摘要
&^=6W3RD 9%^q?S/Rv 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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l}:&} 2MS1<VKZ@ 设计任务
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'H+H4( /GCI`hx>" 仅位相透射设计(IFTA)
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KAVe~j" Wnm?a!j5 超表面晶胞分析
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}SpjB 96x$Xl; 构建超光栅
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cy T,tN \wwY?lOe 初始超表面设计的评估
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2Hl0besm }q7rR:g 参数优化
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@Cg%7AF N.R,[K 优化超光栅设计的评估
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W?is8r: <\40?*2 走进VirtualLab
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=~: H?A&P4nZ VirtualLab Fusion的工作流程
_nW{Q-nh 分析超表面晶胞
=qG%h5]n - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
8NU <lV` 构造超光栅
9HJrMX 分析光栅衍射效率
|Rk9W - 光栅级次分析 [用例]
g+'=#NS} 光栅
结构参数优化
za$v I?ux !Q(x A,p
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qI (<5Wxl VirtualLab Fusion技术
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