[技术]二维非傍轴光束分束超光栅的设计 [复制链接]

摘要 /mM2M-  
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与传统光栅相比，尤其是在非傍轴情况下，超光栅具有优势。在此示例中，我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维（2D）超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成，并且在VirtualLab Fusion中，我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且，我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 ?=;qK{)37  
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设计任务 1"#*)MF  
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仅位相透射设计（IFTA） 8Q{9>^  
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超表面晶胞分析 Mwp$  
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构建超光栅 l`-bFmpA  
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初始超表面设计的评估 D}C,![   
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参数优化 r|e-<t4.9L  
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优化超光栅设计的评估 E{^XlY  
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VirtualLab Fusion的工作流程  c gz
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 分析超表面晶胞 km^^T_ M/  
- 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] 'Jf^`ZT}  
 构造超光栅 KD
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 分析光栅衍射效率 ")O`mXg-  
- 光栅级次分析 [用例] Y HSYu  
 光栅结构参数优化 ?m$a6'2-,J  
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VirtualLab Fusion技术 \0lnxLA  
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