KjFK/Og. 内容简介
?;wpd';c Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
DNR~_3Aq 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
1VF
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
5aBAr ed!:/+3e/ 讯技科技股份有限公司
T;diNfgg 2015年9月3日
m6MOW& 目录
RP2_l$ Preface 1
4EXB;[] 内容简介 2
;>%~9j1C 目录 i
Fhv2V,nZ< 1 引言 1
a8dXH5_ 2 光学薄膜基础 2
{ F'Kk\f%: 2.1 一般规则 2
zOHypazOTq 2.2 正交入射规则 3
`/"nTB 2.3 斜入射规则 6
l{:a1^[>y 2.4 精确计算 7
cO\- 2.5 相干性 8
y8s!M 2.6 参考文献 10
dLvJh#`o 3 Essential Macleod的快速预览 10
@)>D))+ 4 Essential Macleod的特点 32
f`8OM}un& 4.1 容量和局限性 33
F(
Ak 4.2 程序在哪里? 33
j} F-Xs+ 4.3 数据文件 35
ewuXpv%vwW 4.4 设计规则 35
K7e4_ZGI 4.5 材料数据库和
资料库 37
`^(jm 4.5.1材料损失 38
Q \]Xm> 4.5.1材料数据库和导入材料 39
?
b[n|^wS 4.5.2 材料库 41
\dlph 4.5.3导出材料数据 43
;' nL:\ 4.6 常用单位 43
vBvNu<v7te 4.7 插值和外推法 46
~gI{\iNF/ 4.8 材料数据的平滑 50
Kzb`$CGK 4.9 更多光学常数模型 54
Sf/q2/r?6[ 4.10 文档的一般编辑规则 55
1z*kc)=JF8 4.11 撤销和重做 56
HPQ/~0$ 4.12 设计文档 57
kvGCbRC 4.10.1 公式 58
:Pq.,s 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
Fl{WAg 4.10.3 沉积密度 59
LF?P>
1%- 4.10.4 平行和楔形介质 60
mPPk)qy 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
IN7<@OS7 4.10.4 性能 61
T;\^#1 4.10.5 保存设计和性能 64
S'U@X 4.10.6 默认设计 64
m7=1%6FN3 4.11 图表 64
NQ|xM"MqD 4.11.1 合并曲线图 67
r7]"?# 4.11.2 自适应绘制 68
02JoA+ 4.11.3 动态绘图 68
t` 8!AhOgc 4.11.4 3D绘图 69
W3&tJ8*3 4.12 导入和导出 73
-$<O\5cAQ 4.12.1 剪贴板 73
(QB+%2v 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
7OVbP%n)d2 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
G{x[uE2X&f 4.13 背景 77
~%#mK:+ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
,WWj-X|+= 4.15 生成Rugate 84
h:/1X'
3d 4.16 参考文献 91
/^#G0f*N 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
p|XAlia 5.1 Jobs 92
MS<SAD>w 5.2 创建一个新Job(工作) 93
O'NW
Ebl/ 5.3 输入材料 94
R^MiP|?ZH 5.4 设计数据文件夹 95
E1Q0k5@ 5.5 默认设计 95
~S; Z\ 6 细化和合成 97
*~z#.63oZ 6.1 优化介绍 97
#\4 b:dv 6.2 细化 (Refinement) 98
jU=<r 6.3 合成 (Synthesis) 100
wH"kk4^ 6.4 目标和评价函数 101
},+~F8B 6.4.1 目标输入 102
F6S~$< 6.4.2 目标 103
49 }{R/: 6.4.3 特殊的评价函数 104
Vf-5&S&9 6.5 层锁定和连接 104
0O2n/`' 6.6 细化技术 104
znZ7*S >6\ 6.6.1 单纯形 105
$T }Tz7( 6.6.1.1 单纯形
参数 106
MZ#T^Y 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
O.k\]' 6.6.2.1 Optimac参数 108
^m7~:=K7WG 6.6.3 模拟退火算法 109
6ri#Lw 6.6.3.1
模拟退火参数 109
h3Fo-]0 6.6.4 共轭梯度 111
TYjA:d9YH 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
ErbSl 6.6.5 拟牛顿法 112
_$/
+D:K 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
noA-) 6.6.6 针合成 113
_MYx%Z 6.6.6.1 针合成参数 114
_zC (J 6.6.7 差分进化 114
s&*yk p 6.6.8非局部细化 115
~%y\@x7I 6.6.8.1非局部细化参数 115
5)+F( 6.7 我应该使用哪种技术? 116
kI*Uk M- 6.7.1 细化 116
[@{0o+.]'H 6.7.2 合成 117
VRS 2cc 6.8 参考文献 117
#Ws53mT 7 导纳图及其他工具 118
}++5_Z_ 7.1 简介 118
[{F%LRCo- 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
6Dm+'y]l 7.2.1 四分之一
波长规则 119
<fM>Yi5 7.2.2 导纳图 120
Iao[Pyk 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
/jrY%C 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
3-Y=EH_0 7.5 斜入射导纳图 141
dl[ob,aCK 7.6 对称周期 141
w@N{@tG 7.7 参考文献 142
o+)A'S 8 典型的镀膜实例 143
sQk|I x 8.1 单层抗反射薄膜 145
e)pTC97^L 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
Uu2N9.5 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
k@qWig 8.4 W-膜层 148
l]vohLz
3! 8.5 V-膜层 149
%yw=[]Vjze 8.6 V-膜层高折射基底 150
;?im(9h"v! 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
rycJyiw<- 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
_Y
YP4lEL 8.9 四层抗反射薄膜 153
U6i~A9; 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
Pc4R!Tc 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
nGZ\<- 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
=49o U 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
\|{*arS 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
>Pkdu}xP3 8.15十五层宽带抗反射膜 159
a"qR J-@ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
T <A 8.17 1/4波长堆栈 162
YeIe\3x!N 8.18 陷波滤波器 163
lV7IHX1P 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
`!kL1oUYE 8.20 褶皱 165
_[$#
b]V 8.21 消偏振分光器1 169
j7sU0"7^ 8.22 消偏振分光器2 171
Hs<n^fyf 8.23 消偏振立体分光器 172
;qVG
\wQq 8.24 消偏振截止滤光片 173
_SF!T6A 8.25 立体偏振分束器1 174
DB Xm 8.26 立方偏振分束器2 177
||gEs/6- 8.27 相位延迟器 178
1,u{&%yL"w 8.28 红外截止器 179
x[}06k' 8.29 21层长波带通滤波器 180
(1y='L2rj 8.30 49层长波带通滤波器 181
W8uVd zQ 8.31 55层短波带通滤波器 182
%Ht^yemQ 8.32 47 红外截止器 183
T+BIy|O 8.33 宽带通滤波器 184
)v-Cj_W5]" 8.34 诱导透射滤波器 186
j/`Up 8.35 诱导透射滤波器2 188
[#zE.
TW 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
T:)% P6/ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
~GYpat 8.35 增益平坦滤波器 193
6 <r2*` 8.38 啁啾反射镜 1 196
.r6YrB@[' 8.39 啁啾反射镜2 198
t!l/` e%J 8.40 啁啾反射镜3 199
.='3bQ(UZ4 8.41 带保护层的铝膜层 200
g(aNyn 8.42 增加铝反射率膜 201
2:/u2K 8.43 参考文献 202
8 +L7E- 9 多层膜 204
J{^n=X9M0J 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
B^Bbso'{1 9.2 内部透过率 204
X#Ak'%J 9.3 内部透射率数据 205
-Cml0}.O 9.4 实例 206
){jqfkL 9.5 实例2 210
J,`_,T 9.6 圆锥和带宽计算 212
w2KWa-BO 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
WkcH5[ 10 光学薄膜的颜色 216
Flne=ij6g 10.1 导言 216
->Q`'@'|P 10.2 色彩 216
U!.~XT= 10.3 主波长和纯度 220
5@CpP-W# 10.4 色相和纯度 221
sOjF?bCdO 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
GW:\l~ d 10.6 色差 226
@>gD1Q7v b 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
,?t}NZY& 10.8 颜色渲染指数 234
{4o\S 10.9 色差计算 235
dqL-' 10.10 参考文献 236
mC%%)F'Zf 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
lJ("6aT? 11.1 短脉冲 238
f>?^uSpWH 11.2 群速度 239
giQ{Xrj 11.3 群速度色散 241
}=xI3;7 11.4 啁啾(chirped) 245
QId"Cl)3 11.5 光学薄膜—相变 245
@-}D7? 11.6 群延迟和延迟色散 246
!k%l+I3J[ 11.7 色度色散 246
9PUa?Bc`= 11.8 色散补偿 249
n=;';(wR[ 11.9 空间
光线偏移 256
Ny]'RS- 11.10 参考文献 258
5>N6VeM 12 公差与误差 260
0I(uddG3 12.1 蒙特卡罗模型 260
_+}-H'7= 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
L,yA<yrC 12.2.1 误差工具 267
mL8A2>Gig 12.2.2 灵敏度工具 271
#?L(#a$k 12.2.2.1 独立灵敏度 271
C,9)V5!tP2 12.2.2.2 灵敏度分布 275
:~WPY9i` 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
D$Kz9GVZq 12.3 参考文献 276
u'#`yTB6b 13 Runsheet 与Simulator 277
**Qe`}E: 13.1 原理介绍 277
xI-=tib 13.2 截止滤光片设计 277
DN4fP-m- 14 光学常数提取 289
=W;t@"6>2 14.1 介绍 289
k,
$I59 14.2 电介质薄膜 289
v; je <DT 14.3 n 和k 的提取工具 295
L`<T'3G 14.4 基底的参数提取 302
*(@L+D0N 14.5 金属的参数提取 306
}R7sj 14.6 不正确的模型 306
HGU?bJ~6o 14.7 参考文献 311
dM$N1DB{U+ 15 反演工程 313
h9tB''ePE 15.1 随机性和
系统性 313
"$`wk 15.2 常见的系统性问题 314
g5lmUKlQ$0 15.3 单层膜 314
?ZSXoy-kr 15.4 多层膜 314
[K"U_b}w 15.5 含义 319
bd@*vu}?} 15.6 反演工程实例 319
Xtu: 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
HA$^ *qn 15.6.2 反演工程提取折射率 327
V%X:1 8j 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
(#fm (@T 16.1 光学性质的热致偏移 329
o(B<!ji~' 16.2 应力工具 335
;zfQ3$@9 16.3 均匀性误差 339
>reaIBT 16.3.1 圆锥工具 339
0A)
Vtj$ 16.3.2 波前问题 341
gaLEhf^ 16.4 参考文献 343
c9Y2eetO 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
^yEj]]6 17.1 引言 345
\;3B?8wbIl 17.2 操作数 345
o<C]+Nt,@ 18 如何在Function中编写脚本 351
[4K9|/J 18.1 简介 351
x>1iIpBv^ 18.2 什么是脚本? 351
.}L-c>o"o 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
2b6? 9FX* 18.4 基础 352
\Owful 18.4.1 Classes(类别) 352
C8bGae( 18.4.2 对象 352
r`&2-] 18.4.3 信息(Messages) 352
kg/+vJ 18.4.4 属性 352
v!pj v% 18.4.5 方法 353
RTg Q#<W8 18.4.6 变量声明 353
wW6mYgPN% 18.5 创建对象 354
dy2_@/T7 18.5.1 创建对象函数 355
O<eWq] 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
FqT,4SIR 18.5.3 丢弃对象 356
l0:e=q2Ax 18.5.4 总结 356
0Y38T)k 18.6 脚本中的表格 357
:{TmR3. 18.6.1 方法1 357
';;p8bv+ 18.6.2 方法2 357
i-:8TfI, 18.7 2D Plots in Scripts 358
L&!g33J&
18.8 3D Plots in Scripts 359
v -|P_O&z