Z~Mq5#3F 内容简介
>Kd(.r[Er Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
UJ0Dy` f 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
$j~oB:3n7 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
7{vnhl(Z b=#3p 讯技科技股份有限公司
z"eh.&T 2015年9月3日
9u 'hCi( 目录
`R}D@ Preface 1
@'EP$!c 内容简介 2
J-W,^% 目录 i
.2xp.i{ 1 引言 1
GQ-owH] 2 光学薄膜基础 2
6g ,U+~ 2.1 一般规则 2
Z{ntF 2.2 正交入射规则 3
c-INVA) 2.3 斜入射规则 6
/WDz;,X 2.4 精确计算 7
C/P,W>8 2.5 相干性 8
x*#F|N4~', 2.6 参考文献 10
^"w.v' sL 3 Essential Macleod的快速预览 10
HY]vaA` 4 Essential Macleod的特点 32
Qa,^;hZWS 4.1 容量和局限性 33
Bx&.Tj 4.2 程序在哪里? 33
@"}dbW <DV 4.3 数据文件 35
xNNoB/DR 4.4 设计规则 35
f77uqv(Y 4.5 材料数据库和
资料库 37
-(n[^48K 4.5.1材料损失 38
Po[u6K2& 4.5.1材料数据库和导入材料 39
h(;qnV'c 4.5.2 材料库 41
b'$j* N 4.5.3导出材料数据 43
@= c{GAj 4.6 常用单位 43
Rk
PY@> 4.7 插值和外推法 46
blZiz2F 4.8 材料数据的平滑 50
bOCdf"!g 4.9 更多光学常数模型 54
I `44}oJ 4.10 文档的一般编辑规则 55
%iI0JF*Ez 4.11 撤销和重做 56
4\q7.X+^ 4.12 设计文档 57
%PG::b 4.10.1 公式 58
ZkYc9!anY 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
Vgs( feGs 4.10.3 沉积密度 59
z[Kxy1, 4.10.4 平行和楔形介质 60
]{OEU]I@ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
r^P}xGGK 4.10.4 性能 61
{6<7M 4.10.5 保存设计和性能 64
*seKph+'c 4.10.6 默认设计 64
+G&h 4.11 图表 64
b?o T|@ 4.11.1 合并曲线图 67
}>xgzhdT 4.11.2 自适应绘制 68
$ 8w
eh3p 4.11.3 动态绘图 68
oKTIoTb 4.11.4 3D绘图 69
w\Q3h`.
4.12 导入和导出 73
T\:3(+uK 4.12.1 剪贴板 73
3V`K^X3 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
9AJ!7J#v" 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
\%NhggS* 4.13 背景 77
w\;=3C` 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
0$,Ag;"^? 4.15 生成Rugate 84
$B4}('&4FQ 4.16 参考文献 91
@yaBtZUp3 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
!23W=N}82 5.1 Jobs 92
TE*$NxQ 2 5.2 创建一个新Job(工作) 93
@( 9#\%= 5.3 输入材料 94
p;j$i6YJ 5.4 设计数据文件夹 95
j:|60hDz^ 5.5 默认设计 95
2 <&- 6 细化和合成 97
W.\HfJ74 6.1 优化介绍 97
R*TCoEKO 6.2 细化 (Refinement) 98
Ii*v(`2b 6.3 合成 (Synthesis) 100
6!bA~"N 6.4 目标和评价函数 101
-p ) l63 6.4.1 目标输入 102
|.:O$/ Tt[ 6.4.2 目标 103
C3 0b}2 6.4.3 特殊的评价函数 104
-baGr;,Cu 6.5 层锁定和连接 104
c6s(f 6.6 细化技术 104
S:vv*5 6.6.1 单纯形 105
HtEjM|zj 6.6.1.1 单纯形
参数 106
N)
{ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
*^c4q|G.- 6.6.2.1 Optimac参数 108
qB]z"Hfq, 6.6.3 模拟退火算法 109
$Miii`VS9 6.6.3.1
模拟退火参数 109
2O9dU 5b 6.6.4 共轭梯度 111
X@9_ukdpu 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
yixW>W} 6.6.5 拟牛顿法 112
-5vc0"?E 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
5vbnO]8 6.6.6 针合成 113
K;6K!6J:[ 6.6.6.1 针合成参数 114
"MC&!AMv 6.6.7 差分进化 114
' QT(TF> 6.6.8非局部细化 115
qvYYKu 6.6.8.1非局部细化参数 115
M=o,Sav5* 6.7 我应该使用哪种技术? 116
9aZ3W<N`M 6.7.1 细化 116
92Ar0j] 6.7.2 合成 117
rxa"ji!) 6.8 参考文献 117
Cqg}dXn' 7 导纳图及其他工具 118
#A]7cMZ'W 7.1 简介 118
Kz3u 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
|,dMF2ADc 7.2.1 四分之一
波长规则 119
QJdSNkc6 7.2.2 导纳图 120
@aCg1Rm 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
{K3\S
0L 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
TWx<) 7.5 斜入射导纳图 141
Y[s 7.6 对称周期 141
?]9uHrdsN} 7.7 参考文献 142
5\=9&{WjND 8 典型的镀膜实例 143
i'e^[oZ 8.1 单层抗反射薄膜 145
d'[aOH4} 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
}%k"qW<Y 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
}lpcbm 8.4 W-膜层 148
~O1*] 8.5 V-膜层 149
#(aROTV5a 8.6 V-膜层高折射基底 150
3<mv9U( 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
"mPa>`? 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
sWavxh8A 8.9 四层抗反射薄膜 153
1v2wP2]|; 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
t_]UseP$RF 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
m\Tq0cT$ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
8!UZ.. 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
)&dhE^
O 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
mH{cGu? 8.15十五层宽带抗反射膜 159
(
?/0$DB 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
huKz["]z[ 8.17 1/4波长堆栈 162
Plq[Ml9
8.18 陷波滤波器 163
Z:/S@ry 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
W^=89I4] 8.20 褶皱 165
(ZEVbAY?i 8.21 消偏振分光器1 169
!zJ.rYZ=g` 8.22 消偏振分光器2 171
M;iaNL( 8.23 消偏振立体分光器 172
C>K/C!5? 8.24 消偏振截止滤光片 173
rXm!3E6JL 8.25 立体偏振分束器1 174
wd#AA#J;* 8.26 立方偏振分束器2 177
<}mT[;:" 8.27 相位延迟器 178
]oya<C6pR 8.28 红外截止器 179
jQ^Ib]"K 8.29 21层长波带通滤波器 180
<M&]*|q>g% 8.30 49层长波带通滤波器 181
(QRl
-| + 8.31 55层短波带通滤波器 182
.ERO*Tj 8.32 47 红外截止器 183
^U`q1Pg5 8.33 宽带通滤波器 184
=u'/\nxCF 8.34 诱导透射滤波器 186
GUp51*#XR 8.35 诱导透射滤波器2 188
&pba~X.u 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
S~TJF}[k^6 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
~o2{Wn[" 8.35 增益平坦滤波器 193
Aj`4uFhiL 8.38 啁啾反射镜 1 196
f:UN~z'yr 8.39 啁啾反射镜2 198
-{7N]q)} 8.40 啁啾反射镜3 199
hT]p8m
aRZ 8.41 带保护层的铝膜层 200
X_YD[ 8.42 增加铝反射率膜 201
CD tYj 8.43 参考文献 202
'PYl%2 9 多层膜 204
eoL)gIM% 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
8/F2V?iT 9.2 内部透过率 204
5Y&@
:Y 9.3 内部透射率数据 205
i,<-+L$z 9.4 实例 206
uf>w* [m5 9.5 实例2 210
=|#-Rm^YB 9.6 圆锥和带宽计算 212
<n:?WP~U 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
*AA1e}R{B 10 光学薄膜的颜色 216
tV,zz;* Oe 10.1 导言 216
+]e4c;`ko} 10.2 色彩 216
d{trO;%#f 10.3 主波长和纯度 220
mzw*6e2T 10.4 色相和纯度 221
""a8eB6 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
<'B^z0I, 10.6 色差 226
1k~jVC2VA 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
<|_Ey)1
6 10.8 颜色渲染指数 234
bc"N 10.9 色差计算 235
;8v5 qz 10.10 参考文献 236
2~4C5@SxL 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
oaK~:' 11.1 短脉冲 238
2X]\:<[4 11.2 群速度 239
Y5 opZG 11.3 群速度色散 241
lt4UNJ3w 11.4 啁啾(chirped) 245
5a~1RL 11.5 光学薄膜—相变 245
Xo5L:(?K 11.6 群延迟和延迟色散 246
w '"7~uN 11.7 色度色散 246
P}I*SV0 11.8 色散补偿 249
5jLDe~ 11.9 空间
光线偏移 256
?7+2i\L 11.10 参考文献 258
:Rn9rdX 12 公差与误差 260
QM]^@2rK2 12.1 蒙特卡罗模型 260
X , 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
Uoe?5Of(* 12.2.1 误差工具 267
Z4!3I@yZ 12.2.2 灵敏度工具 271
zW _'sC 12.2.2.1 独立灵敏度 271
AK!G#ug 12.2.2.2 灵敏度分布 275
pi{ahuI#_o 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
3IkG*enI 12.3 参考文献 276
L }mhMxOTi 13 Runsheet 与Simulator 277
40E[cGz$* 13.1 原理介绍 277
E$wB bm 13.2 截止滤光片设计 277
?xet:#R' 14 光学常数提取 289
>xjy
P!bca 14.1 介绍 289
lrzW H0Q 14.2 电介质薄膜 289
rij[ZrJ 14.3 n 和k 的提取工具 295
tFQFpbI 14.4 基底的参数提取 302
R[c_L= 14.5 金属的参数提取 306
S@#L!sT`u 14.6 不正确的模型 306
|(<L!6 14.7 参考文献 311
9wC; m : 15 反演工程 313
Xy{+=UY 15.1 随机性和
系统性 313
h]#)41y< 15.2 常见的系统性问题 314
P33E\O 15.3 单层膜 314
xlLS` 15.4 多层膜 314
_biJch 15.5 含义 319
AL0Rn e N 15.6 反演工程实例 319
Ml Z`g,{ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
&}cie"\L 15.6.2 反演工程提取折射率 327
gg(U}L
]: 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
Exr7vL 16.1 光学性质的热致偏移 329
dq(x@&J 16.2 应力工具 335
63HkN4D4 16.3 均匀性误差 339
L DsYr] 16.3.1 圆锥工具 339
:dzU]pk%0 16.3.2 波前问题 341
]`prDw' 16.4 参考文献 343
vF&b|V+, 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
q*OKA5 17.1 引言 345
5o/rV.I 17.2 操作数 345
Pa}vmn1$ 18 如何在Function中编写脚本 351
4_<Uk 18.1 简介 351
8##jd[o&p~ 18.2 什么是脚本? 351
+mQSlEo 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
Ub,unU 18.4 基础 352
lNb\^b 18.4.1 Classes(类别) 352
kR|y0V {K* 18.4.2 对象 352
d3GK.8y_z 18.4.3 信息(Messages) 352
lND[anB! 18.4.4 属性 352
+b+sQ<w?. 18.4.5 方法 353
Qx;A; n!lw 18.4.6 变量声明 353
jvQ"cs$. 18.5 创建对象 354
:!$z1u8R 18.5.1 创建对象函数 355
PS6`o 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
J~q+G 18.5.3 丢弃对象 356
919g5f` 18.5.4 总结 356
l'QR2r7&. 18.6 脚本中的表格 357
F6p1 VFs 18.6.1 方法1 357
<Z'hZ 18.6.2 方法2 357
OX4D' 18.7 2D Plots in Scripts 358
sFK<:ka 18.8 3D Plots in Scripts 359
Q8y|:tb$Y 18.9 注释 360
lWvd"Vlt 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
$4
Uy3C+6 18.11 一个更高级的脚本 362
s? k[_|)! 18.12 <esc>键 364
lIg2iun[n 18.13 包含文件 365
KU,w9<~i( 18.14 脚本被
优化调用 366
$x;h[,y
18.15 脚本中的对话框 368
Tm\[q 18.15.1 介绍 368
BA,6f?ktXS 18.15.2 消息框-MsgBox 368
4- _lf(#i 18.15.3 输入框函数 370
x[UO1% _o- 18.15.4 自定义对话框 371
VU9P\|c@< 18.15.5 对话框编辑器 371
s2~dmZ_B|_ 18.15.6 控制对话框 377
*K'ej4"u 18.15.7 更高级的对话框 380
Jr)`shJ" 18.16 Types语句 384
OL5HofgNm 18.17 打开文件 385
Aw;vg/#~md 18.18 Bags 387
`aL|qyrq# 18.13 进一步研究 388
gqRTv_ ; 19 vStack 389
D'cY7P 19.1 vStack基本原理 389
;
,jLtl 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
yPYJc 19.3 五棱镜 393
mndl~/ 19.4 光束距离 396
RJwIN,&1. 19.5 误差 399
od*Z$Hb>' 19.6 二向分色棱镜 399
yB%)D0 19.7 偏振泄漏 404
+wozjjc 19.8 波前误差—相位 405
JZ/O0PW 19.9 其它计算参数 405
[P=[hj; 20 报表生成器 406
S.|kg2 20.1 入门 406
8zDH<Gb 20.2 指令(Instructions) 406
BK9x`Oo 2 20.3 页面布局指令 406
o MkY#<Q} 20.4 常见的参数图和三维图 407
p''"E$B/( 20.5 表格中的常见参数 408
1D p@n 20.6 迭代指令 408
y*h1W4:^- 20.7 报表模版 408
l/zC##1+. 20.8 开始设计一个报表模版 409
~49N 21 一个新的project 413
C_cs(}wi 21.1 创建一个新Job 414
V}fKV6 v9 21.2 默认设计 415
=4<S8Cp 21.3 薄膜设计 416
r/hyW6e_ 21.4 误差的灵敏度计算 420
&v5.;8u+OV 21.5 显色指数计算 422
"%''k~UD4 21.6 电场分布 424
<W59mweW#5 后记 426
e ]o'i;I |( 9#vt# 有兴趣可以扫码加微咨询
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