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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 };%l <Ui;  
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    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 "NqB_?DT  
    z>HeM Mei  
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    建模任务 <a_Q1 l  
    f(Jz*el S  
     *gHGi(U(U  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ,1+AfI  
     u'"VbW3u n  
    某一位置的Talbot图样 5N=QS1<$5  
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    不同位置的Talbot图样 {MK.jw9/  
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    沿Z轴的强度 d\Q~L 3x  
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    走进VirtualLab Fusion H4#|f n  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 .32]$vx  
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     构建光栅结构 "/v{B?~%!  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] |FK ##8  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 8I o--Ew3  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 uh`W} n  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 4,D$% .  
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    VirtualLab Fusion技术 saMv.;s 1^  
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