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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 M("sekL  
     ?C fQwY#N  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 }gX hN"  
    d]sqj\Q57  
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    建模任务 qQ)1+^  
    dI%jR&.e;  
     m0^ "fMV  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) u4 es8"  
     {c3FJ5:  
    某一位置的Talbot图样 e6_8f*o|s  
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    不同位置的Talbot图样 #Swc>jYc  
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    不同位置的Talbot图样 25`W"x_  
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    T'7>4MT(  
    沿Z轴的强度 f@ |[pT  
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    走进VirtualLab Fusion p#4*:rpq4  
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    <Tgubv+J  
    VirtualLab Fusion的工作流程  y_[VhZ%  
    ^pe/~ :a  
     构建光栅结构 UGM:'xa<T  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 7^rT-f07  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] e^~dx}X  
    9(HGe+R4o  
     通过参数运行计算不同位置的强度 +|S)Mm8-  
    - 参数运行文件的使用 [用例] vxPr)"Vvz  
    >clVV6B  
    !p\ @1?  
    +ah4 K(+3  
    VirtualLab Fusion技术 pK{G2]OK{U  
    <<qzZ+u  
     )2W7>PY  
       ZI$P Qz2i  
     
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