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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 3:joSQa  
     =t$mbI   
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 :{:?D\%6  
    _qt;{,t  
     `B\KS*Gya#  
    = 6<w'>  
    建模任务 T[h}A"yK;  
    K#UA M .  
     #)A?PO2  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) #A/J^Ko  
     a^c ,=X3  
    某一位置的Talbot图样 n,jE#Z.D  
    UD<^r]'x  
     o|qeh<2=x  
       'Z2N{65  
    某一位置的Talbot图样 2${,%8"0s  
    #/t>}lc  
     +< \cd9  
    "gN*J)!x  
    不同位置的Talbot图样 y- <PsP-I  
    )SL@ >Cij  
     B N*,!fx  
    vQYfoam;  
    不同位置的Talbot图样 ,rFLpQl  
    EkStb#  
     B#GZmv1  
    J4Z<Yt/  
    沿Z轴的强度 pm W6~%}*  
    udEb/7ZL  
     Gj7QG IKx  
    x-V' 0-#U>  
    走进VirtualLab Fusion y>7VxX0xi  
    NkA6Cp[Q,1  
     i[ Gw 7'f  
    |T$a+lHMD  
    VirtualLab Fusion的工作流程 i. u15$  
    h"BhTx7E}  
     构建光栅结构 2>MP:yY;K  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 0$"Q&5Y  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] KSgQ:_u4}  
    p21=$?k!;  
     通过参数运行计算不同位置的强度 BBU84s[  
    - 参数运行文件的使用 [用例] p~, 3A:i  
    RRI>bh]  
    4('0f:9z+  
    Ng."+&  
    VirtualLab Fusion技术 f`u5\!}=!  
    Pzk[^z$C  
     dWW-tHv#  
       9!O+Ryy?\  
     
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