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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 pEECHk  
     (SSRY9  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Uax+dl   
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    建模任务 AM=z`0so  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) nRd)++  
     TW !&p"Us+  
    某一位置的Talbot图样 v}WR+)uFQ  
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    某一位置的Talbot图样 ~>9_(L  
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    不同位置的Talbot图样 W0I#\b18  
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    沿Z轴的强度 s+tGFjq  
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    走进VirtualLab Fusion qZ@s#UiB  
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    VirtualLab Fusion的工作流程   TX  
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     构建光栅结构 ON+J>$[[  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] `({T]@]V  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] Jmx Ko+-  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 -W>'^1cR  
    - 参数运行文件的使用 [用例] b86}% FM  
    cu+FM  
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    VirtualLab Fusion技术 1'? 4m0W1  
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