摘要
fS~.K9 zaZnL7ZJX 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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MXy{]o_H~ jmFN*VIL 设计任务
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a:fHTU=\p Rc4EFHL 仅位相透射设计(IFTA)
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ZeeuH"A 1@WGbORc* 仅位相透射设计(IFTA)
FMn&2fH /K^cU;E,
Bag#An1 cGp^;> ]M 超表面晶胞分析
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"YL-!P +RkYW*|$S 构建超光栅
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}]I?vyQ#V $ZS9CkN 初始超表面设计的评估
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RVfe}4Stm# L?0l1P 参数优化
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优化超光栅设计的评估
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Q7|13^|C [fp"MPP3 走进VirtualLab
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CWp1)%0= ~8*oGG~s VirtualLab Fusion的工作流程
7g)3\C 分析超表面晶胞
L2'd sOn - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
`VtwKt* 构造超光栅
$VWzv4^: 分析光栅衍射效率
ImY.HB^& - 光栅级次分析 [用例]
^d80\PXz 光栅
结构参数优化
]ufW61W6Ci PQ}%}S7:
/BM1AV{s6 @@IA35'tc VirtualLab Fusion技术
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