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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 Hd H,   
     <7-:flQz~  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ha+)ZF  
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    建模任务 8D3|}z?  
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     KwO;ICdJ  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 57 (bd0@8  
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    某一位置的Talbot图样 T%|{Qo<j  
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    某一位置的Talbot图样 %0 cFs'  
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    不同位置的Talbot图样 G`1!SEae  
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    不同位置的Talbot图样 (lPiv+'n  
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    沿Z轴的强度 Lg6;FbY?  
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    走进VirtualLab Fusion ;W"=s79  
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     Klr+\R@(n  
    i`k{}!F  
    VirtualLab Fusion的工作流程 #Y|t,x;  
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     构建光栅结构 _=Y?' gHH  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 2Kg-ZDK8  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] s>pM+PoGYd  
    6l Suzu  
     通过参数运行计算不同位置的强度 7 LotN6H  
    - 参数运行文件的使用 [用例] a ][t#`  
    -!Ov{GHr0  
    7bk=D~/nSg  
    u9c^:Op  
    VirtualLab Fusion技术 mCb1^Y  
    k`aHG8S\  
     o paRk.p  
       >]dH1@@  
     
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