摘要
TEv3;Z*N p9fx~[_5/ 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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iWO16= !M\8k$#"n 设计任务
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(zte 'F4 7iT#dpF/A 仅位相透射设计(IFTA)
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uK1DC i y@e/G3 仅位相透射设计(IFTA)
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,x&T8o/a ZDMS:w.'T 超表面晶胞分析
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l*^c?lp) a/^ojn 构建超光栅
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:;HJ3V; ) 7w%\i{M 初始超表面设计的评估
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imC>T!-7 xim'TVwvC 参数优化
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Lk#8G>U ?$J#jhR? 优化超光栅设计的评估
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0w<vc}{t O4t0 VL$ 走进VirtualLab
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LU7?2`t
8Mg wXH 'ioX,KD VirtualLab Fusion的工作流程
1L3+KD~ 分析超表面晶胞
%0&59q]LM - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
rU/8R'S 构造超光栅
WstX>+?' 分析光栅衍射效率
ld - 光栅级次分析 [用例]
K-<<s 光栅
结构参数优化
dT?mMTKn+ 3'2>3Y/7Bb
= Zi'L48 VYG o; VirtualLab Fusion技术
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