摘要
Lm.Ik}Gli z(r"JNO@ 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
/:^tc/5U] I>!|3ElT
qm~Kw!kV R<t&F\> 设计任务
@}Pw0vC EtPgzw[#c9
75PS^5T, zEAx:6`c 仅位相透射设计(IFTA)
Mc.^s a3*.,%d
`c> A>c| DU(X,hDBF 仅位相透射设计(IFTA)
9.jG\i [CsM<:C
;\1b{-' l E=3#TBd 超表面晶胞分析
%jpH:-8'2 0;'j!`l9
+)% ,G@-` $2;-q8+ 构建超光栅
;k-g_{M [+yGDMLs
T$f:[ye]Z PZ~`O 初始超表面设计的评估
Bc5YW-QD L,tZh0
rGGS]^ e_tZja2s 参数优化
&`-_)~5] 3{6ps : w
x4/T?4k :LU"5g 优化超光栅设计的评估
A3m{jbh hYs82P|2Ol
!^n1 V}j%gy` 走进VirtualLab
@#'yPV1 3}v0{c
W`
WLW8Qsw
<|ka{=T VirtualLab Fusion的工作流程
]:[)KZ~ 分析超表面晶胞
F0X5dv - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
Pm;x]Aj 构造超光栅
+d|:s 分析光栅衍射效率
|k/`WC6As. - 光栅级次分析 [用例]
oSpi{ $x 光栅
结构参数优化
B4PW4>GF
uZo]8mV
@'6S[zU q}wl_ku9+ VirtualLab Fusion技术
f>.`xC{ \HBVNBY