摘要
=A=er1~% OBb 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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%&z9^}Vd[ "p$`CUtI 设计任务
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:LcR<>LZ m_(+-G 仅位相透射设计(IFTA)
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cB?HMLbG> Dc BTW+ 仅位相透射设计(IFTA)
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+J+]P\: F=d#$-yg 超表面晶胞分析
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#ocp 构建超光栅
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6!b9 6bV c%i/ '<Afr 初始超表面设计的评估
ogjm6; 52-^HV
3go!P]) zy5@K) 参数优化
"C}nS=]8m wf8vKl#Kfw
`iQyKZS/+ d!w32Y,. 优化超光栅设计的评估
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yUEUIPL n;O
3.2 走进VirtualLab
oPre$YT}h Ep?a1&b
S/7D}hJ u5T\_0 VirtualLab Fusion的工作流程
6>bKlYl&9 分析超表面晶胞
f+L )x - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
jd(=? !_ 构造超光栅
G7zfyw}W 分析光栅衍射效率
"FG6R' - 光栅级次分析 [用例]
hQHV]xW 光栅
结构参数优化
<}i\fJX6 3H4p$\;C
-41L^Di\ r1F5&?{q VirtualLab Fusion技术
1v,4[;{ 9$#2+G!J