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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 =f7r69I"  
     BNucc']  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 3,eIB(  
    AuiFbRFi  
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    建模任务 #exss=as/  
    H+C6[W=  
     yTBS=+X  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) TMVryb  
     @aG&n(.!u*  
    某一位置的Talbot图样 xN"Z1n7t  
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    某一位置的Talbot图样 4)1;0,tlG  
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     KeBQH8A1N  
    *r,b=8|  
    不同位置的Talbot图样 5#JJ?  
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     >cR)?P/o  
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    不同位置的Talbot图样 e [0w5)X   
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     ` %?9=h%  
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    沿Z轴的强度 I9y.e++/  
    F[`ZqW  
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    H AB#pd9  
    走进VirtualLab Fusion ; y.E!  
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    u5E]t9~Pq  
    VirtualLab Fusion的工作流程 kODK@w V-  
    g /+oZU  
     构建光栅结构 ]$iN#d|ZU  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] h y-cG%f  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] LXfCmc9|Z  
    Qvoqx>2p5  
     通过参数运行计算不同位置的强度 /CX VLl8~  
    - 参数运行文件的使用 [用例] }At{'8*n  
    +|RB0}hFS-  
    {I1~-8  
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    VirtualLab Fusion技术 O>0VTW  
    9@VO+E$7L  
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