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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 |a'$v4dCF  
     gS|6,A9  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 H>-{.E1bG  
    E429<LQI/  
     qR%as0;  
    ;1r|Bx<5  
    建模任务 z\WyL;  
    4:s,e<Tc4v  
     85A7YraL  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) :/>Zky8,k  
     lXVh`+X/l  
    某一位置的Talbot图样 2';{o=TXV  
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    某一位置的Talbot图样 j5~~%  
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    沿Z轴的强度 )]zsAw`/  
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    走进VirtualLab Fusion J7kqyo"  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 A^\g]rmK  
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     构建光栅结构 aR)w~s\6  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] "=2'Oqp1  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] r( bA>L*mk  
    }:]CXrdg>  
     通过参数运行计算不同位置的强度 X#fjIrn  
    - 参数运行文件的使用 [用例] /:C<{m.[}  
    NBw{  
    NjO_Y t  
    8RcLs1n/  
    VirtualLab Fusion技术 @E"lN  
    K[Vj+qdyl  
     ZT<VDcP{  
       }LoMS<O-[  
     
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