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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 )s:kQ~+  
     :X}SuM ?c  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 8k:^( kByF  
    =C,DR4xh  
     b1#C,UWK  
    .up[wt gN  
    建模任务 (Ox&B+\v+v  
    Pi5MFw'v  
     ly34aD/p~,  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) .F@Lx45  
     Xux[  
    某一位置的Talbot图样 pm=O.)g4`  
    n[!QrEeR},  
     XZk%5t|t  
       x^)?V7[t  
    某一位置的Talbot图样 vzfMME17  
    g)Hsd0  
     L`<#vi  
    ?/MkH0[G=  
    不同位置的Talbot图样 _I;hM  
    *LBF+L^C%  
     S)zw[m  
    9c}C<s`M  
    不同位置的Talbot图样 Jxe5y3* (  
    vjGJRk|XED  
     v7@"9Uw}  
    l]&A5tz3  
    沿Z轴的强度 eSObOG/  
    7Z:HwZ  
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    走进VirtualLab Fusion -a_qZ7  
    X4:84  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 1t/c@YUTy  
    Y9f7~w^s  
     构建光栅结构 }03?eWk/y  
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    |b='DJz2  
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    VirtualLab Fusion技术 rusM]Z  
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