摘要
Ac|IBXGa= #D&eov? 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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NvQN >d&B: 设计任务
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k9xfv@v} ZXh6Se4o 仅位相透射设计(IFTA)
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FNg 仅位相透射设计(IFTA)
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U@Y0 z.Y $OldHe[p 超表面晶胞分析
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mfc\w' bk44qL;8 构建超光栅
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EIPNR:6t ]yiwdQ 初始超表面设计的评估
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%\IB_M JvX]^t/} 参数优化
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i=jwk_y PUZH[-:c 优化超光栅设计的评估
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*")Req F!(Vg 走进VirtualLab
^YiGvZJ K[r<-6TS
W;!OxOWZJ N@6+DHt VirtualLab Fusion的工作流程
wyJ+~ 分析超表面晶胞
pY]T32 - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
@K.{o' 构造超光栅
nI]8w6eCV 分析光栅衍射效率
cuzU*QW"g - 光栅级次分析 [用例]
A{X:p3$eN 光栅
结构参数优化
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wr>[Eo@%\ 5argw+2s4$ VirtualLab Fusion技术
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