摘要
SS*3Qx:[ BHN EP |= 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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b>]k=zd \zLKSJ] 设计任务
pPsT,i? r&3EM[*Iw
;:obg/;uJ ZgA+$}U)uW 仅位相透射设计(IFTA)
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^?5HagA lsA?|4`mn 仅位相透射设计(IFTA)
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9 iV_ H/}W_ h^^ 超表面晶胞分析
o@sL/5, &oxHVZJ
$O_{cSKg7 Zk~~`h 构建超光栅
d.$0X/0 d.yATP
@Nn'G{8OG Qz4Do6#y 初始超表面设计的评估
(;9j#x nxMZd=Y
4^T_" W} W:>XXUU 参数优化
{t!Pv2y< ^cCNQS}r
GBY{O2!3u 9AJ"C7 优化超光栅设计的评估
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apjoIO-< W.BX6 走进VirtualLab
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'| p"HbJ RTr"#[ VirtualLab Fusion的工作流程
Je4hQJ<h 分析超表面晶胞
Pk>S;KT. - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
&H[7UyC 构造超光栅
OwPXQ 3S 分析光栅衍射效率
Y`."=8R~ - 光栅级次分析 [用例]
yz"hU 光栅
结构参数优化
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8[;AFm ?,` re4A5Ev$ VirtualLab Fusion技术
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