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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 VVlr*`  
     >7 ="8  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 LGn:c;  
    6Yln, rC  
     RCpR3iC2  
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    建模任务 +U3DG$  
    }~L.qG  
     Abc)i7!.,.  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ')cMiX\v  
     ;0Tx-8l  
    某一位置的Talbot图样 HAa; hb  
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    某一位置的Talbot图样 r8RoE`/T  
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     cz8T  
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    不同位置的Talbot图样 *_d7E   
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    不同位置的Talbot图样 glDu2a,Q  
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    沿Z轴的强度 VZKvaxIk6  
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    走进VirtualLab Fusion 8.O8No:'&  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 s;ls qQk  
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     构建光栅结构 },{$*f[  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] T4Pgbop  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] yb\_zE\  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 0x@6^ %^\  
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    VirtualLab Fusion技术 I 5^!y  
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