摘要
{P/5cw /< OoZf+[ 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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7P&O{tl( T#HW{3 设计任务
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cO&(&*J r q+KGQ* 仅位相透射设计(IFTA)
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riy@n<Z4 !CnkG<5z> 超表面晶胞分析
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W7\s=t\ ^lI>&I&1 构建超光栅
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X(YR).a~ lhp.zl 初始超表面设计的评估
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lRy^Wp bL6, fUS 参数优化
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ZcP/rT3{^ UP+4xG VirtualLab Fusion的工作流程
OG!+p}yD] 分析超表面晶胞
`~+1i5-} - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
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jq 构造超光栅
A;ti$jy 分析光栅衍射效率
)<>1Q{j@ - 光栅级次分析 [用例]
`P(Otr[6 光栅
结构参数优化
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oiKY2.yW @i9eH8lT VirtualLab Fusion技术
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