[技术]二维非傍轴光束分束超光栅的设计 [复制链接]

摘要 iLNO}EUL  
#mD_<@@  
与传统光栅相比，尤其是在非傍轴情况下，超光栅具有优势。在此示例中，我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维（2D）超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成，并且在VirtualLab Fusion中，我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且，我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 @2`nBtk  
OS1f}<  
%S^:5#9  
c*i,z  
设计任务 ExF6y#Y G<  
^S 45!mSb  
$01~G?:]`  
UG4I@@=  
仅位相透射设计（IFTA） n4.\}%=z  
"LH3ZPD  
%3. np  
v=cX.^
L  
仅位相透射设计（IFTA） x6ayFq=  
OTNI@jQ)  
3GrIHiCr  
At!@Rc  
超表面晶胞分析 qpzyl~g:C  
f1XM_  
/m i&7C(6  
PEaZ3{-  
构建超光栅 Oz
R<jCOS  
q s:T
R  
UID`3X  
wO6>jW 7  
初始超表面设计的评估 S,Q(,e^&  
8idIJm%y  
)`6OSB  
4YoQ*NQw-  
参数优化 4vNH"72P  
\f=kQbM  
/ %iS\R%ca  
'8FH
n~F  
优化超光栅设计的评估 Spn)M79  
b|iIdDK  
s'OK])>`  
LBmXy8'T`  
走进VirtualLab I!Mkss xc  
TI\EkKu"  
?{xD{f$  
DyA1zwp}  
VirtualLab Fusion的工作流程 irP*:QM  
 分析超表面晶胞 [ $"  
- 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] b `bg`}x  
 构造超光栅 nB]mj_)R^  
 分析光栅衍射效率  m3^D~4  
- 光栅级次分析 [用例] tu/4  
 光栅结构参数优化 3o"l sly  
ej1WkaR8  
S~&
9DQNj  
[;o>q;75Jz  
VirtualLab Fusion技术 =W>a~e]/  
   `cIeqp