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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 O su 75@3  
     E'g?44vyw  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 QgF2f/;!  
    ! (H RP9  
     }uFV\1  
    S UB rFsA  
    建模任务 SJ7-lben3  
    k-jlYHsA  
     OCN:{  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) '.gLqm}%  
     P*!~Z *"  
    某一位置的Talbot图样 '/U%-/@  
    -`cNRd0n  
     n_9Wrx328  
       7W.z8>p  
    某一位置的Talbot图样 x'iBEm  
    E51'TT9  
     w+][L||4c  
    "2_nN]%u-  
    不同位置的Talbot图样  i|!D  
    a/Ik^:>m  
     {36QZV*P  
    ecdM+kP  
    不同位置的Talbot图样 FT;I|+H*P  
    *r/o \pyH  
     -~NjZ=vPh  
    :G4)edwe  
    沿Z轴的强度 ? 4v"y@v  
    } $oZZKS  
     gg?O0W{  
    k vF[d{l  
    走进VirtualLab Fusion N"Cd{3  
    SU7 erCHX  
     LTZ~Id-)P  
    z^Y4:^L~I  
    VirtualLab Fusion的工作流程 rd ]dD G  
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     构建光栅结构 *@E&O^%cO  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 2PViY,V|  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] # XeEpdE  
    3e?a$~9  
     通过参数运行计算不同位置的强度 rPx:o}&<  
    - 参数运行文件的使用 [用例] i:sb_U+M  
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    VirtualLab Fusion技术 K*aGz8N  
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