摘要
, L5.KwB fO}Y$y\q 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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S904' 设计任务
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X({R+ Dw&_6\F@ 仅位相透射设计(IFTA)
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2rqYm6 Ew2ksZ>B]& 超表面晶胞分析
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k2DBm q; vLQh r&I 构建超光栅
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W_ubgCB IfpFsq: 初始超表面设计的评估
ZJ}|t J}s)#va9R
qW t 9Tr uDG#L6 参数优化
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A!p70km2 y0cB@pWp 优化超光栅设计的评估
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1}jwv_0lL APY*SeIV 走进VirtualLab
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'>"-e'1m( ^r0mx{i& VirtualLab Fusion的工作流程
ccJ!N 分析超表面晶胞
+)-`$N - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
"P{T] 构造超光栅
EFS2 zU 分析光栅衍射效率
O)9{qU:[b - 光栅级次分析 [用例]
VU
8~hF 光栅
结构参数优化
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|\S p IFH1 PV/SzfvIq VirtualLab Fusion技术
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