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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 TZg7BLfy  
     ig{5 ]wZ(  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 .>n|#XK  
    A$cbH.  
     KJ_R@,v\  
    D2bUSRrb  
    建模任务 >.|gmo>b  
    hLRQ)  
     3 6 ;hg #  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Df (6DuW  
     43XuQg4  
    某一位置的Talbot图样 ZtVa*xl  
    `Z-`-IL  
      s25012  
       %L3]l  
    某一位置的Talbot图样 nP^$p C  
    o6 /?WR9  
     bd4q/w4q  
    0N.*c  
    不同位置的Talbot图样 YVT^}7#  
    o9i\[Ul  
     OjZ@_V:  
    JFZ p^{  
    不同位置的Talbot图样 iweP3u##  
    W= !f  
     D_Y;N3E/rS  
    $Tg$FfD6&  
    沿Z轴的强度 !T*izMX}  
    KVuv%?  
     #=rR[:M  
    PO&`r r  
    走进VirtualLab Fusion yWzTHW`)Mr  
    r`2& o  
     =R05H2hs  
    amRtFrc|  
    VirtualLab Fusion的工作流程 #XsqTK_nk  
    )n.peZ  
     构建光栅结构 {% P;O ?  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] rfjQx]3pB  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] SpgVsz  
    VI?[8@*Z  
     通过参数运行计算不同位置的强度 xk/(| f{L  
    - 参数运行文件的使用 [用例] om1 / 9  
    ]arP6 iN+  
    ;c`B '  
    :O7J9K|  
    VirtualLab Fusion技术 am}zOr\  
    v,jU9D \  
     5M*p1^ >  
       ;>~iCF k]?  
     
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