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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 @!;A^<{ka  
     +|C@B`h  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 N8]DzE0%  
    FH</[7f;@N  
     [3dGHf;miw  
    m2SJ\1 J=  
    建模任务 <?41-p-;  
    1 |z4]R,<  
     4KH'S'eR  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ^"Bhp:o2  
     S @[]znH  
    某一位置的Talbot图样 gj|5"'g%  
    $YJ 1P  
     O 0}uY:B  
       GwO`@-}E  
    某一位置的Talbot图样 >p&"X 2 @  
    Sr+hB>{  
     HOi~eX1d  
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    不同位置的Talbot图样 5,xPB5pK  
    B9l~Y/3|  
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    不同位置的Talbot图样 Aa-5k3:x]=  
    BMq> Cj+  
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    沿Z轴的强度 X$xf@|<a  
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