摘要
~$4]HDg b/sOfQ 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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I{+A H]_WFiW-9 设计任务
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>|a\>UgC rIeM+h7W n 仅位相透射设计(IFTA)
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g1ZV&X=2 ^|wT_k\ 仅位相透射设计(IFTA)
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`OF @Ex;9F,Q
HEBqv+bG jg[5UTkcs 超表面晶胞分析
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9i0M/vx 9>N\sOh 构建超光栅
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/61by$E y7/PDB\he 初始超表面设计的评估
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XwcMt r* 5k69F 参数优化
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uie~' K\y %a5t15 9 优化超光栅设计的评估
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Iz#yQ` Uz 0W <u3v 走进VirtualLab
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`dDa}b "Y7+{ VirtualLab Fusion的工作流程
V1<ow'^i 分析超表面晶胞
&i5:)d]L - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
a mqOxb 构造超光栅
, jy<o+! 分析光栅衍射效率
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%K~w - 光栅级次分析 [用例]
6/| 0+G^ 光栅
结构参数优化
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XYjcJ XYe~G@Q Z VirtualLab Fusion技术
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