摘要
{/[@uMS_6] UG vIH m 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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ff9m_P ZllmaI 设计任务
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仅位相透射设计(IFTA)
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^J# U" @5R[=F- 初始超表面设计的评估
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uVYn,DB` &4E|c[HN 参数优化
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S5|7D[* Y1o[|ytW 优化超光栅设计的评估
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/A5=L<T6F 3SM'vV0[ VirtualLab Fusion的工作流程
%n]jsdE^| 分析超表面晶胞
]:ca=&> - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
9f['TG," 构造超光栅
N+V#=Uy 分析光栅衍射效率
+4J'> dr - 光栅级次分析 [用例]
hgZvti 光栅
结构参数优化
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VI3fvGHat{ j gV^{8qG VirtualLab Fusion技术
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