 6.3 合成 (Synthesis) 100
ZLlAK ?N 6.4 目标和评价函数 101
[vn"r^P 6.4.1 目标输入 102
~u-_DOA 6.4.2 目标 103
lXip%6c7
6.4.3 特殊的评价函数 104
-'rb+<v 6.5 层锁定和连接 104
[13NhF3.P 6.6 细化技术 104
x\b+B
6.6.1 单纯形 105
"Tnmn@ 6.6.1.1 单纯形
参数 106
Vo(>K34 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
![ @i+hl 6.6.2.1 Optimac参数 108
%TYe]^/'y 6.6.3 模拟退火算法 109
lS |:4U. 6.6.3.1
模拟退火参数 109
iD)P6" 6.6.4 共轭梯度 111
qk=OodEMK 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
iJSyi;l| 6.6.5 拟牛顿法 112
nJR(lXWO 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
ZsN3 MbY 6.6.6 针合成 113
d6ckvD[ 6.6.6.1 针合成参数 114
~F13}is 6.6.7 差分进化 114
<(_${zR 6.6.8非局部细化 115
bo[[<j!"I 6.6.8.1非局部细化参数 115
.6A{ 6.7 我应该使用哪种技术? 116
T)mh 6.7.1 细化 116
pGP$2 6.7.2 合成 117
j"9Zaq_ 6.8 参考文献 117
N**"u"CX 7 导纳图及其他工具 118
xcX^L84\ 7.1 简介 118
&uXu$)IZ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
tUhr gc 7.2.1 四分之一
波长规则 119
J5SOPG 7.2.2 导纳图 120
6.6x$y3v 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
,lQfsntk' 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
J~lKN
<w 7.5 斜入射导纳图 141
v-XB\|f 7.6 对称周期 141
e_dsBmTh 7.7 参考文献 142
cdTG ]n 8 典型的镀膜实例 143
r<pt_Cd 8.1 单层抗反射薄膜 145
q(Zu;ecBN 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
9&Ny;oy#6 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
NT<}-^ 8.4 W-膜层 148
3yu,qb'"& 8.5 V-膜层 149
@!::_E+F] 8.6 V-膜层高折射基底 150
~QU\kZ7Z 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
Bi|-KS.9 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
ZmZ7E]c 8.9 四层抗反射薄膜 153
?<~P)aVVj 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
VL2ACv( 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
=|qYaXjT$ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
BV
eIj } 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
hSXZu?/ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
oD_#oX5\ 8.15十五层宽带抗反射膜 159
k!{h]D0 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
Eg0qY\' 8.17 1/4波长堆栈 162
tNYCyw{K 8.18 陷波滤波器 163
1G
63eH)! 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
79}Qj7 8.20 褶皱 165
X -_0wR 8.21 消偏振分光器1 169
"2GssBa 8.22 消偏振分光器2 171
{%QWv%| 8.23 消偏振立体分光器 172
2x:aMWh 8.24 消偏振截止滤光片 173
o_?A^u 8.25 立体偏振分束器1 174
M~-jPY,+ 8.26 立方偏振分束器2 177
;xjw'%n, 8.27 相位延迟器 178
*7K)J8kq 8.28 红外截止器 179
gF&HJF 0x 8.29 21层长波带通滤波器 180
A~#w gLGn 8.30 49层长波带通滤波器 181
3/*<i 8.31 55层短波带通滤波器 182
@^^,VgW[ 8.32 47 红外截止器 183
zN>tSdNkI- 8.33 宽带通滤波器 184
*
NdL4c~ 8.34 诱导透射滤波器 186
{
u1\M 8.35 诱导透射滤波器2 188
$<d3g: 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
<26Jif: 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
c'Zs2s7$ 8.35 增益平坦滤波器 193
h;t5v6[" 8.38 啁啾反射镜 1 196
k[/`G5 8.39 啁啾反射镜2 198
OB\jq!" 8.40 啁啾反射镜3 199
2IFEl-IB[ 8.41 带保护层的铝膜层 200
)k&!& 8.42 增加铝反射率膜 201
"U
iv[8B 8.43 参考文献 202
Awlw6?
9 多层膜 204
' O d_:] 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
FWuk@t[<O 9.2 内部透过率 204
*!L
it:H 9.3 内部透射率数据 205
k>!A~gfP~ 9.4 实例 206
P~u~`eH* 9.5 实例2 210
jfsbvak 9.6 圆锥和带宽计算 212
Xv?'*2J 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
'L ]k\GO 10 光学薄膜的颜色 216
2qDVAq^@ 10.1 导言 216
A9ru]|? 10.2 色彩 216
0uS6F8x@ 10.3 主波长和纯度 220
OM#eJ,MH<) 10.4 色相和纯度 221
H]&^>Pvh 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
~\[\S!" 10.6 色差 226
XV:icY 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
^:,I #] 10.8 颜色渲染指数 234
eC*-/$D 10.9 色差计算 235
zM++Z* 10.10 参考文献 236
U$AV"F&!&} 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
Z)RV6@( 11.1 短脉冲 238
k+y>xI, 11.2 群速度 239
d(;Qe}ok> 11.3 群速度色散 241
o :_'R5 11.4 啁啾(chirped) 245
KU)~p"0[6] 11.5 光学薄膜—相变 245
VT5o#NR{R 11.6 群延迟和延迟色散 246
cA25FD 11.7 色度色散 246
+4m~D`fqt[ 11.8 色散补偿 249
%$}*y
11.9 空间
光线偏移 256
~+bS D<!b 11.10 参考文献 258
h . R bdG 12 公差与误差 260
yZqX[U 12.1 蒙特卡罗模型 260
wsyAq'%L 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
wd0 *"c@ 12.2.1 误差工具 267
/\|Behif 12.2.2 灵敏度工具 271
FOD_m&+ 12.2.2.1 独立灵敏度 271
Nk&$b 12.2.2.2 灵敏度分布 275
`HJRXoLySW 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
H<bB@(i 12.3 参考文献 276
+!)v=NY 13 Runsheet 与Simulator 277
dEW I8Q] 13.1 原理介绍 277
G5'HrV 13.2 截止滤光片设计 277
^V;2v? O 14 光学常数提取 289
Y+e a 14.1 介绍 289
6xAR: 14.2 电介质薄膜 289
\KT}T 14.3 n 和k 的提取工具 295
hF7#i_UN< 14.4 基底的参数提取 302
P xiJ R[a 14.5 金属的参数提取 306
M_EXA _ 14.6 不正确的模型 306
UsBtk 14.7 参考文献 311
?(P3ZTk?. 15 反演工程 313
G$!JJ.
)d 15.1 随机性和
系统性 313
Qlgii_?#@ 15.2 常见的系统性问题 314
KI~M.2pk 15.3 单层膜 314
c(G;O)ikS 15.4 多层膜 314
w8> 15.5 含义 319
^E`SR6_cmj 15.6 反演工程实例 319
.Pi8c[ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
z 2Rg`1B 15.6.2 反演工程提取折射率 327
P*zOt]T 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
BaUcmF2Q 16.1 光学性质的热致偏移 329
!pG_MO 16.2 应力工具 335
FT+[[9i 16.3 均匀性误差 339
#JIh-h@ 16.3.1 圆锥工具 339
V [KFZSA 16.3.2 波前问题 341
euc|G Xs 16.4 参考文献 343
+-+%6O<C 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
{t1;icu 17.1 引言 345
Jx_BjkF 17.2 操作数 345
=TG[isC/F9 18 如何在Function中编写脚本 351
hRKA,u/G 18.1 简介 351
CAvyS 18.2 什么是脚本? 351
tNbZ{=I> 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
o2#_CdU 18.4 基础 352
tsvh/)V 18.4.1 Classes(类别) 352
u AmDXqJ3 18.4.2 对象 352
tj=l! 18.4.3 信息(Messages) 352
v"N%w1`.e 18.4.4 属性 352
M
h5>@-fEE 18.4.5 方法 353
380M&Guh 18.4.6 变量声明 353
eJ
O+MurO 18.5 创建对象 354
C!Oz'~l 18.5.1 创建对象函数 355
zxffjz,Fe: 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
(np60mX< 18.5.3 丢弃对象 356
-"Hy%wE 18.5.4 总结 356
V'jvI 18.6 脚本中的表格 357
,/bv3pE 18.6.1 方法1 357
l'0fRQc 18.6.2 方法2 357
c mI&R( 18.7 2D Plots in Scripts 358
/6PL 18.8 3D Plots in Scripts 359
pNIu;1M5a 18.9 注释 360
! >l)*jN8 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
bw& U[|A0% 18.11 一个更高级的脚本 362
oe*Y(T\G 18.12 <esc>键 364
C}>Pn{wY9 18.13 包含文件 365
F.[E;gOTo 18.14 脚本被
优化调用 366
uiQR RT 18.15 脚本中的对话框 368
y2:~_MD 18.15.1 介绍 368
vjz*B$ 18.15.2 消息框-MsgBox 368
EmO{lCENk 18.15.3 输入框函数 370
>azTAX6L3 18.15.4 自定义对话框 371
i{+W62k* 18.15.5 对话框编辑器 371
6)_svtg 18.15.6 控制对话框 377
x%d\}%] 18.15.7 更高级的对话框 380
]> dCt< 18.16 Types语句 384
EiP#xjn?c 18.17 打开文件 385
-cqR]'u 18.18 Bags 387
a(BEm_l3 18.13 进一步研究 388
}2nmfm! 19 vStack 389
g4-UBDtYt 19.1 vStack基本原理 389
z;#]xCV 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
:G\X 19.3 五棱镜 393
C0> Z<z 19.4 光束距离 396
O<KOsu1WW 19.5 误差 399
#Z)8,N 19.6 二向分色棱镜 399
^vA"3Ixb! 19.7 偏振泄漏 404
-h?ed'e/zz 19.8 波前误差—相位 405
?7]UbtW[ 19.9 其它计算参数 405
\p%,g&^ x 20 报表生成器 406
7I0[Ii 20.1 入门 406
nhZ^`mP 20.2 指令(Instructions) 406
Op2@En|d 20.3 页面布局指令 406
j{?ogFfi 20.4 常见的参数图和三维图 407
xh) h#p. 20.5 表格中的常见参数 408
g&<3Kl 20.6 迭代指令 408
z:7
i@m 20.7 报表模版 408
Y_SB3 $]) 20.8 开始设计一个报表模版 409
(0W)Jd[ 21 一个新的project 413
7)Y0D@wg 21.1 创建一个新Job 414
~As/cd>9 21.2 默认设计 415
W#@Mx 21.3 薄膜设计 416
I"5VkeIx 21.4 误差的灵敏度计算 420
_a`J>~$ 21.5 显色指数计算 422
jM%8h$&E 21.6 电场分布 424
CqkY_z 后记 426
AwQ7O z|( yy( .| 有兴趣可以扫码加微咨询
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