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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 S#ud<=@!9  
     Y]}>he1/5  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 7lQ:}&  
    G:PcV_ihx  
     +d8?=LX  
    Z9I ?j1K|!  
    建模任务 rEs Gf+4  
    S\11 8TpD  
     lJ4&kF=t  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ;u?H#\J,  
     u6p nO  
    某一位置的Talbot图样 {F$MZ2E  
    \8-PCD  
     R%%h=]  
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    某一位置的Talbot图样 dO[pm0  
    }mQh^  
     v0~*?m4  
    _dw6 C2]P  
    不同位置的Talbot图样 X$$b:q  
    G2_l}q~  
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    不同位置的Talbot图样 %-, -:e  
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     <nT).S>+  
    -]vPF|  
    沿Z轴的强度 { BDUl3T  
    `n`aA)|<  
     5Og=`T  
    gK"E4{y_@  
    走进VirtualLab Fusion 0 8 aZU  
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     NYN(2J  
    tcS7 @^'  
    VirtualLab Fusion的工作流程 U6R~aRJ;  
    UZRCJ  
     构建光栅结构 .UJjB}4$f  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] srfM"Lb'  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] IgU65p  
    0hx EI  
     通过参数运行计算不同位置的强度 <gc\ ,P<ru  
    - 参数运行文件的使用 [用例] M%Dv-D{  
    h; 8^vB y  
    C@[f Z  
    lCMU{)  
    VirtualLab Fusion技术 =M+enSu  
    ^ s@'nKc  
     ,~,{$\p   
       a6fqtkZ x  
     
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