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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 #]yb;L  
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    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 EuAJ.n  
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     XMM@EN  
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    建模任务 ZcXqH7`r  
    su`] l"[,]  
     aQ ~  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) U+!H/R)(  
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    某一位置的Talbot图样 ; b2)WM:  
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    某一位置的Talbot图样 b|c?xHF}K  
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    不同位置的Talbot图样 /hue]ZaQq  
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    不同位置的Talbot图样 8VLr*83~8  
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    Dg_/Iu>OAE  
    沿Z轴的强度 A"V3g`dP  
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    +:2(xgOP.V  
    走进VirtualLab Fusion V%pdXM5  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 l_LfVON  
    #(@dN+  
     构建光栅结构 RIUJ20PfYQ  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] kImGSIJ  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 17G7r\iNYq  
    R|{6JsjG10  
     通过参数运行计算不同位置的强度 3Gt'<E|"  
    - 参数运行文件的使用 [用例] EOV<|WF>  
    nX>k}&^L  
    K}O~tff  
    4EuZe:'X  
    VirtualLab Fusion技术 G%anot  
    KhZ'Ic[vw  
     t09,X  
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