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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 lJ<( mVt  
     `"|u NVn  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 !7uFH PK-  
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    建模任务 ptpu u=3"  
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     oFS)3.  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) jF%l\$)/  
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    某一位置的Talbot图样 UyOoyyd.  
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    某一位置的Talbot图样 4";[Xr{pW  
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    不同位置的Talbot图样 Og<UW^VR  
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    沿Z轴的强度 ?!kPW^gD  
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    走进VirtualLab Fusion `}f wR  
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    '#0'_9}  
    VirtualLab Fusion的工作流程 )}jXC4  
    _8"%nV  
     构建光栅结构 F]~>qt<ia  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] #Y9~ Xp^.  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] [D%5Fh\0  
    4&([<gyR<  
     通过参数运行计算不同位置的强度 7{e*isV  
    - 参数运行文件的使用 [用例] QGQ> shIeZ  
    X,h"%S<c#H  
    JA~v:ec  
    r .b!3CoQ  
    VirtualLab Fusion技术 8z h{?0  
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       /^<Uy3F[p  
     
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