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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 p.|NZXk%%a  
     ?|NMJ Qsa7  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 K*[`s'Ip-  
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    "F+m}GJ=a  
    建模任务 d,d ohi  
    eN{ewn#0.  
     sm?V%NX&  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) )~[rb<:)b  
     QRKr2:o{  
    某一位置的Talbot图样 3F ]30  
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    某一位置的Talbot图样 aF]cEe  
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    不同位置的Talbot图样 ,?/AIL]_  
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     PyQ P K,  
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    不同位置的Talbot图样 yYN_]& ag  
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    沿Z轴的强度 GMW,+  
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    走进VirtualLab Fusion C=,O'U(ep  
    'D&[Y)f^  
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    K$kI%eGZA  
    VirtualLab Fusion的工作流程 PDNbhUAV  
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     构建光栅结构 >\4"k4d}  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] w e}G%09L  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] u%b.#!  
    ag{cm'.  
     通过参数运行计算不同位置的强度 Cr>YpWm  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ;5!M+nk  
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    VirtualLab Fusion技术 b;jr;I  
    y*H rv  
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