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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 .n7@$kq  
     9Q9{>d#"  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 X_78;T)uA  
    Tt: (l/1  
     tX^6R  
    B#g~c<4<  
    建模任务 /h53;$zK  
    x;?8Zr  
     %"{P?V<-V  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) `CWhjL8^  
     z6`0Uv~  
    某一位置的Talbot图样 i]MemM-  
    DdR0u0JH0  
     Z1fY' f  
       ]wid;<  
    某一位置的Talbot图样 t'2A)S  
    Z^'~iU-?  
     O i\ s  
    $`lWW6>P  
    不同位置的Talbot图样 *EuX7LEu_  
    GFFwk4n1  
     znrO~OK  
    O>DS%6/G  
    不同位置的Talbot图样 WaB0?jI  
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     336ETrG^0  
    1{N+B#*<[X  
    沿Z轴的强度 uB)q1QQsqp  
    ?>;b,^4  
     k^cZePqE6d  
    X$@`4  
    走进VirtualLab Fusion 1 iox0  
    4$iS@o|  
     xn`)I>v  
    %np(z&@wi  
    VirtualLab Fusion的工作流程 *)RKU),3nL  
    ZiZ@3O6  
     构建光栅结构 az ZtuDfv  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] /xUF@%rT  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] qy'-'UlIr  
    pFH.beY  
     通过参数运行计算不同位置的强度 t"B3?<?]  
    - 参数运行文件的使用 [用例] s~{rC{9X  
    cg{5\ Vl  
    j4;^5 Dy^  
    4~Qnhv7  
    VirtualLab Fusion技术 kn}^oRT  
    Movm1*&=  
     ))AxU!*.  
       (m'-1wX.  
     
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