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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 2WKYf0t  
     Zd2B4~V  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 D..dGh.MY  
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     J>H$4t#HX  
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    建模任务 O8&=qZ6T  
    oCl $ 0x  
     3J^"$qfSn  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 3^ct;gz  
     r2KfZ>tWg"  
    某一位置的Talbot图样 ?{@UB*  
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    某一位置的Talbot图样 }8H_^G8  
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    不同位置的Talbot图样 {_ &*"bK  
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    不同位置的Talbot图样 (qf%,F,_L  
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     #FAy ]7/O  
    Dy_ayxm  
    沿Z轴的强度 B=4xZJ Py  
    /< OoZf+[  
     <{t*yMr   
    **oa R  
    走进VirtualLab Fusion 8'niew 5d  
    mes/gqrJ1I  
     q y]tuKZI  
    K *<+K<Tp  
    VirtualLab Fusion的工作流程 2j9+ f{ l  
    XZ|%9#6  
     构建光栅结构 TSgfIE|  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 0 `Yg  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 5:oteNc3  
    _TGv"c@V  
     通过参数运行计算不同位置的强度 LSX;|#AI  
    - 参数运行文件的使用 [用例] <)f1skJsP  
    6~:eO(pK l  
    OoG Nij  
    2{- };  
    VirtualLab Fusion技术 PVNDvUce  
    a#U2y"  
     +>w %j&B  
       i4Ps#R_wx  
     
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