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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 M^I(OuRMeI  
     ,+ ~W4<f  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 :hA#m[  
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    建模任务 w*Ihk)  
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     j|Q-*]V  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) <-0]i_4sK  
     @ .KGfNu  
    某一位置的Talbot图样 ?fS9J  
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    某一位置的Talbot图样 (iGTACoF  
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    不同位置的Talbot图样 hzC>~Ub5  
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    不同位置的Talbot图样 "I TIhnE  
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    沿Z轴的强度 RT5T1K08I  
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