摘要
t9Enk!@ SREDM 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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W~XV v`[Tl 设计任务
^kCk^D-Gz J~_L4*Jw
e.)yV'%L J8sJ~FnUj 仅位相透射设计(IFTA)
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9TYw@o5V >< <$ 仅位相透射设计(IFTA)
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7 2]of SdM 超表面晶胞分析
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w6WGFQ_ % p`E|SNt/W 构建超光栅
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Pi&fwGL ;#5-.z 初始超表面设计的评估
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PTuCN \j2:
6]Hm 参数优化
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<'>d0:>N O Ey:#9<' 优化超光栅设计的评估
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3<KZ.hr \28b_,i+ 走进VirtualLab
SxLHFN] )M&Azbu
)9A<fwpN OUBgBr VirtualLab Fusion的工作流程
M/8#&RycQ
分析超表面晶胞
J-eA,9J - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
J]=aI>Ow 构造超光栅
l(krUv 分析光栅衍射效率
,z0~mN - 光栅级次分析 [用例]
UijuJ(Tle 光栅
结构参数优化
QN2*]+/h ;i-D~Np|
X_0{*!v8 m&3HFf VirtualLab Fusion技术
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