时间地点主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 苏州黉论教育咨询有限公司 +?5nkhH
授课时间: 2023年10月25日(三)-27日(五)共3天 AM 9:00-PM 16:00 B<SuNbR
授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 ycg5S rg
课程讲师:讯技光电高级工程师&资深顾问 G1K5J`"*
课程费用:4800RMB/人(课程包含课程材料费、开票税金)
特邀专家介绍
%a{$M{s
lEL&tZ} 易葵:中国科学院上海光机所正高级工程师,研究生导师,主要从事
光学薄膜设计、制备工艺和测试相关方面的研究工作,尤其是在高功率
激光薄膜、空间激光薄膜、X射线多层膜、真空镀膜技术与薄膜制备工艺研究等方面有较为深入的研究。
C:\BvPoO 获得国家技术发明奖二等奖、上海市技术发明奖一等奖、上海市科技进步二等奖、军队科技进步二等奖等奖项,入选2014年度中科院“现有关键技术人才”。课程概要
(]n^_G#-$ 随着现代科技的飞速发展,光学薄膜的应用越来越广泛。光学薄膜的发展极大地促进了现代光学仪器性能的提高,其种类非常广泛,如增透膜,高反膜,分光膜,滤光片等,光学薄膜器件如今已经广泛应用到光通信技术、光伏产业技术、激光技术、光刻技术、航空航天技术等诸多领域。
_5uzu6:y 本次课程第一天主要为国际知名的光学薄膜分析软件Essential Macleod的使用,第二天为各种类型的光学薄膜的设计模拟方法,前两天主讲人为讯技光电高级工程师,第三天特别邀请上海光学精密机械研究所专家易葵,分享光学薄膜制备工艺、激光薄膜关键技术以及光学薄膜的测量方法等相关内容。课程大纲
M.O3QKU4 1. Essential Macleod软件介绍
_w/w~;7 1.1 介绍
软件 -&I)3 1.2 创建一个简单的设计
494"-F 6 1.3 绘图和制表来表示性能
I,OEor6%R( 1.4 通过剪贴板和文件导入导出数据
9YS &RBJu 1.5 可用的材料模型(Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann)
:@a8>i1& 1.6 特定设计的公式技术
6}ct{Q 1.7 交互式绘图
n dgG1v% 2. 光学薄膜理论基础
:8cp]vdW 2.1 垂直入射时的界面和薄膜特性计算
S
'S|k7Lp 2.2 后表面对光学薄膜特性的影响
Squ'd 3. 材料管理
Q%o:*(x[O 3.1 材料模型
oswS<t{Z 3.2 介质薄膜光学常数的提取
~1jSz-s 3.3 金属薄膜光学常数的提取
.Xnw@\k' 3.4 基板光学常数的提取
DUUQz:?{J 4. 光学薄膜设计
优化方法
M@ILB-H 4.1 参考
波长与g
Q>]FO 4.2 四分之一规则
_yw]Cacr\ 4.3 导纳与导纳图
l ?RsXC 4.4 斜入射光学导纳
dr#g[}l'H 4.5 光学薄膜设计的进展
Z+!._uA 4.6 Macleod软件的设计与优化功能
\yP\@cpY{ 4.6.1 优化目标设置
wiKUs0| 4.6.2 优化方法(单一优化,合成优化,模拟退火法,共轭梯度法,准牛顿法,针形优化,差分演化法)
s{\USD6 4.6.3 膜层锁定和链接
>_bH,/D' 5. Essential Macleod中各个模块的应用
XC"]/y 5.1 非平行平面镀膜-棱镜镀膜透反吞吐量评估
MA1.I4dm 5.2 光通信用窄带滤光片模拟
[(Ss^?AJW 5.3 光控机器设置显示镀膜过程中预期的监测信号
#\U;,r 5.4 镀膜沉积过程噪声信号模拟
p2s*'dab7 5.5 如何在Function中编写脚本
{,61V;Bpm 6. 光学薄膜系统案例
'au7rX( 6.1 常规光学薄膜案例-高反、增透、滤光片等
rvrv[^a( 6.2 仿生蛾眼/复眼结构等
1;Bgt v$ 6.3 Stack应用范例说明
</~!5x62Oy 7. 薄膜性能分析
8L]em&871 7.1 电场分布
32j@6! 7.2 公差与灵敏度分析
w ryjs! 7.3 反演工程
Q'xZ\t 7.4 均匀性,掺杂/孔隙材料仿真
S?TyC";! 8. 真空技术
=g)|g+[H 8.1 常用真空泵介绍
|t](4 8.2 真空密封和检漏
g*t(%;_m 9. 薄膜制备技术
zSt6q 9.1 常见薄膜制备技术
$*a'[Qot# 10. 薄膜制备工艺
+72[*_ < 10.1 薄膜制备工艺因素
Z<+Ipj& 10.2 薄膜均匀性修正技术
Hq=5/N 10.3 光学薄膜监控技术
2w6y 11. 激光薄膜
hn]><kaA 11.1 薄膜的损伤问题
nHiE$Y 11.2 激光薄膜的制备流程
=To}yJ# 11.3 激光薄膜的制备技术
,FWC|uM" 12. 光学薄膜特性测量
{oQ.y 12.1 薄膜
光谱测量
7&-i
:2 12.2 薄膜光学常数测量
RE~:+.eB 12.3 薄膜应力测量
Reci:T(_ 12.4 薄膜损伤测量
mhTi{t_fHM 12.5 薄膜形貌、结构与组分分析
6%'bo`S#
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书籍——《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
P")duv
内容简介
1Q-O&\-xg Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。
l!UF`C0g 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
%C}TdG(C 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
3!]S8Y*LQP 24;F~y8H 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
0Bbno9Yp w#ha ^4 目录
9cV;W \ Tw Preface 1
lI#Ap2@ 内容简介 2
xB.h#x>_` 目录 i
gr]:u4} 1 引言 1
^B)iBfZ 2 光学薄膜基础 2
+"8AmN4 2.1 一般规则 2
y"5>O|` 2.2 正交入射规则 3
q0* e1QL 2.3 斜入射规则 6
~{-zj 2.4 精确计算 7
H<6TN^ 2.5 相干性 8
.v<Q-P\8/ 2.6 参考文献 10
~ti{na4W< 3 Essential Macleod的快速预览 10
``
!BE"yN 4 Essential Macleod的特点 32
Ih_2")d 4.1 容量和局限性 33
NFDh!HUm 4.2 程序在哪里? 33
;fg8,(SM^ 4.3 数据文件 35
A^\A^$|O6 4.4 设计规则 35
PDwi] )6mf 4.5 材料数据库和
资料库 37
5!GL" 4.5.1材料损失 38
urM=l5Sx 4.5.1材料数据库和导入材料 39
7-p9IFcA 4.5.2 材料库 41
O+ ].' 4.5.3导出材料数据 43
d5aG6/ 4.6 常用单位 43
_wvSLu <q 4.7 插值和外推法 46
i6)7)^nG 4.8 材料数据的平滑 50
POZ5W)F( 4.9 更多光学常数模型 54
RZKdh}B?\ 4.10 文档的一般编辑规则 55
V(/ @$& 4.11 撤销和重做 56
,_ zivUU 4.12 设计文档 57
|ATz<"q> 4.10.1 公式 58
}ZPO^4H;- 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
'!$g<= @ 4.10.3 沉积密度 59
@(k}q3b< 4.10.4 平行和楔形介质 60
"YW&,X5R 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
q#}#A@Rg 4.10.4 性能 61
wOfx7D 4.10.5 保存设计和性能 64
}F v:g! 4.10.6 默认设计 64
EMe3Xb
` 4.11 图表 64
=1/d>kke 4.11.1 合并曲线图 67
):LgZ4h 4.11.2 自适应绘制 68
\U(;%V 4.11.3 动态绘图 68
OHEl.p]| 4.11.4 3D绘图 69
x:Mh&dq? 4.12 导入和导出 73
1=R6||8ws 4.12.1 剪贴板 73
rt5FecX\ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
$ NNd4d* 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
cM'\u~m{ 4.13 背景 77
b#h}g>l 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
zk#NM"C+ 4.15 生成Rugate 84
% 3"xn!'vf 4.16 参考文献 91
wNNInS6 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
YU*u! 5.1 Jobs 92
G&eRhif 5.2 创建一个新Job(工作) 93
gL)l)}# 5.3 输入材料 94
j<BW/ 5.4 设计数据文件夹 95
)qyJwN
.D 5.5 默认设计 95
tWT,U[ 6 细化和合成 97
G=1&:nW' 6.1 优化介绍 97
nTG @=C# 6.2 细化 (Refinement) 98
>
T$M0&< 6.3 合成 (Synthesis) 100
E ISgc {s 6.4 目标和评价函数 101
>#9f{ 6.4.1 目标输入 102
FR bmeq3c 6.4.2 目标 103
#pe#(xoI 6.4.3 特殊的评价函数 104
$oPx2sb 6.5 层锁定和连接 104
+-s$Htx 6.6 细化技术 104
.dbZ;`s 6.6.1 单纯形 105
c >8IM 6.6.1.1 单纯形
参数 106
6\9
Zc-% 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
zCpsGr 6.6.2.1 Optimac参数 108
s *8)|N 6.6.3 模拟退火算法 109
"UNWbsn6Qr 6.6.3.1 模拟退火参数 109
<`PW4zSI 6.6.4 共轭梯度 111
u!]g^r 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
eNQQ`ll@m 6.6.5 拟牛顿法 112
~!t# M2Sk 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
E4CyW 6.6.6 针合成 113
)U2cS\k'7n 6.6.6.1 针合成参数 114
\/wbk`2 6.6.7 差分进化 114
6k4ZzQ} 6.6.8非局部细化 115
J*!_kg)>J 6.6.8.1非局部细化参数 115
uPbGQ :%} 6.7 我应该使用哪种技术? 116
d ynq)lf 6.7.1 细化 116
`rWT^E@p5m 6.7.2 合成 117
iJ-z&=dOe 6.8 参考文献 117
t9U-c5bR 7 导纳图及其他工具 118
k}0Y&cT!rU 7.1 简介 118
006qj. 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
=x &"aF1 7.2.1 四分之一波长规则 119
iNlY\67sW 7.2.2 导纳图 120
=%i~HDiy 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
(yr<B_Y'MY 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
\dx$G?R 7.5 斜入射导纳图 141
dE_d.[! 7.6 对称周期 141
aSGZF w 7.7 参考文献 142
:l;SG=scx 8 典型的镀膜实例 143
#;+ABV 8.1 单层抗反射薄膜 145
;Xr|['\' 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
@5=2+ M 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
9%^IMUWA 8.4 W-膜层 148
[& d"Z2gK 8.5 V-膜层 149
q{c/TRp7 8.6 V-膜层高折射基底 150
j#f7-nHyz8 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
u)hr 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
mw!EDJ;' 8.9 四层抗反射薄膜 153
rL KwuZ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
a,/wqX 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
jYxmU8 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
"0V8i%a 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
^e~m`R2fHh 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
*"HA=-Z; 8.15十五层宽带抗反射膜 159
[_X.Equ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
9w:F_gr 8.17 1/4波长堆栈 162
#}lq2!f6 8.18 陷波滤波器 163
o4U[;.?c 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
yGs:3KI 8.20 褶皱 165
{0~xv@ U 8.21 消偏振分光器1 169
Cqra\ 8.22 消偏振分光器2 171
\'>8 (i~ 8.23 消偏振立体分光器 172
(c\i .z 8.24 消偏振截止滤光片 173
wBJP8wES= 8.25 立体偏振分束器1 174
U4.-{. 8.26 立方偏振分束器2 177
d%(4s~y 8.27 相位延迟器 178
!iHJ! 8.28 红外截止器 179
;,2;J3,pA 8.29 21层长波带通滤波器 180
0]u=GD% 8.30 49层长波带通滤波器 181
U#mrbW 8.31 55层短波带通滤波器 182
g.:b\JE ` 8.32 47 红外截止器 183
ssUm1F\ 8.33 宽带通滤波器 184
vw'BKi
F 8.34 诱导透射滤波器 186
r.vezsH 8.35 诱导透射滤波器2 188
FWb`F& 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
5;:964Et 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
'VQ
mK# 8.35 增益平坦滤波器 193
SmMJ%lgA6 8.38 啁啾反射镜 1 196
=
a54 8.39 啁啾反射镜2 198
hlO,mU 8.40 啁啾反射镜3 199
>&-"
X# : 8.41 带保护层的铝膜层 200
mW 4{* 8.42 增加铝反射率膜 201
R]xXG0 8.43 参考文献 202
{sR|W:fS$ 9 多层膜 204
x#hGJT 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
An2Wj 9.2 内部透过率 204
0XLoGQ= 9.3 内部透射率数据 205
)2Dm{T 9.4 实例 206
{{+woL'C 9.5 实例2 210
T/YvCbo 9.6 圆锥和带宽计算 212
E!6 Nf[ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
K."h}f95 10 光学薄膜的颜色 216
'"4S3Fysm 10.1 导言 216
-6yFE- X/ 10.2 色彩 216
8EC$p} S 10.3 主波长和纯度 220
<ZwmXD.VD 10.4 色相和纯度 221
4/+P7.}ea- 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
--'!5)U 10.6 色差 226
T!3_Q/~^r 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
hL(zVkYI 10.8 颜色渲染指数 234
1cvH 10.9 色差计算 235
Xt%>XP 10.10 参考文献 236
slRD / 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
0%OV3` 11.1 短脉冲 238
C0#"U f 11.2 群速度 239
j{ :>"6 11.3 群速度色散 241
5.o{A#/NTl 11.4 啁啾(chirped) 245
"i1r9TLc 11.5 光学薄膜—相变 245
0<4Swj3s7 11.6 群延迟和延迟色散 246
SBog7An9SI 11.7 色度色散 246
|.;LI=CT 11.8 色散补偿 249
2[e^mm&. 11.9 空间
光线偏移 256
k,M%"FLQ 11.10 参考文献 258
lRr ={
>s 12 公差与误差 260
"U6:z M 12.1 蒙特卡罗模型 260
U%zZw) 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
`a:L%Ex 12.2.1 误差工具 267
D8r=Vf 12.2.2 灵敏度工具 271
B 4my 12.2.2.1 独立灵敏度 271
u''~nSR3& 12.2.2.2 灵敏度分布 275
HLp9_Y{X. 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
48t_?2> 12.3 参考文献 276
\UR/tlw+/ 13 Runsheet 与Simulator 277
D$$,T.'u 13.1 原理介绍 277
Q?7:XbN 13.2 截止滤光片设计 277
.V'=z| 14 光学常数提取 289
iTpU4Qsj 14.1 介绍 289
f6O5k8n 14.2 电介质薄膜 289
_=d
X01 14.3 n 和k 的提取工具 295
1~_&XNb& 14.4 基底的参数提取 302
M>kk"tyM 14.5 金属的参数提取 306
Rb=8(# 14.6 不正确的模型 306
#'2CST 14.7 参考文献 311
vi-mn)L6# 15 反演工程 313
=3=
$F% 15.1 随机性和系统性 313
>Vl8ZQ8 15.2 常见的系统性问题 314
@b,&b6V 15.3 单层膜 314
{;[W'Lc 15.4 多层膜 314
2ij/! 15.5 含义 319
wg0hm#X 15.6 反演工程实例 319
e|&}{JP{[ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
WUesTA> 15.6.2 反演工程提取折射率 327
L^Q q[> 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
5J 0Sc 16.1 光学性质的热致偏移 329
ZUiInO 16.2 应力工具 335
2B<0|EGtzw 16.3 均匀性误差 339
3Hg}G#]WS 16.3.1 圆锥工具 339
xO nW~Z 16.3.2 波前问题 341
irRe} 16.4 参考文献 343
MV.$Ay 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
Z/hk)GI 17.1 引言 345
LsGu-Y5^ 17.2 操作数 345
erQ0fW 18 如何在Function中编写脚本 351
( 8}'JvSu 18.1 简介 351
3Q-[)Z ) 18.2 什么是脚本? 351
&GetRDr 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
A0hfy|1#L 18.4 基础 352
FA#?+kd 18.4.1 Classes(类别) 352
jh|4Y( 18.4.2 对象 352
rDvz2p"R 18.4.3 信息(Messages) 352
(K>=!&tlp= 18.4.4 属性 352
m?$peRn3{ 18.4.5 方法 353
)rP)-op|A 18.4.6 变量声明 353
Pa}B0XBWP 18.5 创建对象 354
^%<t^sE 18.5.1 创建对象函数 355
AT6:&5_` 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
G>q16nS~KP 18.5.3 丢弃对象 356
m=7Z8@sX}, 18.5.4 总结 356
O{F)|<L(G 18.6 脚本中的表格 357
NcVsQV 18.6.1 方法1 357
"BAH=ul5E 18.6.2 方法2 357
".=LzjE<gv 18.7 2D Plots in Scripts 358
'z}Hg
* 18.8 3D Plots in Scripts 359
[=xJh?*P 18.9 注释 360
ju= +!nGUa 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
zJJ6"9sl 18.11 一个更高级的脚本 362
{g7[3WRy 18.12 <esc>键 364
W18I"lHeh 18.13 包含文件 365
H^e0fm
18.14 脚本被优化调用 366
$^1L|KgXp 18.15 脚本中的对话框 368
.{@aQwN 18.15.1 介绍 368
W6>SYa 18.15.2 消息框-MsgBox 368
*xl930y 18.15.3 输入框函数 370
`Rc7*2I)l 18.15.4 自定义对话框 371
;N FTdP 18.15.5 对话框编辑器 371
Wveba)"$ 18.15.6 控制对话框 377
/KWR08ftp 18.15.7 更高级的对话框 380
ctzaqsr 18.16 Types语句 384
.PhH|jrCW^ 18.17 打开文件 385
Lk-%I? 18.18 Bags 387
A,2dK}\> 18.13 进一步研究 388
u
VZouw# 19 vStack 389
O73 /2=1V 19.1 vStack基本原理 389
/0J1_g 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
l6C^,xU~IX 19.3 五棱镜 393
-q-/0d<l 19.4 光束距离 396
}uTe(Rf 19.5 误差 399
<%2A,
Vz" 19.6 二向分色棱镜 399
JvZNr?_w% 19.7 偏振泄漏 404
bBFdr 19.8 波前误差—相位 405
:gNTQZR 19.9 其它计算参数 405
4&+;n[ D 20 报表生成器 406
aB(6yBBoxj 20.1 入门 406
K^_Mt!% 20.2 指令(Instructions) 406
DjX*2O 20.3 页面布局指令 406
^.d97rSm 20.4 常见的参数图和三维图 407
d/57;6I_ 20.5 表格中的常见参数 408
0uf'6<f R 20.6 迭代指令 408
$:bU< 20.7 报表模版 408
g`skmHS89 20.8 开始设计一个报表模版 409
V0Z\e
_I 21 一个新的project 413
j3W)5ZX 21.1 创建一个新Job 414
&$vW 21.2 默认设计 415
<u"h'e/oW_ 21.3 薄膜设计 416
pzMli^ 21.4 误差的灵敏度计算 420
B`/cKfg 21.5 显色指数计算 422
+P&;cCV`S3 21.6 电场分布 424
#\[((y:q 后记 426
3']yjj(gHr !U@?Va~Zn l9J ]<gG 书籍名称:《Essential Macleod中文手册》
|Ki\Q3O1 k]n=7vw; 《Essential Macleod中文手册》
4gTD HQP r`Qzn" H 目 录
@CSTp6{y ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析
COx<X\ 第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3
kW#{[,7r 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17
0#}@-e 第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44
zk[%YG& 第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100
}<EA)se" 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111
0.^9)v*i 第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120
n%Vt r 第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167
?w}E/(r 第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200
Fn8d;%C 第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213
'~^3 =[Z 第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251
w/KCuW< 第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284
8q6b3q:c 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297
~$0Qvyb> 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307
ys5b34JN 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312
K#=)]qIk 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316
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