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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 Qa.<K{m#?  
     2 $?C7(kW  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 G '6@+$ppS  
    q:dHC,fO  
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    建模任务 ^r*r w=  
    ft$RSb#  
      c|M6 <}  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) QA<Jr5Ys  
     A9wh(P0\  
    某一位置的Talbot图样 g=;%  
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    某一位置的Talbot图样 `}mcEl  
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     MrDc$p W G  
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    不同位置的Talbot图样 5\e9@1Rc  
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    不同位置的Talbot图样 %@.v2 cT  
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    沿Z轴的强度 <-[wd.M_  
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    走进VirtualLab Fusion hRs&t,{&  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 3+@<lVew6  
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     构建光栅结构 [/e<l&y  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] :E:38q,hG  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] mGJasn  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 LUqB&,a}  
    - 参数运行文件的使用 [用例] b)=[1g/=L  
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    VirtualLab Fusion技术 X{\F;Cb*  
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