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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 [%A4]QzWh  
     3uu~p!2  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 7xo4-fIuT  
    qSCv )S(  
     zh I#f0c  
    pE.PX 8  
    建模任务 G$zL)R8GE|  
    SAV%4  
     qm*}U3K  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 0yM[Z':i'{  
     H5cV5E0  
    某一位置的Talbot图样 Z=5qX2fy1*  
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     _Us*+ 2(4L  
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    某一位置的Talbot图样 g.JN_t5  
    gd/H``x|Y  
     ,tH5e&=U01  
    /Ss7"*JLe  
    不同位置的Talbot图样  6Si-u  
    iZ3W"Vd`b  
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    不同位置的Talbot图样 -m= 8&B  
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    沿Z轴的强度 jDM w2#<  
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    走进VirtualLab Fusion nnb8Gcr  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 8;Fn7k_Uf  
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     构建光栅结构 F 09DV<j  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] OU4pjiLx  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] Awv`)"RAR  
    RC|!+ TD  
     通过参数运行计算不同位置的强度 YKbCdLQ  
    - 参数运行文件的使用 [用例] '\fY<Q:!  
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    I]"96'|N  
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    VirtualLab Fusion技术 -V"22sR]  
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     t%zpNd2lk  
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