[培训]上海｜薄膜设计与镀膜工艺 2023年10月25（三）-27日（五） [复制链接]

特邀专家介绍 9 <KtI7  
~}5Ml_J$,l  
易葵：中国科学院上海光机所正高级工程师，研究生导师，主要从事光学薄膜设计、制备工艺和测试相关方面的研究工作，尤其是在高功率激光薄膜、空间激光薄膜、X射线多层膜、真空镀膜技术与薄膜制备工艺研究等方面有较为深入的研究。 .UrYF 0  
获得国家技术发明奖二等奖、上海市技术发明奖一等奖、上海市科技进步二等奖、军队科技进步二等奖等奖项，入选2014年度中科院“现有关键技术人才”。课程概要 A(n=k
x  
随着现代科技的飞速发展，光学薄膜的应用越来越广泛。光学薄膜的发展极大地促进了现代光学仪器性能的提高，其种类非常广泛，如增透膜，高反膜，分光膜，滤光片等，光学薄膜器件如今已经广泛应用到光通信技术、光伏产业技术、激光技术、光刻技术、航空航天技术等诸多领域。 {}pqxouE  
本次课程第一天主要为国际知名的光学薄膜分析软件Essential Macleod的使用，第二天为各种类型的光学薄膜的设计模拟方法，前两天主讲人为讯技光电高级工程师，第三天特别邀请上海光学精密机械研究所专家易葵，分享光学薄膜制备工艺、激光薄膜关键技术以及光学薄膜的测量方法等相关内容。课程大纲 %]ay
W$4  
1. Essential Macleod软件介绍 |mk}@OEf  
1.1 介绍软件 ,8IAhQa  
1.2 创建一个简单的设计 8sIrG  
1.3 绘图和制表来表示性能 kP)o=\|W{z  
1.4 通过剪贴板和文件导入导出数据 v\Y}(fD  
1.5 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） 5FSv"=  
1.6 特定设计的公式技术 gOyY#]g  
1.7 交互式绘图 b.4Xn0-M  
2. 光学薄膜理论基础 _g 4/%  
2.1 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 <} yp  
2.2 后表面对光学薄膜特性的影响  xD  
3. 材料管理 I/Jp,~JT*  
3.1 材料模型 &ZE\@V
c  
3.2 介质薄膜光学常数的提取 EyPJvs  
3.3 金属薄膜光学常数的提取 c,q"}nE8w  
3.4 基板光学常数的提取 %%~}Lw  
4. 光学薄膜设计优化方法 _?s %MNaX  
4.1 参考波长与g p%"yBpSK  
4.2 四分之一规则 DA
nb.0  
4.3 导纳与导纳图 |.C    
4.4 斜入射光学导纳 )@qup _M@  
4.5 光学薄膜设计的进展 }{8Fo4/  
4.6 Macleod软件的设计与优化功能 #\;>8  
4.6.1 优化目标设置 5)yOw|Bd  
4.6.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化，差分演化法） lB!vF ~A&  
4.6.3 膜层锁定和链接 90T%T2K  
5. Essential Macleod中各个模块的应用 FxfL+}?Q  
5.1 非平行平面镀膜-棱镜镀膜透反吞吐量评估 KO|pJ3  
5.2 光通信用窄带滤光片模拟 HRV*x!|I  
5.3 光控机器设置显示镀膜过程中预期的监测信号 umjhG6  
5.4 镀膜沉积过程噪声信号模拟 :B=8_M  
5.5 如何在Function中编写脚本 wm=RD98  
6. 光学薄膜系统案例 ns#~}2"d  
6.1 常规光学薄膜案例-高反、增透、滤光片等 gKN}Of@^1  
6.2 仿生蛾眼/复眼结构等 Mi}I0yhVm  
6.3 Stack应用范例说明 ole|J  
7. 薄膜性能分析 <'[Ku;m  
7.1 电场分布 *J_iXu|  
7.2 公差与灵敏度分析 -~][0PVL9  
7.3 反演工程 *AH^%!
kVP  
7.4 均匀性，掺杂/孔隙材料仿真 ZCQ<%f  
8. 真空技术 "#twY|wW  
8.1 常用真空泵介绍 <jUrE[x  
8.2 真空密封和检漏
8lOI\-  
9. 薄膜制备技术 /zG+]  
9.1 常见薄膜制备技术 #%^\\|'z  
10. 薄膜制备工艺 nlzW.OLM  
10.1 薄膜制备工艺因素 ejklpa ./  
10.2 薄膜均匀性修正技术 A)Qh  
10.3 光学薄膜监控技术 3@)obb  
11. 激光薄膜 8?7kIin  
11.1 薄膜的损伤问题 i-,D_   
11.2 激光薄膜的制备流程 0/\PZX+  
11.3 激光薄膜的制备技术 YOV :  
12. 光学薄膜特性测量 *KK[(o}^J-  
12.1 薄膜光谱测量 &$qF4B*  
12.2 薄膜光学常数测量 kG1;]1tT#  
12.3 薄膜应力测量 qO-C%p [5  
12.4 薄膜损伤测量 o\ngR\>  
12.5 薄膜形貌、结构与组分分析内容简介 H&X:!xa5  
Macleod软件自带的用户手册功能全面，其介绍涵盖了软件的方方面面，能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而，为了顺应目前薄膜行业的需求，急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍，以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作，因此，我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 >z=Ou<,  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（原著第二版）是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结，结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod，其内容丰富，实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法，还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题，如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节，首先，从光学薄膜的基本理论出发（第2章），为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次，在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作，以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后，从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合，从而使大家将理论知识与实际经验结合起来，对实际镀膜提出实用的建议，以减少设计时间并降低生产成本。 /vjGjb=3U  
薄膜光学涵盖范围很广，书中并附设计光盘和参考文献，有兴趣者可依此深入研究，为精准起见，在不影响理解的情况下，尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助，通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限，书中错误纰漏之处在所难免，本书若有不周之处，尚请读者不吝赐教。 %bP~wl~  
{l2N&  
(=1q!c`  
53 @oP  
目录 dEASvD'  
Preface 1 b~_B [cf  
内容简介 2 (0i'Nb"  
目录 i ~G>jw"r  
1  引言 1 47IY|Jdz  
2  光学薄膜基础 2 {-@~Q.&}v  
2.1  一般规则 2
?7#7:  
2.2  正交入射规则 3 <jeh`g  
2.3  斜入射规则 6 lhqQCV  
2.4  精确计算 7 XGfzEld2"  
2.5  相干性 8 Y@Y`gF6F  
2.6 参考文献 10 QDS0ejhp  
3  Essential Macleod的快速预览 10 XHsd-  
4  Essential Macleod的特点 32 ?6i;)eIOI  
4.1  容量和局限性 33 +YTx  
4.2  程序在哪里？ 33 2;G98H  
4.3  数据文件 35 mD7}
t  
4.4  设计规则 35 (w+%=z"M  
4.5  材料数据库和资料库 37 &p5&=zV}  
4.5.1材料损失 38 TPHYz>D]  
4.5.1材料数据库和导入材料 39  tPA:_  
4.5.2 材料库 41 Qyz>ZPu}sz  
4.5.3导出材料数据 43 o{V#f_o  
4.6  常用单位 43 t5paYw-b  
4.7  插值和外推法 46 c/ _yMN  
4.8  材料数据的平滑 50 bGN 54{f  
4.9 更多光学常数模型 54 lop uf/U0  
4.10  文档的一般编辑规则 55 Y0@yD#,0~  
4.11 撤销和重做 56 CtM'L  
4.12  设计文档 57 W,3zL.qH"  
4.10.1  公式 58 d$K=c1  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 @l~7x  
4.10.3  沉积密度 59 -Q$b7*"z(  
4.10.4 平行和楔形介质 60 HA!t$[_Ve  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 9? 2  
4.10.4  性能 61 66Gx.tE  
4.10.5  保存设计和性能 64 ^agj4$  
4.10.6  默认设计 64  \~>e_;  
4.11  图表 64 OV[`|<C '  
4.11.1  合并曲线图 67 ?E<c[*F05  
4.11.2  自适应绘制 68 *69c-`o  
4.11.3  动态绘图 68 uEx9-,!  
4.11.4  3D绘图 69 xc;DdK=1X  
4.12  导入和导出 73 zDDK  
4.12.1  剪贴板 73 G2]^F Y  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 sqpGrW.  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 CWi8Fv  
4.13  背景 77 }c% pH{HI  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ,r=re!QI7  
4.15  生成Rugate 84 ',ZF5T5z@  
4.16  参考文献 91 WPo:^BD   
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 bLbR IY"l  
5.1  Jobs 92 :p>hW!~  
5.2  创建一个新Job（工作） 93 \dcdw*v@  
5.3  输入材料 94 A59gIp*>  
5.4  设计数据文件夹 95 ewnfeg1  
5.5  默认设计 95 d~@q%-`lA  
6  细化和合成 97 r`6:Q&&  
6.1  优化介绍 97 /v#)f-N%zs  
6.2  细化 (Refinement) 98 ^ve14mbF#.  
6.3  合成 (Synthesis) 100 hj!+HHYSk  
6.4  目标和评价函数 101 LjaGyj>)  
6.4.1  目标输入 102 5G(E&>~  
6.4.2  目标 103 8>NwCjN  
6.4.3  特殊的评价函数 104 M2@;RZ(|  
6.5  层锁定和连接 104 |~K(F<;j  
6.6  细化技术 104 %NajFjBI  
6.6.1  单纯形 105 >(3\kiYS  
6.6.1.1 单纯形参数 106 %8mm Hh  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 s-rfS7;  
6.6.2.1 Optimac参数 108 r:&|vP  
6.6.3  模拟退火算法 109 ONX8}Ob~  
6.6.3.1　模拟退火参数 109 *Zbuq8>  
6.6.4  共轭梯度 111 WV
X`<  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 T_;]fPajjD  
6.6.5  拟牛顿法 112 a#0;==#  
6.6.5.1 拟牛顿参数： 112 -
5bA $  
6.6.6  针合成 113 DBsDkkB{  
6.6.6.1 针合成参数 114 p&N#_dmlH  
6.6.7 差分进化 114 2e1]}wlK  
6.6.8非局部细化 115 zY=jXa)K~  
6.6.8.1非局部细化参数 115 ,^$
|R32  
6.7  我应该使用哪种技术？ 116 5`-UMz<
]  
6.7.1 　细化 116 o3N]`xD'  
6.7.2　 合成 117 ^6;V}2>v}  
6.8  参考文献 117 >#(n"RCHf  
7  导纳图及其他工具 118 x,8<tSW)Z  
7.1  简介 118 S%mfs!E>  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 ?+2b(2&MXE  
7.2.1  四分之一波长规则 119 2oVV'9;B  
7.2.2  导纳图 120 1||+6bRP  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 \9{F5Sz  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 \Kavw  
7.5  斜入射导纳图 141 aFj.i8+  
7.6  对称周期 141 q%/uQT?  
7.7  参考文献 142 4Ysb5m
)u  
8  典型的镀膜实例 143 .Zmp,  
8.1  单层抗反射薄膜 145 pyZ9OA!PD  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 =!b6FjsiG  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 },@^0UH4c  
8.4  W-膜层 148 d8o53a]  
8.5  V-膜层 149 ?GT@puJS-  
8.6  V-膜层高折射基底 150 G"dS+,Q  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 X~9j$3lUBR  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Pm{*.
AW1  
8.9  四层抗反射薄膜 153 y9l*m~  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 sLL7]m}  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 'UU\4M  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 :t("L-GPW  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 &1|?BZv  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 0?DC0
0O  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 K^l:MxO-X  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 /t%u"dP"T~  
8.17  1/4波长堆栈 162 iw9Q18:I}  
8.18  陷波滤波器 163 b=;nm#cAI  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 _BM4>r?\  
8.20  褶皱 165 Q \hY7Xq'  
8.21  消偏振分光器1 169 NH A5e<  
8.22  消偏振分光器2 171  .)tSg  
8.23  消偏振立体分光器 172 ]0V}D,V($  
8.24  消偏振截止滤光片 173 Qdk6Qubi!  
8.25  立体偏振分束器1 174 ]< l6s  
8.26  立方偏振分束器2 177 i[jJafAcN  
8.27  相位延迟器 178 *fMpZ+;[m  
8.28  红外截止器 179 iBg3mc@OO  
8.29  21层长波带通滤波器 180 _
fk#<  
8.30  49层长波带通滤波器 181 J3RB]O_  
8.31  55层短波带通滤波器 182 OhZgcUqQ8  
8.32  47 红外截止器 183 0%Ll  
8.33  宽带通滤波器 184 */qtzt  
8.34  诱导透射滤波器 186 y046:@v(  
8.35  诱导透射滤波器2 188 xw5d|20b  
8.36  简单密集型光波复用（DWDM）滤波器 190 (2ot5x}`j  
8.37  高级密集型光波复用技术（DWDM）滤波器 192 '9p@vi{\  
8.35  增益平坦滤波器 193 Sl2iz?   
8.38  啁啾反射镜 1 196 dUrElXbXd  
8.39  啁啾反射镜2 198 uN*KHE+h  
8.40  啁啾反射镜3 199 LpbsYl  
8.41  带保护层的铝膜层 200 df}r% i  
8.42  增加铝反射率膜 201 _gj&$zP  
8.43  参考文献 202 G3P&{.v  
9  多层膜 204 *|.0Myjo  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 >et-{(G  
9.2  内部透过率 204 uA tV".  
9.3 内部透射率数据 205 p9!"O  
9.4  实例 206 5|0,X<
&  
9.5  实例2 210 S{t+
>/  
9.6  圆锥和带宽计算 212 ~
/pzxo$  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214
fEf_F r  
10  光学薄膜的颜色 216 CvSIV7zYo  
10.1  导言 216 E51dV:l  
10.2  色彩 216 f 3V Dv9(  
10.3  主波长和纯度 220 PX:'/{V  
10.4  色相和纯度 221 $ i)bq6  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ]B"'}%>ez  
10.6 色差 226 F_iXd/  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 (/d5UIM{&  
10.8  颜色渲染指数 234 qU2~fNY  
10.9  色差计算 235 H={DB  
10.10  参考文献 236 r`y ezbG  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 1d"Z>k:mn  
11.1  短脉冲 238 Ei}/iBG@  
11.2  群速度 239 J?@DGp+t  
11.3  群速度色散 241 -C-?`R  
11.4  啁啾(chirped) 245 xJ^>pg8  
11.5  光学薄膜—相变 245 `pf4X/Py  
11.6  群延迟和延迟色散 246 z?/1Kj}xG  
11.7  色度色散 246 _R'Fco  
11.8  色散补偿 249 <9E0iz+j  
11.9  空间光线偏移 256 'FlJpA}  
11.10  参考文献 258 E1dD7r\  
12  公差与误差 260 [Aj Q#;#Q  
12.1  蒙特卡罗模型 260 WG*t::NN  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 `g8E1-]l  
12.2.1  误差工具 267 kIw`P[  
12.2.2  灵敏度工具 271 1_fZm+oW!  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 0N[&3Ee8  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 (Fq5IGs  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 K8n4oz#z  
12.3  参考文献 276 T{V/+RM  
13  Runsheet 与Simulator 277 v(*C%.M)  
13.1  原理介绍 277 Y$N)^=7  
13.2  截止滤光片设计 277 H gTUy[(  
14  光学常数提取 289 2"|
2a@  
14.1  介绍 289 0&qr  
14.2  电介质薄膜 289 UNijFGi  
14.3  n 和k 的提取工具 295 GRb*EeT  
14.4  基底的参数提取 302 d(vsE%/!  
14.5  金属的参数提取 306 Zfk*HV#\  
14.6  不正确的模型 306 l Z#o+d2Y  
14.7  参考文献 311 )1N 54FNO  
15  反演工程 313 (8v7|Pe8  
15.1  随机性和系统性 313 8^Hn"v  
15.2  常见的系统性问题 314 ju}fL<<e  
15.3  单层膜 314 b'VV'+|  
15.4  多层膜 314 a#mNE*Dg  
15.5  含义 319 o,U9}_|A  
15.6  反演工程实例 319 FMkOo2{  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ^~{$wVGa  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 \V9Z#>  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 ?)bS['^1)  
16.1  光学性质的热致偏移 329 W_m"ySQs  
16.2  应力工具 335 vN2u34  
16.3  均匀性误差 339 <0yE 5Mrf  
16.3.1  圆锥工具 339
1;Pv0&[q/  
16.3.2  波前问题 341 R'
kyrEO  
16.4  参考文献 343 O+%WR  
17  如何在Function（模块）中编写操作数 345 uB!kM  
17.1  引言 345 |F9z,cc"  
17.2  操作数 345 b-3*Nl_%  
18  如何在Function中编写脚本 351 GUF"<k  
18.1  简介 351 4w#``UY)'  
18.2  什么是脚本？ 351 J=pztASt  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 J_>w3uY  
18.4  基础 352 {Fzs@,|W.  
18.4.1  Classes（类别） 352 jV(6>BAI_  
18.4.2  对象 352 Zy|Mz&  
18.4.3  信息（Messages） 352 Vy_2
.  
18.4.4  属性 352 sXd8rj:o  
18.4.5  方法 353 MxyN\Mq'  
18.4.6  变量声明 353 spasB=E  
18.5  创建对象 354 M$0u1~K  
18.5.1  创建对象函数 355 YeF1C/'hy  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 )lJao  
18.5.3 丢弃对象 356 odg<q$34  
18.5.4  总结 356 FgLrb#  
18.6  脚本中的表格 357 F:6SPY y  
18.6.1  方法1 357 iCHt1VV]  
18.6.2  方法2 357
+7t6k7]c  
18.7 2D Plots in Scripts 358 bzdb|I6Z  
18.8 3D Plots in Scripts 359 >J|]moSVA  
18.9  注释 360 54rkC/B>  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 ""s]zN
F}  
18.11  一个更高级的脚本 362 7\ nf:.  
18.12  <esc>键 364 $lhC{&tBV  
18.13 包含文件 365 -=.V '  
18.14  脚本被优化调用 366 6sa"O89  
18.15  脚本中的对话框 368 :VF<9@t  
18.15.1  介绍 368 3Vp#a:  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 ;<0LXYL;  
18.15.3  输入框函数 370 gKOOHUCb
 
18.15.4  自定义对话框 371 U%h);!<  
18.15.5  对话框编辑器 371 Z3!f^vAi&  
18.15.6  控制对话框 377 zni)<fmju  
18.15.7  更高级的对话框 380 F@R1:M9*  
18.16 Types语句 384 <
cA/<3k)  
18.17 打开文件 385 kNqH zo  
18.18 Bags 387 tDr#H!2 3  
18.13  进一步研究 388 1 { , F
 
19  vStack 389 A>{p2?`+!  
19.1  vStack基本原理 389 _0gKK2  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 EC|
'
l  
19.3  五棱镜 393 +:3*  
19.4 光束距离 396 "bDs2E+W  
19.5 误差 399 6%Be36<  
19.6  二向分色棱镜 399 2< hAa9y  
19.7  偏振泄漏 404 >J u]2++lx  
19.8  波前误差—相位 405 Cuc$3l(%  
19.9  其它计算参数 405 /O]t R  
20  报表生成器 406 wO2_DyMm@  
20.1  入门 406 ^Q&u0;OJ  
20.2  指令(Instructions) 406 erO>1 ,4S  
20.3  页面布局指令 406 4nAa`(62  
20.4  常见的参数图和三维图 407 v:+~9w+  
20.5  表格中的常见参数 408 XT;u<aJs  
20.6  迭代指令 408  r[?1  
20.7  报表模版 408
b=3H  
20.8  开始设计一个报表模版 409 1".v6caW  
21  一个新的project 413 0j C3fT!n  
21.1  创建一个新Job 414 |AC1\)2tT  
21.2  默认设计 415 m[k_>e\u  
21.3  薄膜设计 416 0zY(:;X  
21.4  误差的灵敏度计算 420 (MHAJ]Rx  
21.5  显色指数计算 422 `gKf#
f  
21.6  电场分布 424 ]:34kE}e5  
后记 426 5s?Hxn  
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k? Xc  
书籍名称：《Essential Macleod中文手册》 fL]Pztsk+  
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《Essential Macleod中文手册》 vf4{$Oag  
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目  录 .UoOO'1K  
ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 Ngg?@pG0y  
第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3 j1 =`|  
第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 ;O<9|?  
第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44 c)0amM  
第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100 <LRey%{q  
第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 P9T5L<5  
第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120 !a$ D4(`v  
第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167 )#F]G$51r  
第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200 Pl-5ncb\  
第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213 9_sA&2P{uV  
第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251 >&!RWH9*q  
第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 #Km:}=  
第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 {,OS-g  
第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 Cye$H9 2  
第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 7H>@iI"?  
第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 ud f
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价  格：400元