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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 G(6MLh1  
     pk,]yi,ZF  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ;Q&|-`NK  
    .*z Wm  
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    建模任务 mqFo`Ee  
    l[D5JnWxt  
     C+=8?u<  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) gZLzE*NZ  
     @CJ`T&  
    某一位置的Talbot图样 sa26u`?  
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    某一位置的Talbot图样 eAPNF?0yh  
    S[zX@3eZV  
     6bXR?0$*M.  
    8r46Wr7Q  
    不同位置的Talbot图样 _'"whZ)2  
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    不同位置的Talbot图样 =K ctAR;  
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     c4'k-\JvT  
    BlrZ<\-/  
    沿Z轴的强度 ZWH9E.uj  
    lPywr TG0  
     s.p4+K J  
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    走进VirtualLab Fusion Z&VH7gi  
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     c6@7>PM  
    7i$)iNW  
    VirtualLab Fusion的工作流程 xR`W9Z5  
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     构建光栅结构 +"i|)yUYy}  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] i6Kcj  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] WX9ABh&5  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 Tt.#O~2:9  
    - 参数运行文件的使用 [用例] Z@G[\"  
    \[57Dmo  
    _,?<r&>v6  
    jrl'?`O  
    VirtualLab Fusion技术 H`:2J8   
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     Duu)8ru  
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