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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 FE~D:)Xj'?  
     HEF e?  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ;)(g$r^_i  
    $5R2QNg n  
     -K64J5|b7  
    oJ74Mra  
    建模任务 O *sU|jeO  
    `\kihNkJn3  
     k?+ 7%A]  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 7*!7EBb  
     'NEl`v*<P  
    某一位置的Talbot图样 .uuhoqG0  
    ~||0lj.D  
     -50DGA,K6  
       mptFd  
    某一位置的Talbot图样 Re$h6sh  
    bdg6B7%Q  
     PsC")JS  
    L:$4o  
    不同位置的Talbot图样 uUH4vUa  
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    不同位置的Talbot图样 z*\_+u~u  
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     z 6:Wh  
    Pe`(9&iT.  
    沿Z轴的强度 ;qshd'?*  
    9LDv?kYr  
     AI|vL4*Xd  
    Y6` xb`  
    走进VirtualLab Fusion Z>hTL_|]a{  
    VmS_(bM  
     4Yj1Etq.E  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 Qs6<(zaqkt  
    o`bch? ]  
     构建光栅结构 uO%0rKW  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 1Cr&6't  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] po| Ux`u  
    "-~ 7lY%  
     通过参数运行计算不同位置的强度 +jm,nM9  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 0dch OUj  
    Y|>dS8f;4  
    l/.{F;3F  
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    VirtualLab Fusion技术 ]3KeAJ  
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