摘要
z#GZvB/z) *^ncb,1+i 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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T?:Vw laE ~\<Fq \.x 设计任务
i}N'WV`! y} AkF2:
]$!-%pNv ] 7_ f'M1F 仅位相透射设计(IFTA)
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gI6./;;x ko*Ir@SDv 仅位相透射设计(IFTA)
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Ly/"da ihBlP\C 超表面晶胞分析
E$=!l{Ms w4<1*u@${
b;`gxXeL Z{xm(^'i 构建超光栅
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Eb{Zm<TP :^j`wd1
h 初始超表面设计的评估
F\F_">5 9'faH
w,> ceu/ 2Kovvh y# 参数优化
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vmm#UjwF3 C|bnUN 优化超光栅设计的评估
FM$XMD0= Pp3<K649
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v! ~CCRs7V/L 走进VirtualLab
w4P?2-kB A-Be}A
Z5/^pyc 8+5#FC7 VirtualLab Fusion的工作流程
rrbD0UzFA 分析超表面晶胞
@(M-ZO!D - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
$OB 2ZS" 构造超光栅
N}Q%y(O^ 分析光栅衍射效率
;NQ9A &$) - 光栅级次分析 [用例]
uMKO^D 光栅
结构参数优化
b6Pi:!4 5&Al
$_ IvzbOh EKo!vieG VirtualLab Fusion技术
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