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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 5Vvy:<.la  
      R6AZIN:  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 vk#xCggK  
    p(x[zn+%Y  
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    建模任务 7`WK1_rR\  
    xSLN  
     .eeM&n;c  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) WnIh( 0  
     myJsRb5  
    某一位置的Talbot图样 8Ipyr%l  
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    某一位置的Talbot图样 h<uRlTk  
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    不同位置的Talbot图样 u37+B  
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    不同位置的Talbot图样 U :IQWlC  
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     GadD*psD2  
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    沿Z轴的强度 Q4Cw{2r  
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     3:76x  
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    走进VirtualLab Fusion 6rR}qV,+{  
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     9v/1>rziE  
    eLl ;M4d  
    VirtualLab Fusion的工作流程 @mw1(J  
    (Kx3:gs  
     构建光栅结构 jagsV'o2  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] i\N,4Fdor  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] sx|=*j,_  
    ,.DU)Wi?}  
     通过参数运行计算不同位置的强度 t*n!kXa  
    - 参数运行文件的使用 [用例] T} U`?s`)  
    539[,jH  
    HbV[L)zYG  
    %/~Sq?f-9@  
    VirtualLab Fusion技术 |nv8&L8  
    wl}Q|4rZ  
     +AXui|mn  
       \ocJJc9  
     
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