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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 (ORbhjl  
     D 6'd&U{_  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 8G)~#;x1  
    >e;jGk?-  
     (_#E17U)_  
    7W}%ralkg  
    建模任务 97 SS0J  
    {$EX :ID  
     g<;pyvq|:  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ~hq\XQX  
     >&HW6 c  
    某一位置的Talbot图样 F~=kMQO  
    W'9{2h6u(  
     }o]}R#|  
       &wU"6E  
    某一位置的Talbot图样 _886>^b@  
     #NyO'  
     "3jTU  
    kj2qX9 Ms  
    不同位置的Talbot图样 "{@[06|1  
    rbOJ;CK  
     4w|t|?  
    W2h*t"5W  
    不同位置的Talbot图样 rZ,3:x-:  
    x]YzVJ=Y  
     W0x9^'=s\  
    ta.Lq8/  
    沿Z轴的强度 ;4-$C=&  
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    走进VirtualLab Fusion < - sr&  
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     Vc(kw7  
    0X99D2c  
    VirtualLab Fusion的工作流程 \="U|LzG  
    R7b-/ !L  
     构建光栅结构 uB\UIz)e  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] (8~mf$ zx,  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] LTBH/[q5  
    A]Hz?i  
     通过参数运行计算不同位置的强度 ^W}| 1.uZ  
    - 参数运行文件的使用 [用例] <9H3d7%  
    s8:epcL`A  
    cl#XiyK>  
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    VirtualLab Fusion技术 'N6oXE  
    z( ^?xv  
     ;*K;)C  
       **-rPonM[  
     
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