切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 748阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6952
    光币
    28910
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 >7^i>si  
     h.D*Y3=<  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Lavm  
    5\|u] ~b  
     XexslzI  
    =f*Wj\  
    建模任务 69>N xr~k  
    g<"k\qs7  
     pHkhs{/X  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) l{b*YUsz>  
     5$C]$o}  
    某一位置的Talbot图样 QY]G+3W  
    A]k-bX= s  
     y8QJ=v* B  
       Z 71.*  
    某一位置的Talbot图样 pg;y\}  
    |KQkmc  
     Z?}yPs Ob  
    hR1n@/nh  
    不同位置的Talbot图样 /y<nAGtD&  
    |-SImxV  
     s wIJmA  
    '&#YaD=""  
    不同位置的Talbot图样 Xzp!X({   
    I/ q>c2Pw$  
     5/>W(,5}  
    ' 3MCb  
    沿Z轴的强度 {zf)im[.  
    V<+= t{  
     JO `KNI  
    8^FAeV#  
    走进VirtualLab Fusion ^`&?"yj<z  
    g)@d(EYY  
     Z[{k-_HgAm  
    }&{z-/;H  
    VirtualLab Fusion的工作流程 _,m|gr ,S  
    rL=_z^.P  
     构建光栅结构 kA1C&  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ;HPQhN_  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] =oPc\VYW  
    aN/0'V|&ym  
     通过参数运行计算不同位置的强度 h/t{= @ .5  
    - 参数运行文件的使用 [用例] &S8Pnb)d  
    D@cv{ _M/  
    V?*\ISB`}  
    1sT%g}w@|  
    VirtualLab Fusion技术 UJWkG^?  
    =h<LlI^v  
     \~:Uj~  
       > (.V(]{3y  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表