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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 NM06QzE  
     *<J*S#]  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 t1%_DPD%W  
    =Jym%m  
     [h,QBz  
    n-%s8aaVf  
    建模任务 Z"AQp _  
    >hr{JJe  
     ^g`&7tX  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) lg b?)=  
     d.P\fPSD  
    某一位置的Talbot图样 qcN'e.A  
    c.j$9=XLBG  
     M6}3wM*4  
       1u6^z  
    某一位置的Talbot图样 ;W^o@*i{>  
    (e[}/hf6  
     D`VM6/iQR  
    M-giR:,  
    不同位置的Talbot图样 Mv6 -|O  
    v_nj$1dY6  
     6C+"`(u%V  
    G;~V  
    不同位置的Talbot图样 YxP@!U9dE,  
    jb^N|zb  
     -]t,E,(!  
    qIAoA .  
    沿Z轴的强度 .;*s`t  
    aG 92ay  
     (4Zts0O\  
    9t#S= DP  
    走进VirtualLab Fusion !OuWPH. :  
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     k+DR]icv  
    XGkkB  
    VirtualLab Fusion的工作流程 p^'3Odd|O  
     z~>pVs  
     构建光栅结构 kVy\b E0o  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] NwZ@#D#[ Y  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] cJL'$`gWf  
    ~mR'Q-hi<  
     通过参数运行计算不同位置的强度 LK@lpkX  
    - 参数运行文件的使用 [用例] <E0UK^-}  
    4X *>H  
    !1G."fo  
    Z%n(O(^L  
    VirtualLab Fusion技术 2[ r^M'J  
    91xB9k1zO  
     P'O#I}Dmw<  
       = hN !;7G  
     
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