摘要
qlD+[`=b *DObtS_
6 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
RS!~5nk5 AJ` b-$Q
|1X^@ D`0II= 设计任务
Um]>B`."wK ?Q;8D@
p}_bu@;.Z /=>z|?z3 仅位相透射设计(IFTA)
J/8aDr(+ )Xg,;^
q PuxYU ,,S5 8\x 仅位相透射设计(IFTA)
K2>(C$Z E9HA8
KG6ki_ B2:6=8< 超表面晶胞分析
>
nY<J GiJ|5"
~b/lr 3&_O\nD 构建超光栅
_JOrGVmD o1YX^-<[F
5 :6^533] R8P7JY[h 初始超表面设计的评估
G<OC99;8 =HmV0
wX@&Qv D oX!P|* 参数优化
p;`jmF
lHv;C*(_=
N~_GJw@ z]^&^VFu 优化超光栅设计的评估
/c'3I
=z'- B~
=:n>yZ3T `4__X; 走进VirtualLab
f1(V~{N,+ 7tMV*{+Z
F& .iY0Pt 8PB(<|}u VirtualLab Fusion的工作流程
v+f:VA 分析超表面晶胞
:TJv<NZi' - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
,$EM3 构造超光栅
=Ig'Aw$ x 分析光栅衍射效率
Iq0_X7:{QI - 光栅级次分析 [用例]
_"SE^ _&