摘要
wW8[t8%43 @y'ZM 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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@Kn@j D; OSLZ7B^ 设计任务
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ylU 仅位相透射设计(IFTA)
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(2QfH$HEk .)Pul|)d 仅位相透射设计(IFTA)
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#D%6b U* c'xoP 超表面晶胞分析
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`m8WLj n)Cr<^j 构建超光栅
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g]c6_DMfb1 .Pte}pM"v 初始超表面设计的评估
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$-~"G,;F ;"ESN)*|i 参数优化
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Z 优化超光栅设计的评估
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"frioi`a2 .pdcwd9 走进VirtualLab
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Iz'Et'w8! XGbpH< VirtualLab Fusion的工作流程
o1?-+P/ 分析超表面晶胞
Q-F$Ryj^ - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
@D=%J!!* 构造超光栅
t+q;}ZvG 分析光栅衍射效率
zK1]o-wSAT - 光栅级次分析 [用例]
Ycq )$7p 光栅
结构参数优化
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G+
rFkZ'rp74b afna7TlS VirtualLab Fusion技术
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