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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 Z9i~>k  
     : :928y  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 7Ac.^rv5  
    bjq.nn<=  
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    'N`x@(  
    建模任务 " "S&zN  
    G`f|#-}  
     czK}F/Sg`  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) %yK- Q,'O  
     O6ltGtF  
    某一位置的Talbot图样 eF?jNO3  
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    某一位置的Talbot图样 ?gCP"~  
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    不同位置的Talbot图样 HcpAp]L)  
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    不同位置的Talbot图样 ;X+cS,h  
    OX[r\  
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    沿Z轴的强度 W+Ou%uv}S  
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    走进VirtualLab Fusion pxCQ=0k  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 P.djR)YI  
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     构建光栅结构 -X-sykDm  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] }\1IsK~P  
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