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摘要 |V}tTx1 8eh3K8tL# 在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 zcOm"-E- J.g6<n
Q>\DM'{:4 FW3E UC)P 建模任务 2.@IfBF6 eLHhfu;k
F!?f|z,/ 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) (B@\Dw8^ 8{icY|:MTN 某一位置的Talbot图样 0[uOKFgE ^* y1Fn0
|Q%nnN ?hp,h3s;n$ 某一位置的Talbot图样 KdTWi;mV2- 1B 0[dK2N
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沿Z轴的强度 Gp?pSI,b.t h y\iot
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FvKjO) YoQQ , 走进VirtualLab Fusion W=HHTvK9Hh ?d3<GhzlR3
o~xGE 6A*" .M[t5I'\ VirtualLab Fusion的工作流程 }KftVnD? BoARM{m 构建光栅结构 m("KLp8 - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] )C0Iy.N- - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] u<Ch]m+ "r@G V5ED 通过参数运行计算不同位置的强度 B1Z; - 参数运行文件的使用 [用例] olHmRJ j(pe6 NJ$Qm.S Z;dR:|%) VirtualLab Fusion技术 G ,`]2'(@ C(xsMO'k,,
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