切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 710阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6822
    光币
    28260
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 Cl.x'v  
     Y>z>11yEB0  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Oamg]ST  
    ')Zvp7>$  
     Z3e| UAif  
    >~rTqtKd  
    建模任务 ,oe <  
    2ACCh4(/P  
     eu|YCYj)g  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) !.$I["/=  
     m,28u3@r  
    某一位置的Talbot图样 1#g2A0U,  
    L< S9  
     l9~e". ~'  
       _{O>v\u  
    某一位置的Talbot图样 yF:1( 4  
    T~?Ff|qFC  
     S>+|OCl";  
    E`JI>7  
    不同位置的Talbot图样 g'f@H-KCD  
     N];NAMp  
     `RT>}_j  
    68|E9^`l  
    不同位置的Talbot图样 2szPAuN+  
    Hvauyx5T  
     w(Ovr`o?9t  
    ?,Xw[pR  
    沿Z轴的强度 FkDmP`Od  
    5ta `%R_  
     pad*oPH,  
    %Xg4b6<9  
    走进VirtualLab Fusion ;;Y! ^^g  
    A  'be8  
     "Y.tht H  
    2|y"!JqE1  
    VirtualLab Fusion的工作流程 I|!OY`ko  
    \\ij(>CI  
     构建光栅结构 @7c?xQVd$  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] \7eUw,~Q>  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] /<k/7TF`  
    7WqH&vU|  
     通过参数运行计算不同位置的强度 Es`Px_k  
    - 参数运行文件的使用 [用例] m~ABC#,2  
    @;4zrzQi7  
    qq`4<0I>  
    ",t?8465y  
    VirtualLab Fusion技术 s^TZXCyF o  
    dDMJ'  
     xu%k~4cB,  
       =BeygT^  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表