摘要 1I awi?73
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与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 &qzy?/i8
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超表面晶胞分析 !' 0PM[
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初始超表面设计的评估 |~ytAyw
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参数优化 Uq @].3nf
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优化超光栅设计的评估 lQiw8qD
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走进VirtualLab V7}'g6X
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VirtualLab Fusion的工作流程 rT=C/SKP
分析超表面晶胞 HI{h>g T
- 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] d#XgO5eyO
构造超光栅 $P#x>#+[A
分析光栅衍射效率 ,(-V<>/*.|
- 光栅级次分析 [用例] ]l C2YD}
光栅结构参数优化 Zoc4@%
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VirtualLab Fusion技术 {* :^K\-
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