摘要 //X e*0
5mna7BCEb
与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 _b!;(~@p
uP%axys
84p[N8
Ez/\bE
设计任务 foFg((tS
O^X[9vrW
V#gF*]q
,5eH2W
仅位相透射设计(IFTA) t,=@hs
hN
4-]Do?
vh|Tb5W<
*Z]5!$UpC
仅位相透射设计(IFTA) jh 7p62R
P"R97#C
6(N.T+;]
]RH=s7L
超表面晶胞分析 8zQ_xE
i{tTUA
gx!*O<|e4
1u"R=D9p,=
构建超光栅 ^8?j~&u$F
wJ80};!
1<LC8?wt
\LO_Nu9
初始超表面设计的评估 r{K\(UT]!
s{(ehP.Dd
H$~M`Y9I~
WF ?/GN
参数优化 -yX.Jv
>]Mq)V9
; g Z%U
[;(]Jy
优化超光栅设计的评估 "n{9- VEmN
YPF&U4CN
x @1px&^
KWFyw>*)
走进VirtualLab Sk8%(JD7
\We"?1^
`fQM
'RDWU7c9]
VirtualLab Fusion的工作流程 La`h$=#`
分析超表面晶胞 R#Y50hzT
- 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] jZXVsd
构造超光栅 uz*d^gr}
分析光栅衍射效率 \e?.hmq
- 光栅级次分析 [用例] L7SEswMti
光栅结构参数优化 )-0[ra]
-L@]I$Yo
d32@M~vD
90Xt_$_}s
VirtualLab Fusion技术 >j&1?M2C
pG0!ALT