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与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 9TAj) {U%'
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设计任务 d`
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超表面晶胞分析 iL7VFo:Q
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构建超光栅 8by@iQ
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初始超表面设计的评估 A%\tiZe
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参数优化 8I,QD`
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优化超光栅设计的评估 19q{6X`x
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走进VirtualLab &2I*0
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VirtualLab Fusion的工作流程 s:y
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分析超表面晶胞 F&;
- 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] ;o<m}bGaT
构造超光栅 K^t?gt@k}
分析光栅衍射效率 uENdI2EY8y
- 光栅级次分析 [用例] 2yo
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光栅结构参数优化 a1N!mQ^
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VirtualLab Fusion技术 4QJ8Z t
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