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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 k_/*> lIZY  
     (gQP_Oa(  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 cY0NQKUk~  
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    建模任务 *%E4 ,(T  
    T]HeS(  
     gE\&[;)DB  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ,` 6O{Z~  
     Uc^eIa@  
    某一位置的Talbot图样 SYkwM6  
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    某一位置的Talbot图样 ($'W(DH4  
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    不同位置的Talbot图样 1-0tG+  
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    不同位置的Talbot图样 z?dd5.k  
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    沿Z轴的强度 2,aH1Xbex  
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    走进VirtualLab Fusion aKjP{Z0k$  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 ja^_Lh9  
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     构建光栅结构 >3ax `8  
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