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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 9HtzBS  
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    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 $CXMeY{tOo  
    qt.G_fOz  
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    建模任务 ;aY.CgX  
    )37.H^7  
     <hS %I  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) -F-RWs{yS  
     e\[z Q 2Z3  
    某一位置的Talbot图样 h8ikM&fl  
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    某一位置的Talbot图样 B*zR/?U^  
    na5:)j4<  
     vLc7RL  
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    不同位置的Talbot图样 aT]G&bR?  
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    不同位置的Talbot图样 ,D6hJ_:  
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    沿Z轴的强度 lJ'. 1Z&  
    P$ a `8~w  
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    \e=Iw"yd  
    走进VirtualLab Fusion \BoRYb9h  
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     'T '&OA  
    h6yXW! 8  
    VirtualLab Fusion的工作流程 l[MP|m#  
    #dvH0LX?  
     构建光栅结构 udEJo~u  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] /uh?F  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 'V*ixK8R0  
    C9,|G7~*q  
     通过参数运行计算不同位置的强度 c Nhy.Z~D  
    - 参数运行文件的使用 [用例] M_:_(y>l  
    Ve]ufn6  
    GH6HdZ  
    f>*D@TrU  
    VirtualLab Fusion技术 (P+TOu-y\  
    \1[=t+/  
     aB=&XGV9  
       &gP/<!#  
     
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