摘要
*{k{ 4g2`[< S 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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<pa-C2Ky !v=/f_6 设计任务
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f{O-\ y(22m+B 仅位相透射设计(IFTA)
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T+EwC)Ll X(Mpg[,N" 仅位相透射设计(IFTA)
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\),f?f-m dMsS OP0E 超表面晶胞分析
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?SO!INJ p^q/u 构建超光栅
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G4'Ee5(o )6X-m9.X 初始超表面设计的评估
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$\nb]JQ b&4JHyleF 参数优化
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8mRZ(B>% X +]-'{%-zK 优化超光栅设计的评估
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:BV $3]y <*^|Aj|# 走进VirtualLab
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<o3I<ci6 )!E: VirtualLab Fusion的工作流程
W)]&G}U< 分析超表面晶胞
4Y3@^8h&= - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
T95FoA 构造超光栅
VB4V[jraCF 分析光栅衍射效率
o$% KbfXO] - 光栅级次分析 [用例]
hS &H* 光栅
结构参数优化
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rwW"B )G, S7A VirtualLab Fusion技术
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