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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 nY'V,v[F  
     Z.VKG1e}  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 F8pA)!AH  
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    建模任务 `Ba]i)!  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) mx Nd_{n  
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    某一位置的Talbot图样 n !)$e;l  
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    某一位置的Talbot图样 ;aQ`` B  
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    不同位置的Talbot图样 *HoRYCL  
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    不同位置的Talbot图样 Pn,I^Ej.  
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    沿Z轴的强度 ibkB>n{(  
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    走进VirtualLab Fusion o[Ffa# sE  
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     构建光栅结构 [)"\Aq  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] |  0  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] M9iX_4  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 Rqe. =+Qs  
    - 参数运行文件的使用 [用例] qo [[P)tq  
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    VirtualLab Fusion技术 _vTr?jjfK  
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