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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 @mNJ=mEV  
     *i@T!O(1)M  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 PtqGX=u  
    R*\~k%Z  
     ssA7Dx:  
    'in@9XO  
    建模任务 Zih ?Bm  
    T .hb#oO  
     $kl$D"*0  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) R6<4"?*r  
     a,cC!   
    某一位置的Talbot图样 n,sY\=vB  
    > H~6NBd5D  
     2( _=SfQ  
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    某一位置的Talbot图样 $rB6<  
    3S;N(A4  
     :".w{0l@  
    +Vy_9I(4Z  
    不同位置的Talbot图样 :XYy7xz<  
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     a q kix"J  
    CV3DMA  
    不同位置的Talbot图样 r.<JDdj  
    *KJ7nRKx(w  
     sOz sY7z3Z  
    5(#-)rlGj  
    沿Z轴的强度 VaJfD1zd1  
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    走进VirtualLab Fusion gc,Ps  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 gl "_:atW  
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     构建光栅结构 Ag6uR(uI  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] %Rarr  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] IT&i,`cJ~F  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 j|(:I:]  
    - 参数运行文件的使用 [用例] jyQVSQ s  
    J3IRP/*z  
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    VirtualLab Fusion技术 t 7^D-l  
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