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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 ;e6L@)dp9  
     DO6 pv  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 HutQx  
    &Gs/#2XQ  
     ';xp+,'}\  
    KzQuLD(e  
    建模任务 Dg*'n  
    r-o+NV  
     p %hvDC  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) lUd4`r"  
     BAojP1}+,  
    某一位置的Talbot图样 l~mj>$  
    'm0_pM1:D  
     jHk.]4&0  
       %LBf'iA  
    某一位置的Talbot图样 p ^ ONJL  
    + cZC$lo  
     9SXpZ*Sx  
    S 9|^VU  
    不同位置的Talbot图样 C5Mpm)-%  
    49= K]X  
     mFt\xGa  
    cN`P5xP'  
    不同位置的Talbot图样 ssAGWP  
    qtuT%?wT@Z  
     !X`cNd)0Xo  
    u)vS,dzu  
    沿Z轴的强度 duc\/S'  
    T?CQgVR  
     o1thGttVDg  
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    走进VirtualLab Fusion  PZj}]d `  
    ;H9 W:_ahE  
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    xVTl  
     构建光栅结构 &FG0v<f5Pv  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ,(f({l[J}  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ' pIC~  
    .  LeS-  
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    - 参数运行文件的使用 [用例] P!gY&>EU  
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    ,{_56j^d,  
    VirtualLab Fusion技术 EqOhzII^  
    zb s7G  
     fi%lN_Ev?  
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