切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 双11活动：领红包、购物券啦！ CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 954阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    7305
    光币
    30666
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 ;ty08D/  
     Zndv!z  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 a,>`ab%>  
    !:zWhu,  
     HutwgPvy  
    kimqm  
    建模任务 !Z0p94L  
    e\Igc.  
     5:" zs  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) vv 7T/C  
     ZSs)AB_Pe/  
    某一位置的Talbot图样 #YEOY#  
    0vi)m y;!  
     ~a5-xWEZ  
       KV1/!r+*  
    某一位置的Talbot图样 A7eF.V&  
    06r-@iY.]  
     7BNu.5*y  
    J/-&Fa\(  
    不同位置的Talbot图样 B'@a36  
    =x QLf4>  
     :<"b"{X"  
    1kDr;.m%  
    不同位置的Talbot图样 K0YUN^St  
    mW+QJ`3  
     S|_}0  
    ytsPk2@WR  
    沿Z轴的强度 M~o\K'  
    EId_1F;V^  
     ]TTQ;F  
    `3QAXDWE  
    走进VirtualLab Fusion X6Y<pw`y  
    GELx S!  
     l&2}/A  
    'IykIf  
    VirtualLab Fusion的工作流程 @y+Hb@ >.  
    vz^w %67&  
     构建光栅结构 .3Ag6YI0N  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Y*KHr`\C4  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] yn;sd+:z  
    DjK  
     通过参数运行计算不同位置的强度 W/?\8AE  
    - 参数运行文件的使用 [用例] / }tMb  
    X (0`"rjg  
    *pZhwO !D  
    *pOdM0AE  
    VirtualLab Fusion技术 BY&+fK ae  
    ar!`8"  
     /HiRbwQK#  
       "j]85  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表