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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 lfw BUb  
     H66~!J0;a  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ms+gq  
    [f$pq5f='  
     " 68=dC  
    3zM>2)T-  
    建模任务 !+Sd%2o  
    ?DNeL;6  
     IZ.b  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) tf9a- s  
     UC00zW<Z@"  
    某一位置的Talbot图样 x_4{MD^%  
    J+hifO  
     aprgThoD  
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    某一位置的Talbot图样 U/rFH9e$  
    k.H4Mf(4  
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    *NI hYg6  
    不同位置的Talbot图样 OnE~0+  
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    EixAmG  
    不同位置的Talbot图样 h&b s`  
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     !t&C,@Ox  
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    沿Z轴的强度 ` B+Pl6l)F  
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    走进VirtualLab Fusion yf e4}0}  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 28xLaob  
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