TgQ|T57 内容简介
Y;> p)'z Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
8@LykJbP 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
ko+M,kjwR 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
Og;$P'U [y=$2 讯技科技股份有限公司
o+)LcoPu 2015年9月3日
;@ll 目录
CK!pH{n+ Preface 1
dl7p1Cr 内容简介 2
&J&w4"0N' 目录 i
?/l}(t$H 1 引言 1
K3r>nGLBo 2 光学薄膜基础 2
wkZ2Y-#=' 2.1 一般规则 2
ZAo)_za&mH 2.2 正交入射规则 3
i:Z.;z$1 2.3 斜入射规则 6
t6L^
#\' 2.4 精确计算 7
xBI"{nGoN 2.5 相干性 8
T`'3Cp$q 2.6 参考文献 10
c;|&>Fp 3 Essential Macleod的快速预览 10
MlC-Aad( 4 Essential Macleod的特点 32
I|3v&E1 4.1 容量和局限性 33
]O9f"cj 4.2 程序在哪里? 33
W}e[.iX; 4.3 数据文件 35
x4m_(CtK 4.4 设计规则 35
Aya;ycsgE 4.5 材料数据库和
资料库 37
%wjU^Urya 4.5.1材料损失 38
seD+~Y\z 4.5.1材料数据库和导入材料 39
0&rH 9 4.5.2 材料库 41
: .w'gU_ 4.5.3导出材料数据 43
%CE@} 4.6 常用单位 43
wmcp`8w. 4.7 插值和外推法 46
$evuPm8G 4.8 材料数据的平滑 50
U5ud?z()OA 4.9 更多光学常数模型 54
qf&a<[p~ 4.10 文档的一般编辑规则 55
X8l1xD 4.11 撤销和重做 56
5$"[gdt)T 4.12 设计文档 57
eUw;!Du
4.10.1 公式 58
K[|P6J 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
bQN4ozSi 4.10.3 沉积密度 59
7E6?)bgh 4.10.4 平行和楔形介质 60
~{7NTW 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
A[$wxdc 4.10.4 性能 61
qyBK\WqaP 4.10.5 保存设计和性能 64
9B;Sk]y 4.10.6 默认设计 64
pu)9"Ad[ G 4.11 图表 64
\7tvNa,C 4.11.1 合并曲线图 67
?>\]%$5o 4.11.2 自适应绘制 68
tAu|8aL 4.11.3 动态绘图 68
!RUo:b+ 4.11.4 3D绘图 69
Lp]C![\>U 4.12 导入和导出 73
dv9Pb5i 4.12.1 剪贴板 73
1]3bx N 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
:ktX7p~ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
+VW]%6+ 4.13 背景 77
y $DB 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
!zJ67-G 4.15 生成Rugate 84
o-CJdOS 4.16 参考文献 91
2u;fT{( 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
Vq7
kA " 5.1 Jobs 92
?
A#z~;X@ 5.2 创建一个新Job(工作) 93
r~Ubgd ]U 5.3 输入材料 94
np>!lF: 5.4 设计数据文件夹 95
WI4_4 5.5 默认设计 95
kuud0VWJ 6 细化和合成 97
MGC0^voe 6.1 优化介绍 97
! tPK"k 6.2 细化 (Refinement) 98
IguG03:.N 6.3 合成 (Synthesis) 100
qlT:9*&g 6.4 目标和评价函数 101
0|Ft0y`+ 6.4.1 目标输入 102
R]sjG< 6.4.2 目标 103
6)<o O( 6.4.3 特殊的评价函数 104
o%>nu 6.5 层锁定和连接 104
VM|)\?Q 6.6 细化技术 104
z'K7J'(R 6.6.1 单纯形 105
1'pQ, 6.6.1.1 单纯形
参数 106
^[z\KmUqt 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
~4` ec 6.6.2.1 Optimac参数 108
zw9ULQ$# 6.6.3 模拟退火算法 109
knZd}?I* 6.6.3.1
模拟退火参数 109
W" ,jZ"7 6.6.4 共轭梯度 111
61wG: 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
iw;Alav"x 6.6.5 拟牛顿法 112
;RZa<2 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
F7Yuky 6.6.6 针合成 113
cW/~4.v$ 6.6.6.1 针合成参数 114
'u%;6'y 6.6.7 差分进化 114
L`@&0Zk 6.6.8非局部细化 115
s"F,=]HQ!G 6.6.8.1非局部细化参数 115
&|FG#.2yw 6.7 我应该使用哪种技术? 116
`CouP-g. 6.7.1 细化 116
8-6{MJ?F 6.7.2 合成 117
vjWgR9 4/{ 6.8 参考文献 117
F qyJ*W\1 7 导纳图及其他工具 118
{73DnC~N 7.1 简介 118
N5]68Fu'({ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
,qh 7.2.1 四分之一
波长规则 119
mYRR==iDL 7.2.2 导纳图 120
B>L^XGq 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
ky"7 ^ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
au~gJW- 7.5 斜入射导纳图 141
yf>,oNIAg 7.6 对称周期 141
52Ffle8 7.7 参考文献 142
OU=IV;V{ 8 典型的镀膜实例 143
n!orM5=:O 8.1 单层抗反射薄膜 145
>%A=b}VS 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
T U6EE 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
`b$I)UUm 8.4 W-膜层 148
fkG"72 95A 8.5 V-膜层 149
.qP
zd(<T7 8.6 V-膜层高折射基底 150
> _) a7% 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
wC@U/? 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
Gwk@X/q 8.9 四层抗反射薄膜 153
JsdEA 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
[qo*,CRz 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
cW>`Z:6{K 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
XwGJ 8&N 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
%tjEVQa 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
]sIFK 8.15十五层宽带抗反射膜 159
yZ6X$I:C 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
KX@Fgs 8.17 1/4波长堆栈 162
_J`M>W)8 8.18 陷波滤波器 163
N4FG_N 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
ku=q:ryO 8.20 褶皱 165
p[IgnO 8.21 消偏振分光器1 169
uu #+|ZD 8.22 消偏振分光器2 171
A]slssE+ 8.23 消偏振立体分光器 172
g:V6B/M& 8.24 消偏振截止滤光片 173
Va:jMN 8.25 立体偏振分束器1 174
|1$X`|S 8.26 立方偏振分束器2 177
v7RDoO]I 8.27 相位延迟器 178
A-5%_M3\G 8.28 红外截止器 179
HxAa,+k 8.29 21层长波带通滤波器 180
ijT^gsLL 8.30 49层长波带通滤波器 181
}\*|b@)] 8.31 55层短波带通滤波器 182
8A=(,)`}9 8.32 47 红外截止器 183
f5eX%FR 8.33 宽带通滤波器 184
oWT0WS 8.34 诱导透射滤波器 186
DtX{0p<T3 8.35 诱导透射滤波器2 188
`8*$$JC 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
|hAGgo/03 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
Y"U&3e, 8.35 增益平坦滤波器 193
uDUSR+E> 8.38 啁啾反射镜 1 196
"^7Uk#!
7 8.39 啁啾反射镜2 198
8;@eY`0( 8.40 啁啾反射镜3 199
C8-q<t#SF 8.41 带保护层的铝膜层 200
0J B"@U&- 8.42 增加铝反射率膜 201
(["u"m% 8.43 参考文献 202
:\XD.n-n 9 多层膜 204
l K%Hb= 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
7eyh9E!_I 9.2 内部透过率 204
_7VU , 9.3 内部透射率数据 205
Si(?+bda0c 9.4 实例 206
B;$5*3D+ 9.5 实例2 210
7KLq-u-8 9.6 圆锥和带宽计算 212
xFh}%mwpt[ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
mNzZ/*n: 10 光学薄膜的颜色 216
aeIR}'H| 10.1 导言 216
:JmNy< 10.2 色彩 216
2oRmro 10.3 主波长和纯度 220
q}lSnWY[[ 10.4 色相和纯度 221
sP#5l @ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
[
CY= 10.6 色差 226
h&P[9:LH 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
`3Y+:!q 10.8 颜色渲染指数 234
0!T $Ef 10.9 色差计算 235
Yp$lc^)c> 10.10 参考文献 236
o>h>#!e 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
6kk(FVX 11.1 短脉冲 238
_{8boDX# 11.2 群速度 239
W3#L!&z_wK 11.3 群速度色散 241
"7d_$.Z 11.4 啁啾(chirped) 245
;F-kE4w 11.5 光学薄膜—相变 245
]v@,>!Wn 11.6 群延迟和延迟色散 246
>{[J+f{~| 11.7 色度色散 246
uFgw eOJ 11.8 色散补偿 249
b?l\QMvi 11.9 空间
光线偏移 256
=6hf'lP 11.10 参考文献 258
C\Rd]P8\ 12 公差与误差 260
5;+Bl@zGu 12.1 蒙特卡罗模型 260
Qoc-ZC"<6 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
}_S]!AWz 12.2.1 误差工具 267
:\Dm=Q\ 12.2.2 灵敏度工具 271
(plOV) 12.2.2.1 独立灵敏度 271
8w4.|h5FP 12.2.2.2 灵敏度分布 275
P]G2gDO 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
BC3I{Y| 12.3 参考文献 276
I[/u5V_b' 13 Runsheet 与Simulator 277
l?d*g& 13.1 原理介绍 277
6[i-Tl 13.2 截止滤光片设计 277
"Y6f.rB 14 光学常数提取 289
[Fe5a 14.1 介绍 289
*e=e7KC6kI 14.2 电介质薄膜 289
:v+39 14.3 n 和k 的提取工具 295
BQ(`MM@ 14.4 基底的参数提取 302
6b0#z#E 14.5 金属的参数提取 306
o{/D:B 14.6 不正确的模型 306
:'03*A_[ 14.7 参考文献 311
k&*=:y} 15 反演工程 313
MZ.Jkf( 15.1 随机性和
系统性 313
+Z+]Tqo 15.2 常见的系统性问题 314
$Khc?v 15.3 单层膜 314
1]"b.[P> 15.4 多层膜 314
QAr1U7{(. 15.5 含义 319
+aMPwTF:3 15.6 反演工程实例 319
p ^Ruf?> 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
&( Z8G~h4 15.6.2 反演工程提取折射率 327
?%?@?W>s@ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
!GO4cbdQ 16.1 光学性质的热致偏移 329
MCvjdc3: 16.2 应力工具 335
KQh'5o& 16.3 均匀性误差 339
#u>JCPz 16.3.1 圆锥工具 339
\;~>AL* 16.3.2 波前问题 341
7@:uVowQ 16.4 参考文献 343
0YKG`W 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
Q~`n%uYg\{ 17.1 引言 345
IP-mo!Y. 17.2 操作数 345
FXIQS' 18 如何在Function中编写脚本 351
XWk^$ " 18.1 简介 351
yZKj>P1 18.2 什么是脚本? 351
@?z*:
7a 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
)
Limt<S 18.4 基础 352
ke/QFN-` 18.4.1 Classes(类别) 352
%@LVoP!@! 18.4.2 对象 352
4:7z9h] 18.4.3 信息(Messages) 352
,>)/ y 18.4.4 属性 352
3*ZE`` 18.4.5 方法 353
2$|WXYY 18.4.6 变量声明 353
SJL?(S* 18.5 创建对象 354
N[Fz6,ZG _ 18.5.1 创建对象函数 355
NcdOzx> 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
B?k75G 18.5.3 丢弃对象 356
6B&':N98 18.5.4 总结 356
8{'L:yzMY 18.6 脚本中的表格 357
A^G%8 )\ 18.6.1 方法1 357
0^4Tem@ 18.6.2 方法2 357
r@ ]{`qA 18.7 2D Plots in Scripts 358
V5m4dQ>t 18.8 3D Plots in Scripts 359
rZ<@MV|d 18.9 注释 360
i0hF9M 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
1aKY+4/G 18.11 一个更高级的脚本 362
Bc$t`PI 18.12 <esc>键 364
wTG6>l ]H 18.13 包含文件 365
/K1YDq<= 18.14 脚本被
优化调用 366
ZPHB$]ri 18.15 脚本中的对话框 368
R'He(x 18.15.1 介绍 368
JpN+'/ 18.15.2 消息框-MsgBox 368
\7jK6;R< 18.15.3 输入框函数 370
A^xDAxk 18.15.4 自定义对话框 371
0I1bY]* 18.15.5 对话框编辑器 371
so1%
MV 18.15.6 控制对话框 377
.z+[3Oj_E 18.15.7 更高级的对话框 380
bNi\+=v<Ys 18.16 Types语句 384
;V@o 2a 18.17 打开文件 385
><+wH b 18.18 Bags 387
J'W6NitMr 18.13 进一步研究 388
YFeF(k!!n 19 vStack 389
w\!aKeP'
19.1 vStack基本原理 389
rz5AIe>Hm 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
\G:\36l 19.3 五棱镜 393
N"Q-xK 19.4 光束距离 396
=XuBan3B> 19.5 误差 399
:T.j;~ 19.6 二向分色棱镜 399
KFx4"f% 19.7 偏振泄漏 404
h{#Hwp 19.8 波前误差—相位 405
Xi$2MyRd 19.9 其它计算参数 405
pKMy:j 20 报表生成器 406
cyL"?vR*< 20.1 入门 406
>La!O~d 20.2 指令(Instructions) 406
{HHc}8 20.3 页面布局指令 406
,ir(~g+{g 20.4 常见的参数图和三维图 407
F$X"?fj 20.5 表格中的常见参数 408
1%g%I8W% 20.6 迭代指令 408
K 0R<a~ 20.7 报表模版 408
rE)lt0mkv 20.8 开始设计一个报表模版 409
=f4>vo}@k 21 一个新的project 413
Fu].%`*xJ 21.1 创建一个新Job 414
>|IUjv2L 21.2 默认设计 415
Pv@Lx+k 21.3 薄膜设计 416
j#6@cO'` 21.4 误差的灵敏度计算 420
&?59{B.mD 21.5 显色指数计算 422
UDl[ 21.6 电场分布 424
,NB?_\$c 后记 426
iEjUo,
Y[ AUBZ7*VO 有兴趣可以扫码加微咨询
;hzm&My h'%iY6!fA