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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 |V}tTx1  
    8eh3K8tL#  
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 zcOm"-E-  
    J.g6<n  
    Q>\DM'{:4  
    FW3E UC)P  
    建模任务 2.@IfBF6  
    eLHhfu;k  
    F!?f|z,/  
    结构材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) (B@\Dw8^  
    8{icY|:MTN  
    某一位置的Talbot图样 0[uOKFgE  
    ^*y 1Fn0  
    |Q%nnN  
       ?hp,h3s;n$  
    某一位置的Talbot图样 KdTWi;mV2-  
    1B 0[dK2N  
    =kOo(  
    !w!k0z]  
    不同位置的Talbot图样 w JgH15oB  
    !-SI &qy  
    \|]+sQWQ  
    7;6'=0(  
    不同位置的Talbot图样 cV`NQt<W  
    <O-R  
    4`V&Yqwl  
    J*%IvRg  
    沿Z轴的强度 Gp?pSI,b.t  
     h y\iot  
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    YoQQ ,  
    走进VirtualLab Fusion W=HHTvK9Hh  
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    o~xGE6A*"  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 }KftV nD?  
    BoARM{m  
     构建光栅结构 m("KLp8  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] )C0I y.N-  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] u<Ch]m+  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 B1Z;  
    - 参数运行文件的使用 [用例] olHmRJ  
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    NJ$Qm.S  
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    VirtualLab Fusion技术 G ,`]2'(@  
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    @aB7dtM  
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