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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 hS9;k9w  
     sdS^e`S  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 H)(:8~c,p  
    wfjnA~1h  
     N:9>dpP}O  
    D$JHs4  
    建模任务 ZNx$r]4nF  
    ]~\sA  
     C{d7J'Avk  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ^gFqRbuS  
     $U/YR&vcw  
    某一位置的Talbot图样 :\=CRaA  
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    某一位置的Talbot图样 ]G2uk`  
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    不同位置的Talbot图样 ?:Bv iF);/  
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    不同位置的Talbot图样  H}:LQ~_2  
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    沿Z轴的强度 uWrQ&}@  
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    走进VirtualLab Fusion A7c/N=Cp^  
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     U!m @DJj  
    8?FbtBAn  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ?^j^K-rx  
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     构建光栅结构 rL5z]RY  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] %4W$Lq}  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ko^\ HSXl  
    'u` .P:u?  
     通过参数运行计算不同位置的强度 > 0<)=  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ] 7 _`]7p  
    5 Qoew9rA  
    y?SyInt  
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    VirtualLab Fusion技术 ?i`l[+G  
    #M!!CX*k  
     &[hLzlrg  
       e]Zngt?b  
     
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