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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 ); 6,H.v  
     8,o17}NY,  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 +#]|)V Z  
    C%ytkzG_  
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    PM4>ThQ  
    建模任务 djT. 1(  
    .yVnw^gu  
     ggou*;'  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 4VIg>EL*  
     =p&sl;PsLw  
    某一位置的Talbot图样 C>*n9l[M~  
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    某一位置的Talbot图样 KtTza5aF  
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     '@:[axu  
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    不同位置的Talbot图样 Q[s 2}Z!N;  
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    不同位置的Talbot图样 VjTe4$ *  
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    沿Z轴的强度 <lOaor c  
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    走进VirtualLab Fusion Lh 9S8EU  
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     8^w/HCC8O  
    y`b\;kd  
    VirtualLab Fusion的工作流程 (/fT]6(  
    bag&BHw  
     构建光栅结构 ~JE|f 7  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] =hcPTU-QU  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] -SJSTO[/J  
    99KVtgPm  
     通过参数运行计算不同位置的强度 Qcgu`]7}  
    - 参数运行文件的使用 [用例] IIax gfhZ  
    n{=7 yK  
    .&chdVcxyS  
    gUGOHd(A  
    VirtualLab Fusion技术 QUPf *3Oy  
    hwDXm9  
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       Uk02IOXQ  
     
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