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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 iZB?5|*  
     lW1Al>dW<  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 a1_7plg  
    {Tl5,CAz  
     6SIk?]u  
    )Y+n4UL3NK  
    建模任务 ds,NNN<HW  
    (\>3FwFHW|  
     )"2)r{7:  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) r'#5ncB  
     Q}2aBU.f  
    某一位置的Talbot图样 Wqy|Y*$qT  
    & xo,49`!  
     ^+^#KC8]W  
       Fx*iAH\e  
    某一位置的Talbot图样 B>WAlmPA  
    ;"$Wfy  
     *Fb]lM7D  
    j BS$xW  
    不同位置的Talbot图样 }9<pLk  
    Pk!RgoWF  
     EaaQC]/OX5  
    *JDQaWzBd  
    不同位置的Talbot图样 gE]6]L  
    *]NG@^y  
     c! vtQ<h-  
    ZgK[,<2  
    沿Z轴的强度 HjAhz  
    a,i k=g  
     mZQW>A]iE  
    |*ss`W7F,2  
    走进VirtualLab Fusion ^<49NUB>  
    $ (/=Wn  
     UKV0xl  
    \ :To\6\Ri  
    VirtualLab Fusion的工作流程 F_.rLgGY  
    n@xC?D:t*  
     构建光栅结构 u0 myB/`  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] A[:0?Ez=  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 'c7C*6;a  
    ICA p  
     通过参数运行计算不同位置的强度 2o2jDQ|7  
    - 参数运行文件的使用 [用例] vy&'A$ H  
    M#%l}  
    fUj[E0yOF  
    pURtk-Fr2  
    VirtualLab Fusion技术 g2 7 iE  
    ~(i#A>   
     }7?_>  
       Q*4{2oQ  
     
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