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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 pUu<0a^  
     [{>1wJ Pdj  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 _1YC9}  
    YB:}L b  
     ZC^NhgX  
    C/9]TkX}q  
    建模任务 XBcbLF  
    N&$ ,uhmO  
     .F$cR^i5u  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) I_R6 M1  
     tCw B 7 c-  
    某一位置的Talbot图样 /cvMp#<]  
    8NJT:6Q7l  
     $++O@C5  
       uZI7,t-7  
    某一位置的Talbot图样 eYu0")  
    EP+LK?{%  
     F'B0\v =  
    vF[ 4kDHk  
    不同位置的Talbot图样 mGkQx -|  
    v?%vB#A^  
     2n-kJl`: O  
    B$ho g_=s  
    不同位置的Talbot图样 H(y Gh  
    '6*9pG-  
     x]3[0K5;  
    lWT`y  
    沿Z轴的强度 4G XS(  
     Q7tvpU  
     >vO+k^'Y  
    w8 `1'*HG  
    走进VirtualLab Fusion W,_2JqQp  
    J(w FJg\/  
     DVJn;X^T:  
    (XY`1|])`  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ED>a'y$f  
    !ab ef.%:  
     构建光栅结构 zgH*B*)bj  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] S kB*w'k  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] U4yl{?  
    ;oDr8a<A  
     通过参数运行计算不同位置的强度 \k{[HfVvn  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ?,8+1"|$A]  
    kRBO]  
    G.v(2~QFd  
    e?*Teb ?R  
    VirtualLab Fusion技术 3eXIo=  
    GNq f  
     Id>4fF:o  
       HEIg_6sb  
     
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