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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 a"EP`  
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    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 0vQ@n7  
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    建模任务 8<Asg2]6  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) %L}9nc%~eP  
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    某一位置的Talbot图样 X_Is#&6;  
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    某一位置的Talbot图样 _OZrH(8  
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    不同位置的Talbot图样 zIf/jk  
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    不同位置的Talbot图样 `22F@JYN  
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    沿Z轴的强度 R#`hT  
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    走进VirtualLab Fusion 79n,bb5  
    ,jQkR^]j-  
     F]N9ZWn /  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 [~` ; .7~  
    _]E"hr6a  
     构建光栅结构 \kF}E3~+#  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Yl% Ra1  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] s+2\uMwf*  
    *JZU 0Xb  
     通过参数运行计算不同位置的强度 AH;0=<n  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 7h<B:~(K  
    [a53H$`\5  
    &q#$SU,$(  
    cAM1\3HWT"  
    VirtualLab Fusion技术 &1ASWllD  
    wz+  
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