摘要 c(3idO*R)
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与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 <7ag=IgDy
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设计任务 W Kd:O)J
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仅位相透射设计(IFTA) \)MzUOZn
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超表面晶胞分析 H}usL)0&&
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构建超光栅 { ux'9SA
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初始超表面设计的评估 $ O;a~/T
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参数优化 ?*QL;[n1
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优化超光栅设计的评估 [XA:pj;rg'
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走进VirtualLab m\ @Q}
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VirtualLab Fusion的工作流程 |5BvVqn
分析超表面晶胞 clT[?8*
- 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] #\LYo{op/.
构造超光栅 s*e1m%
分析光栅衍射效率 <Um 5w1
- 光栅级次分析 [用例] xUB{{8B:L
光栅结构参数优化 k,/2]{#53d
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VirtualLab Fusion技术 q:,ck@-4
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