[技术]二维非傍轴光束分束超光栅的设计 [复制链接]

摘要 EBmkKiI;  
(>\4%(pnD  
与传统光栅相比，尤其是在非傍轴情况下，超光栅具有优势。在此示例中，我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维（2D）超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成，并且在VirtualLab Fusion中，我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且，我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 w\JTMS$  
4E$6&,\  

图片:1-201110101454C1.png

/p|L.&`U  
@Y%i`}T%(  
设计任务 _k)EqPYu@  
`b)i;m  

图片:1-20111010151a37.png

I_`$$-|
 
;0dl  
仅位相透射设计（IFTA） |pT[ZT|}G  
U@".XIDQ  

图片:1-2011101016054B.png

tv9 R$-cJ  
m4c2WY6k  
仅位相透射设计（IFTA） A2nL=9~   
Xq$9H@.  

图片:1-2011101016324c.png

tY`%vI [  
o3:h!(#G  
超表面晶胞分析 ?KFj=Yo  
xqj@T^y  

图片:1-201110101F2W9.png

.A7ON1lc^C  
g|
{Ru  
构建超光栅 W>$mU&ew[  
K!tM "`a  

图片:1-201110101H45U.png

hIo^/_K  
"2 qivJ  
初始超表面设计的评估 /,9n1|FrG  
?2S<D5MSb  

图片:1-20111010193W64.png

)%I62<N,z  
l=>FoJf!*<  
参数优化 WQNFHRfO*n  
zE=^}K+  

图片:1-20111010195Y08.png

U5;Y o+z  
:w9s bW  
优化超光栅设计的评估 YZc{\~d  
~#:R1~rh\e  

图片:1-20111010204DJ.png

(7|!%IO.  
N}\3UHtO  
走进VirtualLab ]L!:/k,=S  
^%RIz!}  

图片:1-20111010210Q07.png

o[k,{`M0  
7;ddzxR4  
VirtualLab Fusion的工作流程 `_.(qg   
 分析超表面晶胞 e~G um  
- 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] 4#D>]AX  
 构造超光栅 bx3kd+J7  
 分析光栅衍射效率 iRI7x)^0"z  
- 光栅级次分析 [用例] 4^K<RSYs  
 光栅结构参数优化 ga
|-~~  
gYa (-o  

图片:1-201110102140345.png

#D Oui]  
=BgQSs/^c  
VirtualLab Fusion技术 >^adxXw.o  
   0?,%B?A8O  

图片:1-20111010221II.png