摘要 {M,,npl
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与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 cj11S>D
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设计任务 KfF!{g f
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超表面晶胞分析 <w3!!+oK"
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构建超光栅 HSq}7S&U
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初始超表面设计的评估 iiK]l
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参数优化 ! VjFW5'{
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优化超光栅设计的评估 *hcYGLx
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走进VirtualLab Y3Q9=u*5
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VirtualLab Fusion的工作流程 :%IoM E
分析超表面晶胞 %D * OO{
- 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] 5h; +Ky!I
构造超光栅 7 [0L9\xm
分析光栅衍射效率 ;J7F J3n
- 光栅级次分析 [用例] orb_"Qw
光栅结构参数优化 8_N]e'WUh
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VirtualLab Fusion技术 =FD;~
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