摘要
dh.vZ0v=7 XSDudL 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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0{w7 设计任务
?--EIA8mfp pndAXO:v
9}_ccq 0Ia8x?80V 仅位相透射设计(IFTA)
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qx+ .v2G (tLAJ_v!.K 仅位相透射设计(IFTA)
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^o@N.+`&< UW?(-_8 超表面晶胞分析
1[&V6=n (aQNe{D#
0zCmU)ng u}:p@j}Zv 构建超光栅
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Ld?-Ik~fF> gq +|Hr 初始超表面设计的评估
3cH`>#c zKP{A Sk
J_H=GHMp} 0M=U>g) 参数优化
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k m(Mv hj_%'kk-A 优化超光栅设计的评估
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7 z#Xf AdWLab; 走进VirtualLab
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>Wbt_%dKy #go!"HL VirtualLab Fusion的工作流程
mK>c+ u) 分析超表面晶胞
r z - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
7P!Hryy 构造超光栅
N!u(G 分析光栅衍射效率
= DT7]fU - 光栅级次分析 [用例]
" 0&+`7 光栅
结构参数优化
]0+5@c FuKp`T-H
{);S6F$[3 7a4b,-93 VirtualLab Fusion技术
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