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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 = Rc"^oS  
     |@VF.)_  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 _EYB 8e  
    vrl[BPI  
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    建模任务 ;\)=f6N  
    uf)Oy7FQ  
     !DjT<dxf  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Db03Nk>#  
     E%k7wM {  
    某一位置的Talbot图样 h#f&|* Q5m  
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    不同位置的Talbot图样 ?AsDk~3  
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    不同位置的Talbot图样 m3 IP7h'  
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    沿Z轴的强度 d?Y-;-|8Qh  
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    走进VirtualLab Fusion 1i?=JAFfM  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 [yd6gH  
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     构建光栅结构 a&5g!;.  
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    VirtualLab Fusion技术 Ow3a0cF[9  
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