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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 &K!0yR  
     K:XXtG  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ^XyC[ G@[  
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    建模任务 %D-!< )z  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) $lB!Q8a$  
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    沿Z轴的强度 fZs}u<3Q)  
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    ) fuAdG  
    VirtualLab Fusion的工作流程 | v>W  
    j`u2\ ;  
     构建光栅结构 CW@EQ3y0  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] |em_l$oGc  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] gBgaVG  
    gW G>}M@  
     通过参数运行计算不同位置的强度 7Or?$  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ?YFSK  
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    VirtualLab Fusion技术 tTq2 AR|  
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