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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 To3^L_v"  
     Y\.-v\uJu  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 R'rTE  
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     `TUZZz  
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    建模任务 cNe0x2Z$?  
    P+[QI U  
     ^#]c0  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) !n|#|.0m  
     d)N^PJ/  
    某一位置的Talbot图样 J!rY 6[ t  
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     &|)hCJu  
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    某一位置的Talbot图样 `,+#!)  
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    不同位置的Talbot图样 @&;(D!_&  
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     KacR?Al  
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    不同位置的Talbot图样 (B@X[~  
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    沿Z轴的强度 _1ew(x2J  
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    走进VirtualLab Fusion N#4N?BBP"  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 5y]io Jc9-  
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     构建光栅结构 WSRy%#  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] $_sYfU9  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] -IadHX}]t  
    ?OE#q$g  
     通过参数运行计算不同位置的强度 qe?Qeh(!X  
    - 参数运行文件的使用 [用例] /Y,r@D  
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    [>f]@>  
    # Q}_e7t  
    VirtualLab Fusion技术 #;]2=@  
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     `?"6l5d.]  
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