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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 ft*0?2N~  
     .{;!bw  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 sogbD9Jc  
    395o[YZx*  
     EUn"x'   
    u}rot+)%  
    建模任务 NY;UI (<]  
    &59#$LyH`%  
     0>;#vEF*1  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) a "DV`jn  
     Y-Ku2m  
    某一位置的Talbot图样 ?.A|Fy^  
    I>3]4mI*a  
     1;xw)65  
       Wu4Nq+  
    某一位置的Talbot图样 q5!l(QL.  
    t? A4xk  
     F^NR qE  
    pjCWg 4ya  
    不同位置的Talbot图样 )eFFtnu5  
    7, 13g)  
     -5cH$]1\  
    4d 3Znpf  
    不同位置的Talbot图样 eq+o_R}CS  
    j>Z]J'P  
     j'i42-Lt/p  
    GA_`C"mx  
    沿Z轴的强度 N.G*ii\  
    SN{*:\>,  
     7 h1"8#X  
    s4gNS eA  
    走进VirtualLab Fusion r^E]GDz  
    :]^P ^khK  
     pG( knu  
    9i<-\w^$  
    VirtualLab Fusion的工作流程 z^/GTY  
    tv OAN|+F  
     构建光栅结构 w~U`+2a3  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Inc:t_  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] W #L"5pRg  
    cXY'>N  
     通过参数运行计算不同位置的强度 ?66(t  
    - 参数运行文件的使用 [用例] D'`"_  
    ^B5cNEO  
    <gdgcvd  
    8>{W:?I  
    VirtualLab Fusion技术 iL_F*iK5  
    +w.Kv ;  
     +q j*P9  
       H~|%vjH  
     
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