摘要
RV=Z$ }G/#Nb) 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
bb4 `s0 n5NwiSE
&^7^7:Y=? pzcl@ 设计任务
sw\O\%^ cWU9mzsE
K*/X{3 J; W2`/z)[*> 仅位相透射设计(IFTA)
\/8oua_) Sb|9U8h
ZzO^IZKlC Ovhd%qV;Y 仅位相透射设计(IFTA)
vVyX[ZZ xb (Cd
*NjjFk=R uD0<|At/ 超表面晶胞分析
%7wNS ~lQ<#*wl
/\wm/Yx?S 0|chRX 构建超光栅
bd;?oYV~ K;'s+ZD
x-@}x@n&[ v;ZIqn" 初始超表面设计的评估
8WP|cF] }~O`(mnD}K
uLq%Nu h?-*SLT 参数优化
0Q{^BgW *RllKP Y)
DQ`\HY %NH{%K, 优化超光栅设计的评估
Tya[6b!8 (WuJ9
EG#mNpxE JU`5K}H< 走进VirtualLab
K)&oDwk K?]c
"V3f"J? ]m=2 $mK VirtualLab Fusion的工作流程
-RBH5+SS2 分析超表面晶胞
;56mkP - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
5)=YTUCk 构造超光栅
d+L!s7 分析光栅衍射效率
;8iK] ;^ - 光栅级次分析 [用例]
RA3!k&8?# 光栅
结构参数优化
wqE+hKs, =%ry-n G
,b'QL6>` ]1dnp]r VirtualLab Fusion技术
,@Ae o9} LEJn
1