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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 ]w&?k:y>  
     qKI4p3&E  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 D,m&^P=%e  
    hD9' `SQ  
     ?@,f[U-  
    66Cj=n5  
    建模任务 6LF^[b/u  
    C6;](rN)N  
     BW(DaNt^  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) n<Xm%KH.  
     GQ8D j!8  
    某一位置的Talbot图样 EL)/5-=S  
    vY+_tpuEH  
     +oKpA\mz  
       +%cr?g  
    某一位置的Talbot图样 "n2xn%t{  
    VdN+~+A:  
     88+\mX;A#  
    N6m*xxI{  
    不同位置的Talbot图样 b6E8ase:F  
    X0r#,u  
     $/U^/2)  
    FO3eg"{N  
    不同位置的Talbot图样 9rvxp;  
    ,h)T(  
     w _6Y+  
    Xy(SzJ %  
    沿Z轴的强度 ;?L[]Ezzt  
    dxhjPS~^Q  
     4Xb}I;rM  
    /IQ-|Qkg  
    走进VirtualLab Fusion rsIPI69qJ.  
    BNKo6:wy  
     3M:B?2  
    #+DmH  
    VirtualLab Fusion的工作流程 JI#Enh!Lv  
    _F$t#.o  
     构建光栅结构 HZQ3Ht3Vh  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] "GC]E8&>H  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] {p_vR/ yN  
    %dWFg<< |  
     通过参数运行计算不同位置的强度 uP'w.nA&2  
    - 参数运行文件的使用 [用例] \oZUG  
    5]n<%bP\  
    Rb>RjHo S  
    vgbjvyfN  
    VirtualLab Fusion技术 ~b<4>"7y.  
    QRG)~  
     aD3F!Sn  
        F3r  
     
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