摘要
GukS=rC9 3:;2Av2(X. 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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V!Q1o!J -`o22G3w 设计任务
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xxlYn9ke )+nY-DB( 仅位相透射设计(IFTA)
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Uu9*nH_ Y^Olcz 仅位相透射设计(IFTA)
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QlHxdRK`. ?1z." & 超表面晶胞分析
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. Y!8Ik(/~i 构建超光栅
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,c%>M^d WzC_M>_ 初始超表面设计的评估
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F .(zS(q XkWO -L 参数优化
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/ 优化超光栅设计的评估
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rI\G&OqpP OIuEC7XM^C VirtualLab Fusion的工作流程
p/4\O 分析超表面晶胞
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o!9\ - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
A{5^A)$ 构造超光栅
z(AhO 分析光栅衍射效率
] Fx9!S - 光栅级次分析 [用例]
y^o*wz:D* 光栅
结构参数优化
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f_*Bd.@ `wJR^O!e VirtualLab Fusion技术
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