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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 |([R'Orm  
     &5t :H 8b  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ?tg  y|  
    *{o UWt  
     ^JR;epVJ  
    tM j1~ R  
    建模任务 BN,>&1I  
    _#_ E^!  
     !rhk $ L  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) u? fTL2~  
     nNmsr=y5  
    某一位置的Talbot图样 A-ZmG7xk  
    q/1Or;iK  
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       6> {r6ixs1  
    某一位置的Talbot图样 t_ur&.^SB  
    4Tct  
     ZlKw_Sq:  
    2-0$FQ@/  
    不同位置的Talbot图样 A4mSJ6K]  
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     Pgp {$ID  
    rp7W }P+uU  
    不同位置的Talbot图样 4F MAz^  
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     W0cgI9=9  
    VK3it3FI>3  
    沿Z轴的强度 kJ)gP2E  
    W2wpcc  
     YH:8<O,{-  
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    走进VirtualLab Fusion C0x "pO7  
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     f*xpE`&  
    (!?K7<Jv  
    VirtualLab Fusion的工作流程 \0FT!} L  
    Rn+4DcR  
     构建光栅结构 R UTnc  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 1q.(69M  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] J0220 _  
    2)/NFZ  
     通过参数运行计算不同位置的强度 bZipm(e  
    - 参数运行文件的使用 [用例] <Mf*l)%*  
    '7I g.K&  
    D!TZI  
    7uI#L}y  
    VirtualLab Fusion技术 rU#li0 >  
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