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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 ,X}Jpi;/  
     s2`Qh9R  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 bae\EaS ?  
    i_f\dkol  
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    建模任务 /i)>|U 4  
    :r4o:@N'  
     {1;R&  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) S LU$DW;t  
     6wq>&P5  
    某一位置的Talbot图样 *!^l ZpF  
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    某一位置的Talbot图样 '!<gPAVTzV  
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    不同位置的Talbot图样 `8/D$  
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    Ay0.D FL  
    沿Z轴的强度 SS6K7  
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    走进VirtualLab Fusion >%H(0G#X  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 Rga *68s|&  
    \V#fl  
     构建光栅结构 d:pGdr& .  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] <Hr~|oG  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ;;|.qgxc~  
    C6'K)P[p  
     通过参数运行计算不同位置的强度 >hY.F/[  
    - 参数运行文件的使用 [用例] E[cH/Rm  
    m/3,;P.6  
    xqb*;TBh*  
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    VirtualLab Fusion技术 c~+KrWbZ~  
    t:"3M iM=c  
     IGOEqUw*  
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