摘要
Plhakngj ^".6~{ 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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+K4H 设计任务
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U0srwt97S 仅位相透射设计(IFTA)
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I!/I 仅位相透射设计(IFTA)
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!^v~hD$_q A wk1d 超表面晶胞分析
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(0.JoeA`y 构建超光栅
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E*fa&G~s ) 7^mQfQv 初始超表面设计的评估
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AZA5>Y l~Ka(*[!U 参数优化
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dK,=9DQy5 yLK %lP 优化超光栅设计的评估
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*M0O&" ~j {?EmO+![} VirtualLab Fusion的工作流程
; C(5lD&\5 分析超表面晶胞
D%c^j9' 1 - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
+7nvy^m 构造超光栅
>K1e=SY 分析光栅衍射效率
%g3QE:(2@q - 光栅级次分析 [用例]
yOvV"x] 光栅
结构参数优化
[7[Qw]J ~ _tK.m3
~ b66
; RL/7>YQ VirtualLab Fusion技术
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