摘要 8-g$HXqs_#
T?}=k{C]
与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 "F.J>QBd
J`D<
ewff(e9
fS$Yl~-m?
设计任务 pcxl2I
8'_
]gfF
1.OXkgh
o _,$`nEJ
仅位相透射设计(IFTA) ABYW1K=
c.me1fGn
`9"jHw`D
!\|@{UJk/
仅位相透射设计(IFTA) Z_ *ZUN?B
* jNu?$
ne~#{q
-){^
Q:u
超表面晶胞分析 gdn,nL`dP
f*H}eu3/j
YwTtI ID%
_@3O`
构建超光栅 Fe>#}-`
u^eC
).#D:eO[~
T=KrT7
初始超表面设计的评估 cngPc]?N
/ z>8XM&
Z"8cGN'
k/rkJ|i+p
参数优化 R$'nWzX#
"%iR-s_>
?=o]Wx0(9
o\YdL2:X
优化超光栅设计的评估 Yy:sZJ
2F)OyE
HDG"a&$
Y7I
走进VirtualLab Yy;1N{dbT
,UJPLj^
6B P%&RL
F,$$N>
VirtualLab Fusion的工作流程 8pKPbi;(2
分析超表面晶胞 IaqN@IlWb
- 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] :<G+)hIK
构造超光栅 e/~<\
分析光栅衍射效率 r,@|Snv)
- 光栅级次分析 [用例] -PuVI5L<
光栅结构参数优化 !f[N&se
fO|u(e
]o[HH_`s@
9K_HcLO%y
VirtualLab Fusion技术 C
5!6k1TcE
%ieAY-<"