摘要
yG)zrRU 0] 'Bd`e 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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} 7V6gT}R 设计任务
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1}A1P&2> 01n5]^.p 仅位相透射设计(IFTA)
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)z'LXy8 sb"etc`w%- 仅位相透射设计(IFTA)
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-!OFt} wb@TYvDt 超表面晶胞分析
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3snr-) *U vh;d{ 构建超光栅
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-e6~0%X Z5 lE*z 初始超表面设计的评估
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B3Id}[V Bvke@|]kW 参数优化
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%d..L-`]ET 9[<,49 优化超光栅设计的评估
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m&EJ@,H E;[ANy4L 走进VirtualLab
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dgb#PxOMH !+qy~h VirtualLab Fusion的工作流程
?LP&VU1 分析超表面晶胞
5r;M61 - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
p~ `f.q$' 构造超光栅
9cJzL"yi 分析光栅衍射效率
h?f)Bt}ry - 光栅级次分析 [用例]
^a=,,6T 光栅
结构参数优化
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/RLeD &"^,Ubfcn" VirtualLab Fusion技术
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