摘要
awu18(;J &pCa{p 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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$DS|jnpV *,az`U 设计任务
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u/9]a '/O >#1 仅位相透射设计(IFTA)
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n[+$a)$8 \P~h0zg? 仅位相透射设计(IFTA)
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Oczl= Bl$Hg,in- 超表面晶胞分析
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"WF@T fmgXh)= 构建超光栅
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\Dlmrke GUDz>( 初始超表面设计的评估
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cZR9rnZT )JA9bR
< 参数优化
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{J~VB~(' a'!p^/6? 优化超光栅设计的评估
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i&mt- eXA@J[-M: 走进VirtualLab
WzhY4"p *G&3NSM-
-^ceTzW+ 2I$-&c] VirtualLab Fusion的工作流程
{ovW6# 分析超表面晶胞
IRG -H!FV - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
ioT+,li 构造超光栅
&"6%D|Z0 分析光栅衍射效率
6<SX%Bc~ - 光栅级次分析 [用例]
6^vz+oN 光栅
结构参数优化
v{8W+ D}T+X;u)K
#Y<QEGb( B`w@Xk'D VirtualLab Fusion技术
lvp8{]I< ;&9wG`