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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 RM2Ik_IH[l  
     4>gfLK\R:  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 VeA@HC`?"  
    (t4i&7-  
     t;8)M $ p  
    h,{m{Xh  
    建模任务 [EAOk=X  
    =^9h z3 j  
     W{6QvQD8  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) "Lp.*o  
     'n &p5%  
    某一位置的Talbot图样 t>bzo6cj  
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    某一位置的Talbot图样 P3oYk_oW  
    PQHztS"  
     GkAd"<B  
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    不同位置的Talbot图样 aHhLz>H'  
    A(y6]E!  
     X5)D[aE6  
    /`PYk]mJh  
    不同位置的Talbot图样 VUP|j/qD  
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    沿Z轴的强度 t[|oSF#i  
    Pf;OYWST  
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    走进VirtualLab Fusion z g7Q`  
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    WB jJ)vCA.  
    VirtualLab Fusion的工作流程 Jz8P':6[  
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     构建光栅结构 !r/i<~'Bx  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] i\xs!QU  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] Y>$5j}K  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 %`C e#b()'  
    - 参数运行文件的使用 [用例] @&*TGU  
    OTy!Q,0$.  
    M"z=114  
    xF_u:}7`  
    VirtualLab Fusion技术 h,[L6-n  
    Zg+.`>z  
     \`k=9{R.  
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