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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 E3 aj  
     JX2@i8[~  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 u*<knZ~ty  
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     {h}e 9  
    P(~vqo>!  
    建模任务 m7.6;k.  
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     @SH$QUM(  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) = GZ,P (  
     LVxR *O  
    某一位置的Talbot图样 M%1wT9  
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    某一位置的Talbot图样 61&A`  
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    不同位置的Talbot图样 &bT \4  
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    不同位置的Talbot图样 NaYr$`  
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     ,p[9EW*8  
    Ig"Qw vR  
    沿Z轴的强度 +:#UU;W  
    Zp <^|=D  
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    走进VirtualLab Fusion KVZ-T1K  
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     oS Apa  
    S_dM{.!Z(,  
    VirtualLab Fusion的工作流程 M Qlx&.>  
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     构建光栅结构 OVa38Aucr3  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] .|z8WF*  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] oeIza<:=R  
    U6yZKK  
     通过参数运行计算不同位置的强度 Hw 1cc3!  
    - 参数运行文件的使用 [用例] "6 \_/l  
    Eu1t*>ZL  
    A4hbh$  
    xmBGZ4f%  
    VirtualLab Fusion技术 P QA}_o  
    X>4qL'b:z  
     TIYo&?Z)  
       \S[I:fw#&  
     
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